【課題】電子回路の誤動作を防止でき、かつ、電力変換装置の小型化に寄与する複合半導体装置を提供する。
【解決手段】複合半導体装置１０は、第１の端子Ｇ１から入力される信号に応じて第２の端子Ｃ１から第３の端子Ｅ１へ電流を流す第１のパワー半導体素子１３と、第１の端子Ｇ２から入力される信号に応じて第２の端子Ｃ２から第３の端子Ｅ２へ電流を流す第２のパワー半導体素子１６が同一基板（チップ）２０内に形成された半導体装置であって、第２のパワー半導体素子１６の第３の端子Ｅ２は、第１のパワー半導体素子１３の第１の端子Ｇ１に電気的に接続されており、第１のパワー半導体素子１３の第２の端子Ｃ１の電位が時間経過とともに増加したとき、第１のパワー半導体素子１３の第２の端子Ｃ１から第２のパワー半導体素子１６の第１の端子Ｇ２に電荷をチャージする電流路を備えた。 （もっと読む）

本発明は、高周波プラズマ生成装置に関し、本装置は、制御信号（Ｖ１）により制御されるスイッチ（Ｍ）を含む電源回路（２）であって、当該スイッチが、制御周波数で電源回路の出力に電圧（Ｖｉｎｔｅｒ）を印加する電源回路（２）と；電源回路の出力に並列に配置された少なくとも２つのプラズマ生成回路（ＢＢ１、ＢＢ２、ＢＢ３、ＢＢ４）であって、各々がそれ自体の共振周波数を有し、プラズマ生成回路の共振周波数に相当する周波数で電源回路の出力に高レベルの電圧が印加されるとプラズマを生成することができるプラズマ生成回路と；プラズマ生成回路の共振周波数（Ｆ１、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４）に基づいて制御周波数を決定し、使用される制御周波数に従って各回路を選択的に制御する制御装置（５）とを備える。
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