【課題】接触部界面の摺動損失エネルギーとして発生した熱を効率的に逃がし、界面温度の昇温を緩和、あるいは抑制することが可能となる振動型アクチュエータを提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子への交番信号の印加により、振動体に励起される振動波によって移動体を摩擦駆動し、移動体を振動体に対して相対移動させる振動型アクチュエータであって、
前記振動体または前記移動体のいずれか一方に、いずれか他方と摩擦接触する摩擦接触部を有する接触ばね構造を備え、
前記接触ばね構造と前記振動体または前記移動体を構成する本体部との間には間隙が形成され、
前記間隙に、前記摩擦接触部に発生する熱を放熱する放熱手段を介在させた構成を有する。 （もっと読む）

【課題】従来のものよりも更に冷却効果の向上を図ることが可能となる振動波モータを提供する。
【解決手段】電気−機械エネルギー変換素子が接合された弾性体を有する振動子と、前記振動子と接触する移動体と、が円環状に形成された構成を備え、
前記電気−機械エネルギー変換素子への交流信号の印加により前記振動子の前記移動体との接触部に生じる運動によって前記移動体を摩擦駆動する振動波モータであって、
前記振動子と前記移動体とは摩擦部材を介して接触しており、
前記振動子と前記移動体とで構成された円環の外周部及び／又は内周部に設けられた遠心ファンを有し、該遠心ファンが前記移動体と一体となって回転する構成とする。 （もっと読む）

【課題】高トルクを発生させること。
【解決手段】回転子と、当該回転子の外周の少なくとも一部に掛けられた伝達部と、回転子と伝達部との間を回転力伝達状態として伝達部を一定距離移動させると共に回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定位置に復帰させる駆動部と、前記伝達部及び前記駆動部のうち少なくとも一方を冷却する冷却部とを備える。 （もっと読む）

【課題】温度上昇による性能劣化を抑制することができ、小型化、大出力化を図ることが可能となる振動波モータを提供する。
【解決手段】振動体と電気−機械エネルギ変換素子とを有する振動子を備え、前記振動子の楕円運動によって前記振動体に形成された接触部と接触する移動体を駆動する振動波モータであって、
前記振動波モータで発生した熱を外部に放熱するための可撓性を有する熱伝導部材を備え、
前記熱伝導部材は、前記振動波モータで発生した熱を、前記振動子を支持する振動子支持部材を介して熱伝導する熱伝導経路または前記移動体を介して熱伝導する熱伝導経路、と並列に配設されている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で温度上昇を低減可能な振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータは、電気機械変換素子（１２）の励振により振動波を生じる振動子（１１）と、前記振動子（１１）に加圧接触されて前記振動波によって駆動され、前記振動子（１１）に対して相対移動する移動子（１５）と、前記移動子（１５）の相対移動に連動して送風を行う送風手段（３０）と、を備えること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】駆動部の温度変化による影響を低減することができる駆動装置及び光学機器を提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータの駆動装置（１０，１０Ａ）は、駆動により温度が変化する駆動部（７，１４）と、前記駆動部（７，１４）の温度を検出する検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）と、前記駆動部（７，１４）に近接して備えられペルチェ効果を用いて前記駆動部（７，１４）の温度を調整する温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）と、前記検出部（１７，１７ａ，１７ｂ）による検出結果に応じて前記温度調節部（１５，１８，１８ａ，１８ｂ）を制御する制御部（１１）とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】磁歪アクチュエータを作動する際に発生するコイルのジュール熱や磁歪素子の渦電流損失による発熱を起因とした磁歪素子の熱膨張変形を解消するとともに、可動部材と固定部材との非接触駆動が可能でありスムーズで応答性の良い制御を可能とした磁歪アクチュエータを提供する。
【解決手段】磁歪素子２と可動軸７からなる変位発生手段と、該変位発生手段に磁界を印加するためのコイル３とコイルボビン４と永久磁石５からなる磁界印加手段と、前記変位発生手段と前記磁界印加手段を収納するケーシング１と、該ケーシングの少なくとも一部が前記変位発生手段とともに閉磁気回路を構成する磁気回路機構とを具備した磁歪アクチュエータにおいて、前記可動軸７を囲繞するケーシング１との間にリング状間隙１０を設け、該ケーシング１に前記リング状間隙１０へ開口する流体孔を設けて流体軸受を形成した。 （もっと読む）

【課題】真空中に配され、作業テーブルとともに移動する駆動モータなどの発熱源を有する直動案内装置で、発熱源で発生する熱を真空槽の所定位置まで金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を効率よく防止し、直動案内装置の機能を損なうことなく、低コストで計測や加工などの精度を高く維持することにある。
【解決手段】真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置において、直動案内装置の運転時に、作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ発熱部と放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して発熱部で発した熱を放熱部まで熱伝導するようにした。 （もっと読む）

【課題】
真空中に配され、作業テーブルとともに移動するモータなどの発熱部を有する直動案内装置で、発熱部の冷却に変形自由度が大きく、熱搬送能力の優れたループ細管を利用することにより、真空中を移動する発熱部で発生する熱を効率よく冷却して発熱部周辺の温度上昇を防止し、計測精度や位置決め精度など、装置本来の機能を損なうことのない直動案内装置を簡単な構成で提供することにある。
【解決手段】
真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置であって、前記駆動モータなどの発熱部と、該発熱部で発生した熱を真空槽の外部に除去するための放熱部とを有し、前記発熱部と前記放熱部とをループ細管によって連結し、該ループ細管の一端を前記発熱部と熱交換可能に接触し、他端を前記放熱部と熱交換可能に接触するようにして、前記ループ細管の内部を循環する作動媒体によって熱搬送経路を構成し、前記発熱部で発生した熱を前記放熱部まで搬送して外部に放熱するようにした。 （もっと読む）

２次元運動可能でありアクチュエータ支持体（１２）に接続された駆動エレメント（１４ａｄ）を有する電気機械式アクチュエータ（１０）が開示される。アクチュエータ支持体（１２）はフェロメカニカル的に非能動的である材料で作られる。さらに、駆動エレメント（１４ａ−ｄ）とアクチュエータ支持体（１２）との間のジョイントは堅固であり非常に安定している。これは、たとえば、熱硬化プラスチック接着、拡散ボンディング、又は、共焼結によって作られた不可逆的なジョイントの使用によって実現される。共焼結が好ましい。アクチュエータ支持体（１２）材料は、堅固であるように選択され、好ましくは７０ＧＰａ、より好ましくは１００ＧＰａを超える剛性を有し、好ましくは５Ｗ／ｍＫ、より好ましくは１０Ｗ／ｍＫを超える高い熱伝導率を有する。電極（２２）は、剛性を増大させると同時に熱伝導率を改善するため、好ましくはアクチュエータ支持体に一体化される。駆動エレメント（１４ａ−ｄ）は、好ましくは、少なくとも駆動面において、熱伝導材料によって覆われる（２８、２６）。 （もっと読む）