【課題】 温度上昇に伴う回転効率の低下を防止した超音波モータを提供する。
【解決手段】 櫛歯体１２を備えるステータ１と、櫛歯体１２の圧接面１２ａに圧接される圧接面２１ａを有する回転可能なロータ２と、ステータ１とロータ２を圧接させるための弾性手段１６とを備え、両圧接面の少なくとも一方に温度変化によって摩擦係数が変化する樹脂膜４を有する超音波モータであって、温度変化に伴って弾性手段１６の弾性力を変化させ、樹脂膜４の圧接面４ａにおける摩擦力をほぼ一定に保持させる圧接力調整手段として形状記憶合金で弾性手段１６を構成する。温度上昇して樹脂膜４の摩擦係数が低下した場合でも、圧接力調整手段により圧接力を増大し、樹脂膜４の圧接面４ａでの摩擦力をほぼ一定に保持し、温度変化に伴う回転効率の低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】長寿命で安定した振動波モータ、レンズ鏡筒及びカメラシステムを提供する。
【解決手段】電気機械変換素子１１の励振により、弾性体１２に振動を発生する振動子と、振動子に加圧接触され、振動により、その振動子との間で相対運動を行う相対運動部材１３とを備えた振動波モータであって、振動子と相対運動部材１３との摩擦接触面の少なくとも一方には、シリコンビーズとエポキシ樹脂とを用いたエポキシ樹脂膜１７が形成されていることを特徴とする振動波モータ１０とした。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな構成で効率良く駆動出力を取り出すことができる駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置は、共振周波数の電圧を印加することにより駆動方向に対して垂直方向に伸縮変形を行う縦一次振動モードと屈曲変形を行う屈曲一次振動モードとを励起可能な振動部４と、振動部４の両サイドを加圧状態で挟持する２本のガイド棒３とを備えている。上記の縦一次振動モードと屈曲一次振動モードとを振動部４で励起することにより、ガイド棒３と接触する振動部４の両サイド、つまり突起部４１１〜４１２および突起部４１３で互いに逆回りとなる回転運動Ｋａ、Ｋｂが生じるが、この回転運動を用いて振動部４がガイド棒３に対して移動する。このような駆動装置により、コンパクトな構成で効率良く駆動出力を取り出すことができる。 （もっと読む）

【課題】圧電膜等の残留歪による反りの影響を抑制して、圧電駆動の変位量を再現良く、かつ高精度で制御可能な圧電駆動型ＭＥＭＳアクチュエータを提供する。
【解決手段】基板１上に少なくとも一端が固定され、第１下部電極１３と第１上部電極１７と、それらに挟まれるように形成された第１圧電膜１４とからなる第１アクチュエータ１１と、第１アクチュエータに接続された第１作用部１２と、基板１上に少なくとも一端が固定され、第１アクチュエータと並行して配置され、かつ第１下部電極と同層となる第２下部電極２３と、第２下部電極上に形成され第１圧電膜と同層となる第２圧電膜２４と、第２圧電膜上に形成され第１上部電極と同層となる第２上部電極２７とを有する第２アクチュエータ２１と、第２アクチュエータに接続された第２作用部２２とを備え、第１作用部と第２作用部とで電気回路要素を構成する。 （もっと読む）

【課題】連結部における接着力を強固にすることにより、連結部の破損を防止し、十分な強度が確保でき、接着部品の一体化により駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させる駆動装置、それに用いられる電気機械変換素子、撮像装置、及びを提供する。
【解決手段】駆動装置１は、電気信号の入力により伸縮可能な圧電素子３と、この圧電素子３の伸縮方向における一端部に接着剤９により連結された駆動部材４と、駆動部材４に摩擦係合された被駆動部材６と、を備え、被駆動部材６を駆動部材４に沿って移動させる。この駆動装置１では、圧電素子３における接着剤９による接着面３ａに、当該接着面３ａを除く他の面３ｂの表面粗さより粗い領域が設けられ、接着面３ａが洗浄されて、駆動部材４の一端が当該接着面３ａに接着されているため、圧電素子３と駆動部材４との接着力が強固にされている。 （もっと読む）

【課題】φ１．５ｍｍ以下の超小型の超音波モータを提供する。
【解決手段】超音波モータ２は、構成する部品が薄膜パターンで形成され、常温接合を応用した技術により、接合面を直接接触させて接合して作製される。共通電極２１ｂは、圧電体１１に形成された駆動電極２０ｂの所定位置に接合される。圧電体１１と振動板１２とは、駆動電極２０ａおよび共通電極２１ａを接合層として接合される。寸法精度、組み立て精度が高い超小型の超音波モータ２を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 移動子とステータ間の摩擦係数が確保でき，長寿命で信頼性の高い弾性表面波アクチュエータ、この弾性表面波アクチュエータに用いる移動子、及びこの弾性表面波アクチュエータに用いるステータを提供する。
【解決手段】 レイリー波を伝搬しているステータ１１の表面から運動エネルギを得て、レイリー波の伝搬方向と逆方向に、ステータ１１に対し相対的に移動する移動子（スライダ）１２であって、この移動子１２が、移動子基板１２２と、この移動子基板１２２よりもヤング率の大きな材料からなる複数の移動子セグメント１２３の配列からなり、この複数の移動子セグメント１２３のそれぞれの上面が振動子に接する移動子セグメントアレイとを備える。 （もっと読む）

