【課題】担持体上に形成されたパターンと基板とを対向させた状態で担持体を基板に加圧当接させた後に、基板と担持体とを離間させることで剥離し、パターンを基板に転写するパターン転写装置において、基板と担持体との剥離時にも基板を安定的に吸着保持する。
【解決手段】基板ＳＢの被吸着領域を吸着保持可能な開口３７１が形成された吸着プレート３７と、基板ＳＢの被吸着領域よりも狭い複数の局所領域をそれぞれ吸着保持可能な複数の局所吸着部３８と、を備え、基板ＳＢと担持体ＢＬとの当接時には、少なくとも開口３７１に負圧を供給することにより吸着プレート３７に基板ＳＢを吸着保持させ、基板ＳＢと担持体ＢＬとの剥離時には、開口３７１に負圧を供給せずに、複数の局所吸着部３８に負圧を供給して基板ＳＢを吸着保持させる。 （もっと読む）

【課題】パターンを担持したブランケット等の担持体と基板を互いに密着させた後、両者を互いに離間させることで剥離して担持体上のパターンを基板に転写するパターン転写技術において、担持体と基板との剥離を良好に行う。
【解決手段】剥離工程を開始する前あるいは剥離開始と同時に、吸着プレート５１で複数の開口のうち開口形成エリアＯＦＡ内で有効パターンエリアＥＰＡを取り囲むエリア、つまり非パターンエリアＮＰＡに位置する開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ）への負圧供給を開始する。これによって、開口Ｐ（＋ｎ）、Ｐ（−ｎ））に対向するブランケット部分が担持体保持面５１ａに吸着保持され、剥離時においてブランケットＢＬを担持体保持面５１ａに保持する力、つまり保持力が増大する。 （もっと読む）

【課題】高精度にかつ高い再現性で印刷することが可能な印刷装置を提供する。
【解決手段】印刷装置１Ａは、印刷版または基板である平板Ａが載置されるステージ１２ａ，１２ｂと、シート状のブランケット１４を保持する可撓性のブランケット保持板１３と、ブランケット保持板１３の一端部１３ａを移動不能に支持する固定支持部１５と、ブランケット保持板１３の他端部１３ｂを移動可能に支持する単純支持部１６と、ブランケット保持板１３を押圧することでブランケット１４を平板Ａに接触させるエアバルーン１８と、単純支持部１６によるブランケット保持板１３の他端部１３ｂの支持位置を可変に調節することで平板Ａに対してブランケット１４を順次接触させて接触端の位置を可変に調節する接触端位置調節部と、接触端における平板Ａとブランケット１４との接触圧が略一定となるようにエアバルーン１８の内圧を調節する接触圧調節部とを備える。 （もっと読む）