【課題】低コストで信頼性が高くメンテナンスも容易な、流量制御装置を提供する。
【解決手段】液体供給装置１０は、水を貯留する貯留槽１２、および貯留槽１２に取り付けられる流量制御装置１４を備える。流量制御装置１４は、貯留槽１２の水中に配置されるパイプ２０、パイプ２０の入口２０ａ側の端部に接続されるキャップ２２、キャップ２２に対して揺動可能に設けられる取り付け部材２４、取り付け部材２４に取り付けられる２つの浮き２６、およびパイプ２０を矢印Ｄ方向に揺動可能に支持する支持部材４４を含む。浮き２６の昇降によって、パイプ２０は、水面に対する傾きが変化するように軸Ｓを中心として矢印Ｄ方向に揺動する。パイプ２０が揺動しても、水面から入口２０ａまでの深さは略一定に保たれ、貯留槽１２からの水の流量を略一定に保つことができる。 （もっと読む）

本発明は、マイクロチャネルのアレイに対する流れを制御するために使用可能な機能を記述する。本発明はまた、プロセスストリームが複数のマイクロチャネルに分配される方法を記述する。
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