【課題】低コスト化を図ることができるアクチュエータを提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、第１の弾性連結部２５、２５を捩れ変形させながら第１の質量部２１、２２を回動させ、これに伴い、第２の弾性連結部２６、２６を捩れ変形させながら第２の質量部２３を回動させるものであって、第１の弾性連結部２５、２５の捩れ変形を規制または抑制するとともに、除去可能に設けられた除去部２９、２９を有し、除去部２９、２９を必要に応じて除去することにより、第１の弾性連結部２５、２５のバネ定数を低減することが可能である。 （もっと読む）

【課題】駆動に寄与しない方向の振動変位を発生させることなく効率的な駆動を可能とした駆動装置を提供する。
【解決手段】振動型アクチュエータは、弾性体２と圧電素子３から構成されると共に接触部４が配設された振動体１を備える。振動体１に対し、縦振動１次モードによる振動変位Ｗｙと、曲げ振動１次モードによる振動変位Ｗｚを時間的位相差が９０度となるように発生させ、振動体１の両方の接触部４に、Ｘ軸回りの楕円運動または円運動を形成する。これに伴い、両方の接触体５は、振動体１の一方の接触部４では時計回り、振動体１の他方の接触部４では反時計回りとなるように、回転軸が同一方向である回転運動を行う。ここで、縦振動１次モードによる振動変位Ｗｙに替えて縦振動２次モードによる振動変位Ｗｙ’を発生させると、両方の接触体５の回転方向が一致する。 （もっと読む）

【課題】加工性および耐食性が優れ、さらに厚い窒化層が形成された窒化部材と、該窒化部材が摩擦部材として用いられる振動波駆動装置を提供する。
【解決手段】Ｔｉの含有量が０.８〜３．０重量％であるオーステナイト系ステンレス鋼に対する窒化処理が、７７３Ｋを超える温度でイオン窒化処理によって実施される。また、電気−機械エネルギ変換素子により振動が励振される振動子と該振動子によって励振される振動によって駆動される移動子との間に設けられる摩擦部材として上記窒化部材を用いる振動波駆動装置。 （もっと読む）

【課題】位置制御性能を高くできるとともに、構成が簡略であって、磨耗を格段に低減できる圧電アクチュエータの位置制御駆動方法、圧電アクチュエータの位置制御駆動装置の提供。
【解決手段】圧電アクチュエータの位置制御駆動方法では、駆動信号をオンとするとともに、ロータの位置の検出に基いてロータが位置出し開始位置Ｘ１に達したか否かを判定し、達したと判定されるまで、オンを継続した後、駆動信号をオフとする継続送り工程Ｐ１１と、位置出し開始位置Ｘ１を超えた位置から目標位置Ｘ０を含む位置までで設定された複数の制御位置にロータが順次達するように、各制御位置について、ロータが当該制御位置に達したか否かを判定し、達していないと判定された際は、駆動信号をオンとし、達したと判定された際は、駆動信号をオフとするとともに、次の制御位置についての判定に移行する微動送り工程Ｐ１２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ロータとステータの圧接状態を改善してロータの回転効率を向上した超音波モータを提供する。
【解決手段】 圧電体１３及び円周方向に配列した多数の櫛歯１２１を備える櫛歯体１２で構成されるステータ１と、回転軸３に支持されて櫛歯に圧接されるロータ２とを備え、各櫛歯１２１は少なくともロータ２に圧接する部分が所要の間隔で径方向に配列された複数の針状体１２２で構成する。針状体１２２は先端部が径方向に弾性変形可能で、円周方向には所要の剛性を有する構成とする。ロータ２が櫛歯１２１に圧接したときに針状体１２２は径方向に弾性変形することで各針状体１２２の先端がロータ２に確実に圧接し、ロータ２と櫛歯１２１との摩擦力を所定の摩擦力に保持でき、ステータ１の振動によるロータ２の回転効率を高くする。 （もっと読む）

