【課題】可動子の位置や移動量を検出するセンサを設けることなく、推定する磁極位置に含まれる誤差のばらつきを低減する。
【解決手段】可動子又は固定子のいずれか一方が複数のコイルを有し、可動子又は固定子のいずれか他方が駆動用磁石を有しているリニアモータの駆動を制御するリニアモータ制御装置は、予め定められた磁極位置に対応する電圧を複数のコイルに印加して初期磁極位置を推定し、推定した初期磁極位置に基づいて、可動子を可動範囲内の予め定められた基準位置に移動させる制御を行い、可動子が基準位置に達したと判定した際に、基準位置に対応する磁極位置を現在の磁極位置にする制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】 スイッチング動作時の消費電力を少なくしかつリニアモータの制動力を外部から制御することが可能なリニアモータ用ブレーキ回路を提供する。
【解決手段】 リニアモータの負荷に並列に接続された３相全波整流回路２０と、この整流回路から出力されるブレーキ電流を制限する電流制限抵抗３（Ｒ１１〜Ｒ１４）と、電流制限抵抗Ｒ１１、Ｒ１３に接続された第１のトランジスタＭ０、Ｍ２とこれらのトランジスタに制御信号を出力する制御信号発生回路６ａ、６ｂを有する定電流回路４ａ、４ｂと、各定電流回路に流れる電流を２段階に調整する第２のトランジスタＭ１１、Ｍ１４を有するスイッチ回路５ａ、５ｂと、これらのトランジスタをオンオフさせるベース駆動回路７を有する。 （もっと読む）

【課題】加速度を上げても振動が発生せず、なめらかに位置指令値に追従できるリニアパルスモータを実現する。
【解決手段】電流指令値と、位置指令値より変換される電気角指令値に基づいてスライダをマイクロステップ駆動するリニアパルスモータにおいて、前記スライダに与えられる加速度信号と前記スライダの質量に基づいて前記スライダの必要推力量を算出する必要推力算出手段と、算出された前記必要推力量と前記電流指令値に基づいて電気角フィードフォワード量を算出する電気角フィードフォワード量算出手段と、算出された前記電気角フィードフォワード量に応じて前記電気角指令値を補正する補正手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】加減速時に重心軸周りに回転（ヨーイング）を起こしてもコイルと磁石の位置関係を正確に求め位相を補正することができ、カウンタマスを搭載したステージ装置に容易に対応可能で、大加速で駆動しても推力誤差による振動が発生しない、高精度な位置決めできるリニアモータ、ステージ装置およびリニアモータの位相補正方法、露光装置およびデバイス製造方法を提供する。
【解決手段】多相コイルユニットと、磁石ユニットと、を備えるリニアモータであって、前記多相コイルユニットおよび前記磁石ユニットの各々の位置を検出するための位置検出手段と、前記位置検出手段の出力に基づいて前記多相コイルに与える電流の位相を補正する補正手段と、を備えるリニアモータ。このリニアモータを用いるステージ装置およびリニアモータの位相補正方法。このステージ装置を用いる露光装置。この露光装置を用いるデバイス製造方法。 （もっと読む）

【課題】 電磁制御弁制御装置の制御により電磁制御弁を全開状態とする際の衝突音を低減させる。
【解決手段】 左右前輪の各ホイールシリンダの液圧を常閉の増圧弁，減圧弁により電気的に制御し、左右後輪の各ホイールシリンダの液圧を常閉の増圧弁，常開の減圧弁により電気的に制御する。制動終了時に減圧弁を全開状態とし、ホイールシリンダをリザーバに開放して残圧を０にするにあたり、前輪の常閉の減圧弁については、最初に供給する電流を決定し（Ｓ１８）、その第一初期電流から全開状態電流まで設定値ずつ供給電流を増加させて減圧弁を徐々に開き（Ｓ２３）、衝突音少なく全開状態とする。後輪の常開の減圧弁については、最初に供給する電流を決定し（Ｓ１９）、その第二初期電流から全開状態電流まで設定値ずつ供給電流を減少させて減圧弁を徐々に開く（Ｓ２４）。 （もっと読む）