【課題】圧電基板の分極処理に伴う絶縁破壊による障害の発生を防げ、分極処理を行うことで付随する工程数の増加を抑えることができる複合基板の製造方法の提供を図る。
【解決手段】導電性犠牲層を形成した支持基板に圧電薄膜４を積層するとともに、過電流によりオープンになるミアンダ電極２０を配線に設けて圧電薄膜４に上面分極電極１４を形成する。上面分極電極１４と導電性犠牲層との間に分極電界を印加した後、圧電基板から上面分極電極１４、ミアンダ電極２０、および導電性犠牲層を除去する。 （もっと読む）

【課題】小型化に適した構成を有する屈曲振動片およびこの屈曲振動片を製造する方法を提供する。
【解決手段】水晶振動片１は、基部２と、基部２から延長して形成され、屈曲振動するそれぞれの方向へ向いて配置された第１面６および第２面７を有する３本の振動腕３と、振動腕３の第１面６および第２面７に形成され相互に導電接続されている下部電極１１，１２と、下部電極１１，１２を覆って形成された圧電膜１４と、圧電膜１４に重ねて形成された上部電極１０，１３と、を備え、第１面６（６ａ，６ｂ，６ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ１，１４ｂ１，１４ｃ１）と第２面７（７ａ，７ｂ，７ｃ）に形成された圧電膜１４（１４ａ２，１４ｂ２，１４ｃ２）とは、形成されている振動腕３に対して互いに反対の分極方向を有している。 （もっと読む）

【課題】圧電セラミックスを用いた圧電振動子であって、圧電セラミックス単板を直接接合する工程を必要とせずに、厚みが厚く、機械的に強固で、高周波対応性に優れた、厚みすべりモードの圧電振動子素子、および、該圧電振動子を効率よく製造することが可能な圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス矩形板１の、互いに対向する一対の端面２，３に形成された分極用電極４，５を用いて所定の方向に電界を印加し、圧電セラミックス矩形板を構成する圧電セラミックスを全体的に分極した後、分極用電極の一部を除去し、残った分極用電極４ａ，５ａを用いて、圧電セラミックス矩形板を構成する圧電セラミックスの一部領域Ｒ２に逆方向に電界を印加し、圧電セラミックスの一部領域を、上記の全体的分極工程における分極の方向とは逆方向に分極する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電共振子の電気的特性を向上させるために性形体に与える製造工程の影響を最小化させることができるようにする圧電共振装置の形成方法を提供する。
【解決手段】圧電共振子を有する圧電共振装置の形成方法を提供する。この形成方法は成形体から目的する厚さの成形基板を確保して圧電共振子の電気的特性を向上させることができる方案を提示する。このために、２個の性形体を準備する。前記性形体に焼結及び研磨工程を順に遂行して成形基板をそれぞれ形成する。前記成形基板の互いに向い合う面及びその面に対向する面に内部基板電極パターン及び外部基板電極パターンを形成する。前記成形基板の互いに向い合う面に接着剤を形成する。前記成形基板を切断して圧電共振パターンを形成する。前記圧電共振パターンの両側部に連結電極をそれぞれ位置させて圧電共振子を形成する。 （もっと読む）

【課題】実用性の高い抵抗加熱２段焼結法を用いて、より高いｄ₃₃とｄ₃₁値を有するチタン酸バリウム圧電セラミックスと、その製造方法及びそれを用いた各種の圧電振動子等を低コストで提供する。
【解決手段】圧電体の性質を持つ５０ｎｍ〜２００ｎｍのチタン酸バリウム粉末を所定形状に固めて、電気的な抵抗加熱等により２段階の焼結温度で焼成する。平均粒径１μｍ〜２μｍで最大粒径５μｍ以下に抑制され、かつチタン酸バリウムの理論密度６．０１ｇ／ｃｍ^３の９８％以上の密度の焼結体を形成する。焼結体を、室温乃至８０℃で１ｋｖ／ｍｍの電圧で３０分間程度分極処理する。２段焼結法は、大気中、もしくは酸素雰囲気中で、電気的な抵抗加熱により、第１焼結温度の１２３０℃〜１３４０℃に昇温した後、第２焼結温度の１１５０℃〜１２００℃に下げて一定時間維持して焼結する。 （もっと読む）

