【課題】 水晶振動子の製造においてエッチング途中での形状観察を可能とさせて、高精度な水晶振動子を提供する。
【解決手段】（ａ）水晶基板上に赤外域において透過性を有する保護膜を形成する第１の工程と、（ｂ）この保護膜に開口部を設ける第２の工程と、（ｃ）この開口部よりエッチングを行い前記水晶基板を加工する第３の工程と、（ｄ）前記保護膜を除去する第４の工程と、をこの順序で有することを特徴とする。 （もっと読む）