【課題】振動子に電気的に接続されるべき駆動用信号供給部の占有スペ−スが少なく、耐久性も優れた振動波リニアモータを提供する。
【解決手段】振動波リニアモータ１は、固定枠２に支持されるガイドロッド３と該ロッド側に付勢されるガイドロッド４を有し、ガイドロッド３，４に駆動子３８，３９を介して摺動可能に支持される振動子３５を有する。固定枠２の中央平面部には、振動子３５の摺動方向に沿った導電パターン４４ａ等を有する摺動端子基板４４が配され、振動子３５には、導電パターン４４ａ等に摺動可能に接触する接片４３が配されている。導電パターン４４ａ等と接片４３とを介して電力供給のための駆動用信号が振動子３５に供給されると、振動子３５に超音波振動が励起され、駆動子３８，３９が楕円振動を行い、振動子３５は、ガイドロッド３，４上を移動する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの圧電層及び振動板を効率よく変形させることが可能なインクジェットヘッドを提供すること。
【解決手段】 圧電アクチュエータ３は、複数の圧力室１４に夫々対応する複数の個別電極３２、及び、これら複数の個別電極３２に対向する振動板３０と、複数の個別電極３２と振動板３０との間に挟まれて、複数の圧力室１４に跨って連続的に形成された圧電層３１とを有し、圧力室１４が形成され且つ個別電極３２と重ならない領域に、この領域における圧電アクチュエータ３の剛性を低下させる絶縁材料層３４（剛性低下部）が設けられている （もっと読む）

【課題】超音波モータによってステージを一次元方向に動かす場合に、ステージ停止後のステージのドリフトを抑える。
【解決手段】１次元方向に動くステージ２に接触可能な接触部材３又はそれに連結された基材９ａを一つの電極として、前記一次元方向の前又は後の位置に他の固定電極１３，１４を対向させて２つのコンデンサを形成し、前記２つのコンデンサに交流電圧を印加して、当該コンデンサの静電容量の変化に基づく信号を取り出し、この変化信号に基づいて、所定の停止位置にステージ２を停止させるように制御する。 （もっと読む）

電気機械モータ（１０）において、細長い電気機械駆動要素（３０）が、キャリア（１５０）に、機械的に、且つ、好ましくは電気的に取り付けられる。ばね（５４）が、キャリア（１５０）の裏側を枢動点（１５２）にて押すことにより電気機械駆動要素（３０）に力を加えるように配置されている。キャリア（１５０）は、前記要素の長手方向に平行な軸を中心に枢動点（１５２）の周りを枢動することが可能にされている。これにより、電気機械駆動要素（３０）は浮動するように浮かせられる。電気機械駆動要素（３０）は、前記長手方向に対して垂直なストロークを有する曲げ運動をもたらすように配置されている。枢動点（１５２）、キャリア（１５０）と電気機械駆動要素（３０）との間の機械的ジョイント（１５１）、及び、好ましくは、電気機械要素（３０）の曲げ運動の節点（１５５）が、前記要素の長手方向に対して垂直の共通の面に配置される。一実施形態において、電気機械駆動要素には金属被覆領域（３２）が設けられ、この領域（３２）にキャリア（１５０）がはんだ付けされる。これらの金属被覆領域（３２）は、電気機械駆動要素（３０）の長手方向側部に設けられる。金属被覆領域は、好ましくは表面実装技術を用いて、フレキシブルプリント基板の取付けパッドにはんだ付けされ、又は他の方法、例えば接着により固定される。
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