【課題】共振構造体を有する圧電共振子の形成方法を提供する。
【解決手段】圧電共振子の製造工程を単純化し、そして製造工程において成形体による共振構造体の歩留まりを高める方案を提示する。そのために、基底構造体、保護構造体及び成形体を準備する。前記成形体は選択された２つの面において分極電極をそれぞれに有する。前記成形体は所定方向に沿って一列に整列した分極軸を持つ結晶を有する。前記成形体及び分極電極を所定幅に切断して共振板を形成する。前記共振板上に共振電極を形成する。前記共振電極及び共振板を切断して共振構造体を形成する。そして、前記保護構造体と基底構造体との間に共振構造体を挿入し圧電共振子を形成する。 （もっと読む）

【課題】 共振特性を向上しつつ小型化を実現することができる薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 薄膜圧電共振器１において、空洞２Ｈを有する基板２と、空洞２Ｈ上の第１の電極５と、第１の電極５上の圧電体６と、圧電体６上の第２の電極７と、を備え、第２の電極７の周縁の一部７１が空洞２Ｈに重複配置され、この第２の電極７の周縁の一部７１の端面とその底面とがなす内角θを３０度以下に設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、反りのない圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４の表面に形成された下部電極（第１電極層）３と、下部電極３上に形成された圧電薄膜（第１圧電薄膜）２と、圧電薄膜２上に形成された複数の上部電極（複数に区画された第２電極層）１ａ〜１ｄおよび１１ａ〜１１ｄとで構成された積層構造を備えた圧電素子部９と、レゾネータ４の裏面に形成され、圧電素子部９の積層構造のいずれか１層と同一の積層構造を備え、圧電素子部９に生じる内部応力を補償する応力補償膜８とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、薄膜形成技術を用いて形成された圧電素子を備えた圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータに関し、低コストで良好な圧電特性が得られる圧電薄膜振動子およびその製造方法、並びにそれを用いた駆動装置および圧電モータを提供することを目的とする。
【解決手段】たわみ進行波を発生させるレゾネータ４と、レゾネータ４上に形成された下部電極３と、下部電極３上にエピタキシャル成長により形成された圧電薄膜２と、圧電薄膜２上に形成された上部電極部１および上部電極部１１とを有するように構成する。 （もっと読む）

【課題】
C軸の配向性を改善しても電気機械結合係数が改善されず、圧電薄膜弾性波素子必要な電気機械結合係数が得られない場合が存在する。このような場合には、圧電薄膜弾性波素子の損失が増加するため、受信系では受信感度が低下するおそれがあり、送信系では送信強度を高める必要が生じて省電力化に好ましくない。そこで、発明者らは、C軸の配向性以外に電気機械結合係数に影響を与える要因について調査し、電気機械結合係数を改善するための手法を検討した。
【解決手段】
圧電薄膜がAlN成膜された圧電薄膜弾性波素子において、前記圧電薄膜の分極強度が0.63×10⁻²⁰ F/V以上であり、＋C面においてAlN成膜されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサ用の音叉等に使用される強誘電体材料を用いた電子部品の製造方法に関し、分極処理が個々に必要なために生産性が悪く、コストアップになるという課題を解決し、生産効率を高めて低コストで製造可能な強誘電体材料を用いた電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】シリコン基板上に下部電極と強誘電体と上部電極を順次成膜したウエハを機械加工して所望の電子部品を得る強誘電体材料を用いた電子部品の製造方法において、上記ウエハの上部電極及び強誘電体の加工を行った後に強誘電体の分極処理を行い、この後で下部電極及びシリコン基板の加工を行って所望の電子部品を得る方法により、大きな単位で作業が行えるため、設備を削減してコストを低減し、かつ特性のバラツキを抑えて品質、信頼性の向上を図ることが可能になる。 （もっと読む）

【課題】共振特性の向上ができ、高周波特性の劣化の抑制が可能な薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】基板１１上の第１の金属膜２１と、第１の金属膜２１上の非晶質金属膜２２と、非晶質金属膜２２上で、非晶質金属膜２２の表面に垂直な方向に配向した第２の金属膜２３と、第２の金属膜２３上で、第２の金属膜２３の表面に垂直な方向に配向した圧電膜１５とを備える。 （もっと読む）