【課題】 印刷位置の位置ずれを防止する。
【解決手段】 Ｘ軸方向に沿うガイドレール１０上を走行する版テーブル１３と印刷対象テーブル１４に、ＸＹθ３軸方向の位置制御が可能なアライメントステージ１７，１８をそれぞれ設けて版１１と印刷対象１２を保持させる。各テーブル１３，１４をブランケットロール２０の下方を順次走行させて版１１と印刷対象１２にブランケットロールを上方より順次接触させて転写（受理）処理と再転写（印刷）処理を行なうときに、ブランケットロール２０が版１１や印刷対象に１２接触している間、対応するアライメントステージ１７，１８のＸＹθ３軸方向の位置ループゲインをゼロとすることで、ブランケットロール２０に接した版１１や印刷対象１２がブランケットロール２０の回転に引きずられて移動するようにすることで、移動速度の完全な同期を図ると同時に、ロール軸方向の横ずれを防止させる。 （もっと読む）

【課題】 印刷パターンの再現性を高め印刷精度を向上させる。
【解決手段】 ブランケットロール２４の回転軸２４ａ，２４ｂを保持する左右の各ベアリングハウジング２８を、左右方向に延びる下端側の開放されたトラフ形状として高い縦剛性を有する連結部材３０で連結して、ロールユニット２７を形成する。架台１７上に設置したガイドレール１８を跨ぐ門型のフレーム２６に、ロールユニット２７をリニアガイド３４を介し上下移動可能に取り付け、ロールユニット２７の左右方向の２個所と、その上方のフレーム２６上部をジャッキ３５を介装して連結する。ジャッキ３５によりロールユニット２７ごと下降させるブランケットロール２４を、版テーブル２１上の版１９や印刷対象テーブル２２上の印刷対象２０に所要の接触圧力で接触させる際に、各ベアリングハウジング２８のロール軸方向からの傾きを抑えてブランケットロール２４の撓み変形を防止させる。 （もっと読む）

【課題】 印刷パターンの幾何学的な再現性を高めて印刷精度を向上させる。
【解決手段】 架台１２上に設けたガイドレール１３を跨ぐように門型のフレーム２１を設ける。ロール支持フレーム２７にてブランケットロール１９の回転軸３０を回転自在に保持する左右の各ベアリングハウジング２８ａ，２８ｂを、フレーム２１のコラム２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄに上下方向の直動ガイドを介し取り付け、更に、ボールねじ機構３３のナット部材３６を各ベアリングハウジング２８ａ，２８ｂに取り付けて、オフセット印刷用転写装置１８を形成する。ガイドレール１３を走行する版テーブル１５上の版１４や印刷対象テーブル１７上の印刷対象１６にブランケットロール１９を上方より所要の接触圧力で押し当てて転写や再転写を行なう際に、接触圧力の反力によりブランケットロール１９以外の機械構造部の変形が生じる虞を抑制させる。 （もっと読む）

【課題】 印刷精度を向上させる。
【解決手段】 架台１上に設けたガイドレール２上に、版テーブル３と基板テーブル４を走行可能に設ける。各テーブル３，４に、アライメントステージ６，８をそれぞれ備えて、版７や基板９をそれぞれ保持させる。架台１上の所要個所に版７と基板９用の個別のアライメントエリア１５，１６を設ける。各アライメントエリア１５，１６にて、版テーブル３に保持させた版７の位置と、基板テーブル４に保持させ基板９の位置の初期アライメントを行うことで、版７及び基板９がブランケットロール１１の軸心に対して同じ相対配置で正対するよう位置補正して、版７よりブランケットロール１１を介して基板９へ印刷される印刷パターンの再現性を高精度なものとさせる。 （もっと読む）

【課題】 印刷精度を向上させる。
【解決手段】 架台１１上のガイドレール１２上に版テーブル１４と印刷対象テーブル１６を走行可能に設ける。ガイドレール１２の中間部と対応させて転写機構部１９を設ける。転写機構部１９のブランケットロール２０よりも印刷時テーブル走行方向ａの上流側となる個所にレーザセンサ２７を設ける。レーザセンサ２７で、ブランケットロール２０の下方に進入する版テーブル１４上の版１３や印刷対象テーブル１６上の印刷対象１５の表面高さ位置を予め検出し、ブランケットロール２０が版１３や印刷対象１５に接触するときに、その回転中心の高さ位置ｅと、予め検出してある版１３や印刷対象１５の表面高さ位置ｊとの差から、ブランケットロール２０の回転中心から版１３や印刷対象１５に接している部分までの見かけ上の半径を求め、その見かけ上の半径と角速度から導かれる円周移動量を、版１３や印刷対象１５の移動量と同期させる。 （もっと読む）

【課題】液晶パネルの製造に用いられる薄膜形成装置の据付調整や検査、及び性能評価が客観的データに基づいて行える振動計測及び検査方法を構築する。
【解決手段】複数個の加速度センサ１、５−１〜４と多チャンネル記録表示装置７、及びローパスフィルタ６によって構成され、ローラ２の回転運動は、ローラ２側面に接線方向に取付けられた加速度センサ１の信号をスリップリング４や無線送信装置によって取り出し、多チャンネル記録表示装置７の１チャンネルに記録し、テーブルの直線運動は、その始点と終点及び複数の中間点に垂直及び水平方向に取付けられた加速度センサ５−１〜４の信号を、高い周波数の振動を除去し、ローラ２の回転運動とテーブル３の直線運動が的確に観測できるように、ローパスフィルタ６を介して多チャンネル記録表示装置７に同時記録する。 （もっと読む）