【課題】磨耗が少なく且つ駆動音の小さい振動アクチュエータを提供する。
【解決手段】本発明の振動アクチュエータ１００は、電気機械変換素子３３，３４の励振により振動する振動子３２と、前記振動子３２に加圧接触されて前記振動によって駆動され、前記振動子３２に対して相対移動する相対移動部材１２０と、を備え、前記相対移動部材１２０の密度が前記振動子３２より小さく、前記相対移動部材１２０のヤング率が前記振動子３２より大きいこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で振動体の振動を抑制することなく安定した支持ができる支持構造を得る事で、位置決め精度及び位置決め制御性の向上、位置決め安定性を図り、モータの性能バラツキを小さくする圧電モ−タの提供。
【解決手段】 圧電素子を有する振動体１の振動により、振動体１もしくは振動体１に設けられた摩擦部材３と接する接触部材５もしくは振動体１自体を稼動する圧電モータにおいて、振動体１に設けられた複数の凹部１ａと、凹部１ａと係合する複数の凸部を有する支持部材２を有する。 （もっと読む）

【課題】駆動子による圧電素子の振動を阻害することを抑制し、超音波アクチュエータとしての効率を向上させる。
【解決手段】超音波アクチュエータ２は、縦振動と屈曲振動とを行うアクチュエータ本体４と、アクチュエータ本体４の一の側面である設置面４０ａ上に設けられて、アクチュエータ本体４の振動に従って周回運動することで駆動力を出力する駆動子８，８とを備えている。駆動子８は、基端部が曲面に形成されて設置面４０ａに取り付けられる一方、先端部が平面に形成されている。 （もっと読む）

【課題】被駆動部材の移動速度の高速化を図ることができる駆動装置を提供すること。
【解決手段】圧電素子１に駆動軸２を取り付けたアクチュエータ１０を有し、駆動信号を入力して圧電素子１を伸縮させ、圧電素子１の伸縮動作に応じて駆動軸２を往復運動させて被駆動部材３を移動させる駆動装置であって、駆動信号としてパルス信号が用いられ、その駆動信号のハイ出力時間及びロー出力時間のうち短い方の出力時間としてアクチュエータ１０の最も低い共振周波数における減衰振動変位の半波長に相当する時間が設定されている。これにより、被駆動部材３の移動速度の高速化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】動力源としてのモータが測定結果に影響を与えることのない通信特性測定システムを提供する。
【解決手段】非接触通信ＩＣを含む測定対象を把持し、制御信号にしたがって、リーダライタ・アンテナに対する当該測定対象の位置を可変とする可変位置決め手段としての直交座標型の卓上ロボットまたは６自由度多関節ロボットを備え、非接触通信ＩＣを含む測定対象と前記非接触通信ＩＣとリーダライタ・アンテナとの間の通信特性を測定する。ロボットは動力源として超音波モータを用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させる薄板状のレゾネータ４と、レゾネータ４表面に形成された第１の電極３と、第１の電極３上に形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された複数の第２の電極１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとを備えた圧電素子９と、圧電素子９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】真空中に配され、作業テーブルとともに移動する駆動モータなどの発熱源を有する直動案内装置で、発熱源で発生する熱を真空槽の所定位置まで金属ベルトを介して熱伝導によって搬送して放熱することにより、発熱源近傍の温度上昇を効率よく防止し、直動案内装置の機能を損なうことなく、低コストで計測や加工などの精度を高く維持することにある。
【解決手段】真空槽内に、駆動モータによって作業テーブルを所定の方向に移動させる案内機構を設けた直動案内装置において、直動案内装置の運転時に、作業テーブルに前記駆動モータなどの発熱部を有し、発熱部で発生した熱を前記真空槽外に除去するための放熱部を備え、かつ発熱部と放熱部とを伝熱手段で連結し、該伝熱手段を介して発熱部で発した熱を放熱部まで熱伝導するようにした。 （もっと読む）

【課題】第１の圧電素子に取り付けた駆動部材と被駆動部材との摩擦係合を確保、或いは解除する第２の圧電素子を設けることによって、被駆動部材を安定して正確に移動させることができるアクチュエータを提供する。
【解決手段】レンズ枠１８、２０を光軸方向に駆動させるアクチュエータ３０は、駆動用の第１の圧電素子３２Ａ、３２Ｂ、係合用の第２の圧電素子３２Ｃ、駆動部材３４Ａ、３４Ｂ、及び押えばね３６で構成される。圧電素子３２Ａ、３２Ｂ及び駆動部材３４Ａ、３４Ｂは被駆動板２６を挟んで両側に配置され、駆動部材３４Ａ、３４Ｂの間隔が圧電素子３２Ｃによって拡縮される。この圧電素子３２Ｃによって、駆動部材３４Ａ、３４Ｂと被駆動板２６との摩擦係合が確保、或いは解除される。 （もっと読む）

【課題】配線時や駆動時における、配線のはがれ、接触不良および電極の溶解を防止でき、かつ、安定的に駆動することができる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】補強板２１および圧電素子２２を有し、圧電素子２２に交流電圧を印加することにより駆動されて振動する振動体２と、補強板２１に設けられ、振動体２の振動により被駆動体Ｒに接触して被駆動体Ｒに駆動力を伝達する接触部３と、圧電素子２２の表面に設けられ、圧電素子２２に交流電圧を印加する駆動電極１２、１３と、圧電素子２２の表面に設けられ、振動体２の振動時にて圧電素子２２に誘起される電圧を検出する検出電極１１、１４とを備えた圧電アクチュエータ１であって、駆動電極１２、１３および検出電極１１、１４は、それぞれ、その一部に、残部より厚みの厚い導通部５１〜５４、６１、６２を有することを特徴とする。 （もっと読む）