【課題】Ｑ値が高く、スプリアスの少ない厚み滑り振動子と、その量産手段を得る。
【解決手段】円形または矩形の平板状の圧電基板の中央に基板の上下に対向する所定の大きさの突起部（メサ部）を一体的に形成すると共に、該突起部の上面と、基板の周縁部（べベル部）の面とが同一球面状になるように圧電基板を構成する。その製造方法は、平板状の圧電基板上にフォトリソ技術とエッチング手法とを用いてメサ形圧電基板を形成し、該圧電基板を研磨剤と共に円筒容器に入れ、所定の回転速度で回転してメサ−ベベル型圧電基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】簡易な方法で水晶素板上に厚み変化の制御されたレジスト膜を形成し、小型なＡＴカット水晶振動子などのベベルやコンベックス加工を可能とする。
【解決手段】水晶素板１にマスク３を合わせ、スキージ４でレジスト２を３次元形状（厚み変化）に塗布（印刷）する。これにより端部から中央へなだらかに傾斜したテーパを有するレジスト２を塗布することが可能となる。このレジスト端部から中央へかけてのテーパは、スクリーン印刷法では、レジストの粘度やチキソ性などレジストとなる樹脂あるいはペーストの性質、印刷圧力、印刷速度などの印刷条件、更に使用するマスクによって変化させることができる。その後ドライエッチング、ウェットエッチング、ブラスト加工等によりベベルあるいはコンベックス形状を施す。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素板のベベル加工方法、前記ベベル加工が施された圧電振動片、及び前記圧電振動片を実装した圧電振動子を提供する。
【解決手段】水晶基板を個片化して圧電振動素板１０を形成し、前記圧電振動素板１０をベベル加工して圧電振動片１２を形成する圧電振動素板１０のベベル加工方法である。前記圧電振動素板１０の外形を台形状に形成して、個片化したのち、前記圧電振動素板１０をベベル加工してなる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、小型化が容易で、且つ加工工程が少なく生産性に優れた水晶振動子の製造方法を提供することを目的としている。さらに、加工時間が短く、高価な加工装置を必要としない安価な水晶振動子を製造する方法を提供することを目的としている。さらに、滑らかな曲面からなるコンベックス形状を達成することで、振動特性に優れた高い信頼性と高い精度を兼ね備えた水晶振動子を製造する方法を提供することを目的としている。
【解決手段】厚み滑り振動を用いた水晶振動子の製造方法において、微粒子をノズルから噴射して水晶基板上に凸面を有する薄膜パターンを形成する工程と、薄膜パターンをマスクとして利用して水晶基板をエッチングし、少なくとも一方の面に凸面を有する水晶振動板を形成する工程と、水晶振動板の所定の位置に電極を形成する工程を有している。 （もっと読む）

【課題】 研磨材の交換作業にかかる時間を短縮して作業性を向上させる。
【解決手段】 圧電片にベベル加工を施すベベリング用筒体１０であって、金属からなり有底で一方が開口する円筒体１１と、円筒体１１の開口端部と密着するための磁石Ｊが設けられている蓋体１２とを備え、蓋体１２が、円筒体１１の開口端部と磁石Ｊの磁力により密着したときに円筒体１１の底と向かい合う底部が平板状又は網状となって構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型のものでありながら、ＣＩ値を高くすることなく、振動周波数の可変感度を大きくすることができるようにした水晶ブランクとその製造方法及び、水晶ブランクを利用した水晶振動子、水晶発振器、水晶発振回路、携帯電話装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】長さ３．２ｍｍ、幅２．５ｍｍ以下のパッケージ２２に収容でき、Ｘ方向として特定される一方向に長い形状を有し、主振動ｆ０が２６ＭＨｚ帯のＡＴカット水晶ブランク１０であって、前記主振動ｆ０と、この主振動ｆ０に最も近接した副振動ｆｓである前記Ｘ方向３次のインハーモニックとの周波数差ΔＳを、４５０ＫＨｚないし５９０ＫＨｚの範囲に設定した。 （もっと読む）

