【目的】 他の有機溶液中に混在している炭素原子数が１〜３個のアルカノールをパーベーパレーションにより高い選択性と高い流量で分離する合成プラズマ膜を得る。
【構成】 微細孔のない不浸透性重合体層を微細孔を有する基体表面に交流電場のグロー放電により気体混合物をプラズマ重合反応させて合成プラズマ膜を製造する。気体混合物はマトリックス形成成分として炭化水素化合物とマトリックス非形成成分として窒素、ケイ素、硫黄又はリンを含む無機化合物と酸素含有化合物を含有する。不浸透性重合体層は不浸透性の中間層を使用することなく微細孔を有する基体表面に直接に生成され、微細孔を有する基体は不浸透性重合体層に面する側に直径１００ｎｍ以下の微細孔を有する。 （もっと読む）