【課題】制御弁のスライド弁体の動作を安定させる流量制御弁を提供する。
【解決手段】
第１スライド部３と第２スライド部４を有する弁体２を弁軸方向に摺動可能に収納し、圧力流体源１０からの圧力流体を両スライド部間に供給する圧力流体供給路５と、弁体２の作動により圧力流体を制御しつつ出力する圧力流体出力路６を備え、圧力流体供給路５を第２スライド部４と弁箱１端間で形成される第２外方室Ｋ２に連通させる連通路、５Ｐを設けた制御弁である。これら各連通路に第２のオリフィスＯＦ２を介設したものである。 （もっと読む）

【課題】通路を流通する流体の流量を高精度で且つ安定して制御することにある。
【解決手段】圧力流体入力ポート１２、圧力流体出力ポート１４、及び圧力センサポート１６を有し、複数の金属板の積層体からなるベース部１８と、前記ベース部１８内の第１通路３０を流通する圧力流体（ガス）の圧力を調圧する圧力制御部２０と、第２通路３４を流通する圧力流体の圧力を検出する圧力センサ７８と、前記圧力制御部２０によって調圧された圧力流体を所定量に絞る第１〜第３オリフィス４８ａ〜４８ｃを含むと共に、前記圧力流体出力ポート１４に向かって圧力流体が導出される第４〜第６通路３８、４０、４２をそれぞれ切り換える第１〜第３オン／オフ弁４６ａ〜４６ｃを有する流路切換部２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】気流によって目的部位に輸送される粉末を所望濃度に保持しつつ、輸送される粉末の総量管理が容易な粉末濃度調節装置を提供する。
【解決手段】送気系統61及び濃度コントローラ59を備える。補給される粉末を輸送気体で吹飛ばす噴射ノズル52を噴射部51に設ける。吹飛ばされた粉が混じった含粉気流を一端から受入れ他端に出口53ａを有した調節筒53に、この筒内に希釈気体を混入させる希釈ノズル55,56と、含粉気流の粉末濃度を測定する濃度センサ54とを設ける。系統61は、気体源に接続された流量調節弁65、流量調節弁68を有して弁65とノズル52を接続した送気経路66、及び流量調節弁73を有して弁65とノズル55,56を接続した送気経路71を備える。コントローラ59は、輸送気体の流量と希釈気体の流量とを合計した総流量が一定に保持されるように弁65を制御し、センサ54の測定結果に基づき弁69,73を制御することで輸送気体の流量と希釈気体の流量との割合を調節して、粉末濃度を目標濃度とする。 （もっと読む）