【課題】担持体上に形成されたパターンと基板とを対向させた状態で担持体を基板に加圧当接させた後に、基板と担持体とを離間させることで剥離し、パターンを基板に転写するパターン転写装置において、基板と担持体との剥離時にも基板を安定的に吸着保持する。
【解決手段】基板ＳＢの被吸着領域を吸着保持可能な開口３７１が形成された吸着プレート３７と、基板ＳＢの被吸着領域よりも狭い複数の局所領域をそれぞれ吸着保持可能な複数の局所吸着部３８と、を備え、基板ＳＢと担持体ＢＬとの当接時には、少なくとも開口３７１に負圧を供給することにより吸着プレート３７に基板ＳＢを吸着保持させ、基板ＳＢと担持体ＢＬとの剥離時には、開口３７１に負圧を供給せずに、複数の局所吸着部３８に負圧を供給して基板ＳＢを吸着保持させる。 （もっと読む）

【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体を基板に対して位置合せを行う（アライメント）時および担持体の中央部を基板に加圧当接する（転写）時に、担持体保持手段上での担持体の移動を防止してパターン転写を良好に行うことができるパターン転写装置を提供する。
【解決手段】押さえ部材７１に対して各ピストン７２４の先端部が遊嵌されており、水平面内で移動自在となっており、押さえ部材７１はブランケットＢＬの周縁部を押さえ付けたまま、下ステージ部５とともに移動してアライメント工程中にブランケットＢＬが吸着ステージ５１上で移動するのを確実に防止する。また、ブランケットＢＬの中央部を浮上させている際にも、押さえ部材７１は、アライメント工程が完了した時点での位置決め状態のままブランケットＢＬの周縁部を押さえ付ける。 （もっと読む）

【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】剥離工程を開始する前あるいは剥離開始と同時に、吸着プレート５１で複数の開口のうち開口形成エリアＯＦＡ内で有効パターンエリアＥＰＡを取り囲むエリア、つまり非パターンエリアＮＰＡに位置する開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ）への負圧供給を開始する。これによって、開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ））に対向するブランケット部分が担持体保持面５１ａに吸着保持され、剥離時においてブランケットＢＬを担持体保持面５１ａに保持する力、つまり保持力が増大する。 （もっと読む）

【課題】ブランケット等の担持体に担持される塗布層を版でパターニングすることで形成されるパターン層を基板に転写する印刷装置において版および基板をそれぞれ異なる移動体により搬送する際に両移動体の相互干渉を簡易な構成で防止することを目的とする。
【解決手段】搬送装置２を、版受取位置ＸＰ２１と版保持位置ＸＰ２３との間で版を支持しながら移動可能な版用往復移動体２５Ｌと、基板受取位置ＸＰ２５と基板保持位置ＸＰ２３との間で基板を支持しながら移動可能な基板用往復移動体２５Ｒと、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを一体的に移動させる駆動機構２２とを備えて構成する。駆動機構２２は、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向に移動させてそれぞれを版受取位置ＸＰ２１および基板保持位置ＸＰ２３に位置決めし、両移動体２５Ｌ，２５Ｒを第１方向と反対の第２方向に移動させてそれぞれを版保持位置ＸＰ２３および基板受取位置ＸＰ２５に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置１Ａは、印刷版または基板である平板Ａが載置されるステージ１２ａ，１２ｂと、シート状のブランケット１４を保持する可撓性のブランケット保持板１３と、ブランケット保持板１３の一端部１３ａを移動不能に支持する固定支持部１５と、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを移動可能に支持する単純支持部１６と、ブランケット保持板１３を押圧することでブランケット１４を平板Ａに接触させるエアバルーン１８と、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置を可変に調節することで平板Ａに対してブランケット１４を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Ａとブランケット１４との接触圧が略一定となるようにエアバルーン１８の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。 （もっと読む）

【課題】異なる幅の転写パターンが混在する場合であっても、ブランケットにインクパターンを正確に転写できるようにすること。
【解決手段】、形成するパターンの位置に凹部３１ａ、３１ｂが設けられた版３であって、第１の幅を有する凹部３１ａと当該第１の幅より広い第２の幅を有する凹部３１ｂとで、凹部３１ａより凹部３１ｂの方が深く設けられたものを用い、この版３とブランケット１とを互いに向かい合わせ、これらを加圧接触させることにより、版３の凹部３１ａ、３１ｂに対応する部分のインク２のみをブランケット１側に残して転写させる第１転写工程と、第１転写工程後のブランケット１と、パターンを形成する基板４とを互いに向かい合わせるとともに、これらを加圧接触させることにより、ブランケット１上に残っているインク２を基板４上に転写させる第２転写工程とを有する転写パターン形成方法である。 （もっと読む）

【課題】電子部品等を作成するための高寸法精度の印刷画像を得る印刷法を提供する。
【解決手段】オフセット印刷機においてブランケット５を平板６に貼着し平状に保持、背後に加圧機を設け印刷版２又は基板４に基準端面から順次圧着し順次剥離する構造とする。 （もっと読む）