【課題】 水晶素板を、断面テーパー形状または断面コンベックス形状に比較的容易に制御して加工することができる加工方法、及び振動特性に優れた水晶振動片を提供する。
【解決手段】 水晶素子片１ａに、感度の異なるフォトレジストＲ１〜Ｒ５を、水晶素子片１ａの表面から上層に向かって感度が高いものとなるように塗り重ねて積層させる。次に、フォトマスク８を介して露光光を照射して露光してから、フォトレジストＲ１〜Ｒ５の現像を行なう。フォトレジストＲ１〜Ｒ５は、下層にいくに従って未露光部分が多くなるため、現像後のフォトレジストパターンは、水晶素子片１ａの表面側にいくほど外側に広がる断面テーパー形状が形成される。そして、ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）法により水晶ウェハ１をドライエッチングすると、水晶素子片１ａの端面に略断面テーパー形状が形成される。 （もっと読む）

【目的】水晶ウェハにおける各領域の厚み精度を高めた水晶振動子の製造方法を提供する。
【構成】厚みに反比例して振動周波数が高くなる水晶ウェハを基準振動周波数より低い振動周波数の厚みに加工し、前記水晶ウェハにおける縦横の各領域毎に振動周波数を測定して記憶し、前記各領域の振動周波数と前記基準振動周波数との周波数差に基づいて前記各領域の厚みを順次に減じ、前記水晶ウェハを各領域毎に分割して多数の水晶片を得る水晶振動子の製造方法において、前記水晶ウェハには前記領域毎に区分する縦横の分割溝８が設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 厚みすべり振動モードのＡＴカット水晶振動片において低周波化、小型化を図るべく、エネルギ閉じ込め効果を発揮し、小型化に対応しつつ簡単かつ高精度に製造できる新規な構造を提供する。
【解決手段】 矩形薄板のＡＴカット水晶素子片１の各主面２ａ，２ｂにレーザ光を該主面から所定の深さ位置に焦点を合わせて照射し、励振電極を形成する中央部３ａと長手方向の各端部４，５間の領域に、レーザ光の熱作用による変質部６ａ〜１１ａ，６ｂ〜１１ｂを水晶素子片内部に形成する。別の実施例では、レーザ光による変質部を水晶素子片各主面から所定の深さまで加工し、これをウエットエッチングして細溝を形成する。平坦な水晶素子片各主面に成膜した電極膜をパターニングして、励振電極１２ａ，１２ｂ及びそれから引き出した接続電極１３ａ，１３ｂを形成する。 （もっと読む）

【課題】 従来の圧電素板の製造方法では、圧電素板表面を鏡面加工後に再度比較的研磨粒子が粗いベベリング研磨加工をして圧電素板の主面形状をコンベックス形状に徐々に近づけていくような工程を備えていたため、鏡面加工を行った圧電素板表面を目の粗い研磨材で研磨することにより、圧電素板表面に不要なキズが生じてしまう課題がある。
【解決方法】圧電素板の製造方法において、圧電素板の表裏主面をラッピング研磨法により所定の厚みまで研磨加工する工程と、この圧電素板の主面辺縁部をベベリング加工する工程と、この圧電素板をポリッシング加工により主面を鏡面仕上げする工程と、この圧電素板の少なくとも一方の主面を概略コンベックス形状になるように粗研磨加工する工程と、この圧電素板の概略コンベックス形状に加工された主面を所望のコンベックス形状になるように鏡面加工を施す工程を具備する圧電素板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値が高く、スプリアスの少ない厚み滑り振動子と、その量産手段を得る。
【解決手段】円形または矩形の平板状の圧電基板の中央に基板の上下に対向する所定の大きさの突起部（メサ部）を一体的に形成すると共に、該突起部の上面と、基板の周縁部（べベル部）の面とが同一球面状になるように圧電基板を構成する。その製造方法は、平板状の圧電基板上にフォトリソ技術とエッチング手法とを用いてメサ形圧電基板を形成し、該圧電基板を研磨剤と共に円筒容器に入れ、所定の回転速度で回転してメサ−ベベル型圧電基板を製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、水晶部品のべべリング加工方法を提供することである。
【解決手段】目的を達成するために本発明は、水晶部品を回転定盤に貼り付けて研磨ブラシを用いて加工を行うべべリング加工方法において、加工対象物である水晶部品をその高さと同じ高さをもつ回転定盤に貼り付けられたスペーサーの孔に埋め込み、研磨剤を供給しながら加重を掛けられた研磨ブラシを先の回転定盤上の水晶部品に押し当てながら回転させて加工を行うことを特徴とし、また、供給する研磨剤の種類により加工レートを調整することを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）