【課題】水晶振動子機能または水晶発振器機能を有する究極の水晶モジュールを実現すること。
【解決手段】上側のシリコン素子４０１と下側のシリコン素子４０６が接合箇所４０７、４０８で組合され、真空または不活性ガス（Ｎ２、Ａｒ、Ｈｅ）雰囲気中で、３７０℃の温度で金Ｓｉ共晶接合による拡散接合で一体化された状態の断面図である。接合面４１２、４１３は４０２、４０３のフィードスルー部から外部接続用電極ＰＡＤの接続状態を外観から目視で確認できる。４１６，４１７は水晶モジュールの実装用の金電極ＰＡＤである。接合チップ内部に収納される水晶板４１１は、収納された空間４０５、４０９内にあることから、水晶板４１１の外周部を薄膜からなるハニカム構造で保持し、上下に設けられた励振用ギャップ電極４０４、４１０から高周波電界で励振される厚み振動は妨害されない。 （もっと読む）

【課題】 オイルに浸された状態でも硫化せずに粘度の測定の信頼性を向上させる。
【解決手段】 オイルの粘度を測定する粘度センサ用圧電振動子１０であって、両主面に励振電極２Ａを備えた圧電材料からなる圧電振動素子２と、この圧電振動素子２を支持しつつそれぞれの励振電極２Ａと電気的に接続する導通性部材からなる一対の保持部３と、 この一対の保持部３を貫通させ、該一対の保持部３を絶縁部材Ｇを介して固定する金属部材からなる基台部４と、を備え、励振電極２Ａと一対の保持部３とは導電性接着剤により電気的に接続され、一対の保持部３と基台部４とがクロムめっきされている。 （もっと読む）

【課題】小型ＡＴカット水晶振動素子の直列共振子抵抗を改善すると共に共振周波数近傍
の不要振動を抑圧する手段を得る。
【解決手段】Ｘ軸方向を長手方向、Ｚ’軸方向を短手方向とし、前記長手方向の両端を長
軸対短軸比が略１．２６である半楕円状に形成した水晶板と、該水晶板の両主面に該水晶
板の形状と相似形に形成した電極と、を備えた水晶振動素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】 水晶素板を、断面テーパー形状または断面コンベックス形状に比較的容易に制御して加工することができる加工方法、及び振動特性に優れた水晶振動片を提供する。
【解決手段】 水晶素子片１ａに、感度の異なるフォトレジストＲ１〜Ｒ５を、水晶素子片１ａの表面から上層に向かって感度が高いものとなるように塗り重ねて積層させる。次に、フォトマスク８を介して露光光を照射して露光してから、フォトレジストＲ１〜Ｒ５の現像を行なう。フォトレジストＲ１〜Ｒ５は、下層にいくに従って未露光部分が多くなるため、現像後のフォトレジストパターンは、水晶素子片１ａの表面側にいくほど外側に広がる断面テーパー形状が形成される。そして、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）法により水晶ウェハ１をドライエッチングすると、水晶素子片１ａの端面に略断面テーパー形状が形成される。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、スプリアスの少ない厚み滑り振動子と、その量産手段を得る。
【解決手段】円形または矩形の平板状の圧電基板の中央に基板の上下に対向する所定の大きさの突起部（メサ部）を一体的に形成すると共に、該突起部の上面と、基板の周縁部（べベル部）の面とが同一球面状になるように圧電基板を構成する。その製造方法は、平板状の圧電基板上にフォトリソ技術とエッチング手法とを用いてメサ形圧電基板を形成し、該圧電基板を研磨剤と共に円筒容器に入れ、所定の回転速度で回転してメサ−ベベル型圧電基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】 金属薄膜の厚みを高精度にモニターすることができ、特に蒸着装置の自動制御に適した特性を有する薄膜厚モニター用の水晶振動子を提供すること。
【解決手段】薄膜厚モニター用の水晶振動子の表面に被加工物と同一条件で金属薄膜を堆積させて水晶振動子の質量付加効果による共振周波数の低下から金属薄膜の厚みをモニターするものにおいて、プラノ・コンベックス加工を行ったＡＴカットの水晶片の両側板面に励振電極を形成しこの励振電極に対して金属薄膜を堆積させて厚み滑り振動の共振周波数の変化から薄膜厚をモニターする。 （もっと読む）

【課題】 小型化した場合でも直列抵抗値等の特性を良好に保つことのできる水晶振動板および水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動板１は平面視略矩形状で薄板状の水晶振動板であって、長辺方向を水晶結晶軸のＸ軸に、短辺方向をＺ‘軸方向にとっており、当該水晶振動板の長辺方向の稜部と短辺方向の各々の稜部が面取りされた構成であるとともに、前記矩形の四隅において表裏主面が近接した稜部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子の密閉構造での劣化要因を除去し、長期エージング特性が、１０^−６／年レベルの周波数安定度の製造限界を突破する。
【解決手段】高安定水晶振動子の製造プロセスとして、プロセスＳ１１で、容器本体内所定位置に、電極が形成された水晶素子を導電性接着剤で固定後乾燥、又は金バンプでダイボンディングし、プロセスＳ１２で、容器本体内に遠紫外線照射や低イオン照射により、汚染物を分解処理して、容器本体内を清浄化し、プロセスＳ１３で、電解研磨されたステンレス製保持器やキャップを使用し、ステンレス製キャップからのガス発生を極力抑え、プロセスＳ１４では、電解研磨されたステンレス製キャップで真空又は不活性ガスで保持器を封止し、プロセスＳ１５で各工程での歪の除去を熱エージングで、あわせてプロセスＳ１１からプロセスＳ１４で除けなかった不要ガスの排出を行ない、高安定水晶振動子製造を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化しても形状制御が容易で、加工後の形状や性能も良好であり、様々な形状を形成でき、少ない工数で安価に形成でき、駆動時の負荷が小さく、装置や工具に汎用性のあるものを使用することができることができる水晶振動子の製造方法、その装置及び水晶振動子を得る。
【解決手段】 水晶チップ５の右上端部５ａに水晶に吸収されるレーザビーム４を照射して段階的に水晶チップ５の高さを変化させ、第１段部６₁、第２段部６₂、第３段部６₃、第４段部６₄をそれぞれ形成する。 （もっと読む）