【課題】検査員の熟練を要することなくガバナ室内の異常を的確に検出することが可能なガバナ室内異常検出方法及びガバナ室内異常検出システムを提供する。
【解決手段】ガバナ室内異常検出システム５０は、ガバナ室１０の室内音を取得するためのマイクロフォン１８と、ガバナ室１０の複数の音源（ガバナ１１、水封器１４、人の声帯）に対応して、各音源に固有の特定周波数帯Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３を記憶すると共に、特定周波数帯毎に予め設定した基準許容値Ｌｖ１，Ｌｖ２，Ｌｖ３を記憶したデータ記憶部とを備え、ガバナ監視装置２０が、マイクロフォン１８を通して取得した特定周波数帯Ｆ１，Ｆ２，Ｆ３毎の音量（音圧レベル）が、基準許容値Ｌｖ１，Ｌｖ２，Ｌｖ３を越えたか否かを判別する。少なくとも１つの音源の室内音の音量が、基準許容値を越えていた場合に異常を報知する。 （もっと読む）

【課題】乾式機械式一次ポンプと少なくとも１つの二次ポンプとからなるポンプユニットに配管によって接続された、排出物を含んでいるチャンバ内の圧力調整の範囲を増大させ、短い反応時間を得る。
【解決手段】乾式機械式一次ポンプ４と少なくとも１つの二次ポンプ５との両方の回転速度を同時に制御する速度調整器６を含む。 （もっと読む）