【課題】蒸発材料の移送管において、管内の流れをスムースにするとともに、弁開閉時においても、蒸発材料の濃度が変化するのを抑制し得る蒸発材料の流量制御装置を提供する。
【解決手段】蒸発材料移送管６内の途中に配置されて且つ連通用開口穴１２が形成された中段鉛直部１１ｂを有する仕切部材１１と、上記中段鉛直部の連通用開口穴に対して水平方向で移動自在に設けられて当該連通用開口穴を開閉し得る円錐状部１５ｂが先端に形成されたニードル弁体１５と、このニードル弁体を上記連通用開口穴に対して移動させてその円錐状部により当該連通用開口穴を開閉させる開閉手段１８と、上記ニードル弁体を挿通されて先端部が円錐状部の中心から外方に突出するように設けられるとともに先端部にガス放出穴１６ａが形成されたガス放出管１６と、上記ニードル弁体側と蒸発材料移送管側との間に設けられた密封用のベローズ２１とから構成したもの。 （もっと読む）

非対称性ボリュームブースタ組立体は、第一の方向および第二の方向に移動可能な差動アクチュエータ（24）と、アクチュエータと連通している第一のブースタ（44）と、アクチュエータと連通している第二のブースタ（48）とを備えている。第一のブースタは、第一の供給流路（60）と、第一の排出流路とを備えており。第一の供給流路は、第一の流体流抵抗を生じるように構成されている。第二のブースタは、第二の供給流路（58）と、第二の排出流路とを備えている。第二の供給流路は、流体をアクチュエータに供給し、第二の排出流路はアクチュエータからの流体を排出する。第二の排出流路は、第二の流体流抵抗を生じるように構成されている。第一の流体流抵抗は、第二の流体流抵抗よりも大きくなっているので、アクチュエータは、第一の方向および第二の方向に対して略対称に移動するようになっている。 （もっと読む）