【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】可変絞り装置において、外部駆動装置を要せずに、流れの方向あるいは流量等を可変とすることである。
【解決手段】可変絞り装置１０は、筐体２０と、スリーブ４０と、揺動スプール５０とを備え、筐体２０には、第１気体圧Ｐ_Aを有する気体が供給または排出される第１接続口２８と、第２気体圧Ｐ_Bを有する気体が供給または排出される第２接続口３０とが設けられる。揺動スプール５０の左右両端に第１気体圧Ｐ_Aと第２気体圧Ｐ_Bとが与えられて、その気体圧の差である軸方向差圧によって揺動スプール５０が揺動駆動力を受け、これによって、スリーブ４０との相対位置が変化し、連通状態から遮断状態に気体の流れが変更される。この他に、スリーブ４０に対する相対的振動の変位によって左側復元バネ６０と右側復元バネ６２から揺動駆動力を受けるものとすることもできる。 （もっと読む）

【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 絞り弁とバイパス逆止弁との二つの弁機能を一つの弁によって簡単な構造で発揮させることができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】 Ｂポート５側のチャンバー３内の内周面上に設けられた突起６の下面に弁座面７が形成され、突起６の上端部にスピンドル軸受９が形成され、チャンバー３の底面に設けられたスピンドル台１１にねじ孔１２が形成され、スピンドル１３の下部に形成したねじ部１４がねじ孔１２に螺合されるとともにスピンドル１３の上端部がスピンドル軸受９で支承され、スピンドル１３が弁盤１５に形成されたオリフィス孔１８に貫通した状態で、弁盤１５がばね１６によりスピンドル台１１上に支承され、弁盤１５に、弁座面７に対して当接離間自在な上面縁部１７が形成され、スピンドル１３のオリフィス孔１８を貫通する部位はテーパー部２０として形成され、スピンドル１３の上下移動によりオリフィス孔１８とテーパー部２０との間隙１９の大きさを変更可能にしている。 （もっと読む）

【課題】 可変オリフィス部での騒音の発生の抑制が可能な圧力補償付きの流量制御弁を提供する。
【解決手段】 流量制御弁１は、流体の流路２０に上流側から順に、軸方向に移動可能に支持されつつバネ３５によって一端へ向けて付勢され可変オリフィス部Ｅを形成するための互いに段差端面３０ｄを介して連続する大径軸部３１及び小径軸部３２を有するバランスピストン３０と、絞り弁４０とを備えて成る。バランスピストン３０が、バネ３５の反発力Ｋ及び絞り弁４０の下流の流体の圧力Ｐ３を一端へ向けて受けるとともに、バランスピストン３０の下流且つ絞り弁４０の上流の流体の圧力Ｐ２を他端へ向けて受けることで軸方向に釣り合いながら移動し、大径軸部３１の周囲から小径軸部３２の周囲に至る可変オリフィス部Ｅの開口隙間が調整される。大径軸部３１が小径軸部３２へ向けて１段縮径された縮径軸部５０を有する。 （もっと読む）

【課題】 機械的素子や特殊な材料を用いることなく、流路中を通る流体自体の物性を利用して微小流路の流量を制御しうる新規な方法を提供する。
【解決手段】 断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、相転移点以下に冷却して生成した固体をもって流路を閉塞し、また相転移点以上に加熱して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節する。またそれに用いるマイクロバルブとして、断熱性固体基板に穿設された微小流路、その流路内に充填された熱により可逆的に固液相転移しうる流体及びその微小流路の適所に配置された流体を加熱及び冷却しうる温度制御手段から構成されたものとする。 （もっと読む）