【課題】
励振手段の破損を防止でき、しかも固定子の耐久力を向上できる弾性表面波アクチュエータを提供する。
【解決手段】
弾性表面波アクチュエータは、圧電基板２と該圧電基板２の表面に形成されて圧電基板２に弾性表面波を発生させる励振手段となる電極３ａ，３ｂとを備える固定子１と、電極３ａ，３ｂが形成される励振用部位Ｐ１を除く圧電基板２の表面部位Ｐ２に所定の圧力で接触されて弾性表面波により移動させられる移動子４とを具備し、移動子４を接触移動させる移動用部位Ｐ３を含む圧電基板２の表面部位Ｐ２には、圧電基板２よりも高い硬度を有する硬質膜５が形成され、硬質膜５は、移動子４と電極３ａ，３ｂとが干渉しない程度の膜厚を有している。 （もっと読む）

【課題】屈曲状の複数の駆動部とこれら複数の駆動部にそれぞれ配置された圧電層とを有する圧電アクチュエータを、より簡単に製造することが可能な製造方法を提供すること。
【解決手段】まず、板状部材２４に、複数の貫通状のスリット２８を形成して複数の駆動部２０を分割形成する。次に、板状部材２４に圧電材料の粒子を堆積させることにより、複数の駆動部２０に複数の圧電層２６をそれぞれ形成する。そして、各圧電層２６にその厚み方向の電界を印加するための個別電極２７を形成してから、複数の駆動部２０を、板状部材２４の面方向と直交する方向に突出するように折り曲げる。 （もっと読む）

【課題】摩擦接触面の磨耗を少なくし、駆動性能を安定化し、異音の発生が無く、長寿命化を図ることができる振動波モータを提供する。
【解決手段】圧電体１１の励振により振動を発生する弾性体１２と、弾性体１２に加圧接触し、その振動により駆動される移動体１３とを備える振動波モータ１０において、弾性体１２と移動体１３との摩擦接触面を含む部分の少なくとも一方は、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７であり、他方は、アルマイト皮膜層１８であり、無電解Ｎｉ−Ｐ／ＰＴＦＥ複合メッキ皮膜層１７及びアルマイト皮膜層１８は、ともにビッカース硬度が２５０以上であり、かつ、そのビッカース硬度差が１００以下であるものとする。 （もっと読む）

【課題】コストダウンと静寂性を両立させることができる振動波モータを提供する。
【解決手段】駆動信号により励振される圧電体２とこの圧電体２に接合され、前記励振により駆動面に進行性振動波を生じる円環状の弾性体３とを有する振動体１と，弾性体３の駆動面に加圧接触され、前記進行性振動波によって駆動される移動子５と，弾性体３を内周面で支持するフランジ部３ｃと，移動子５に弾性体３を、フランジ部３ｃを介して加圧する加圧部材９とを含み、振動体１の圧電体２との間に、フレキシブルプリント基板４を挟んで、振動体１と移動子５との摩擦駆動による異音の発生を抑制するブチルゴムシート３１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 加圧機構を簡略化して小型化するとともに、超音波振動子に対して被駆動体を高精度に相対移動させる。
【解決手段】 駆動電圧を供給されることにより、異なる２つの振動モードを同時に発生させて出力端に略楕円振動を生じさせる超音波振動子２と、該超音波振動子２の出力端に固定された接触部材１０と、該接触部材１０により押圧される磁性材料からなる被駆動体３と、接触部材１０に設けられ、被駆動体３を接触部材１０側に磁気吸引して両者を密着させる磁界Ｍを発生する磁界発生手段と、被駆動体３に固定され、磁界発生手段により発生された磁界Ｍの強さを検出する磁気センサ４とを備える超音波モータ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】 複数の振動モードを同時に発生させる超音波モータにおいて、各振動モードを効率よく発生させて、安定して高いモータ出力を得る。
【解決手段】 電気機械変換素子を備え、該電気機械変換素子に所定の位相差および所定の駆動周波数の２相の交番電圧を供給することにより、異なる２つの振動モードを同時に発生させて出力端１４に略楕円振動を生じさせる超音波振動子３と、該超音波振動子３の出力端１４を被駆動体２に押し付ける押圧手段４とを備え、該押圧手段４による超音波振動子３の出力端１４の被駆動体２への押圧力が、２つの振動モードの機械的共振周波数をほぼ一致させるように設定されている超音波モータ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】汎用の工作機械を用いて、弾性体と電機機械変換素子との接着強度及び導通を確保した振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】振動アクチュエータ１０を、円環状に形成され、その一方の端面に、径方向成分を含む複数の微細溝２１ｃを周方向に周期性を持って分布させた接着剤受容層を有する弾性体２１と、弾性体２１の端面に対向して配置された圧電体２２と、弾性体２１と圧電体２２との間に設けられた接着剤層２３とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 主に振動減衰を抑制することのできる振動体を提供する。
【解決手段】 相互に接触する複数の弾性体（２、３）と、電気信号が供給されることにより弾性体に振動を励起する電気−機械エネルギ変換素子（４）とを有し、複数の弾性体間の隙間に、樹脂材料が設けられている。 （もっと読む）