【課題】新軸に巻かれるウエブの切断部が幅方向に沿って直線に切れ、かつ、新軸に傷を付けることがないウエブの巻き取り装置を提供する。
【解決手段】新軸２８から旧軸２６に向かうウエブＷを吸引部４０で吸引した後、走行カッター３８でウエブＷの幅方向に沿って直線に切断し、その後新軸２８を走行方向とは反対方向に回転させて、新軸２８にある接着部６２にウエブＷを貼り付け、その後に走行方向に回転して、新軸２８にウエブＷを巻き付けるものである。 （もっと読む）

【課題】シートに貼付圧力を付与するプレスローラを移動させる駆動源としてロボットを用い、当該ロボットが、他の装置の駆動源としても作用するようにして装置構成の簡略化を図ることのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供する。
【解決手段】テーブル１３に支持された半導体ウエハＷに接着シートＳを貼付するシート貼付装置１０であり、当該装置は、半導体ウエハＷからはみ出す大きさの接着シートＳを貼付するプレスローラ１４を含む貼付手段１５と、シートＳをウエハＷの形状に合わせて切断するカッター刃１６と、多関節型のロボット１７とを含む。ロボット１７は、自由端側を貼付手段１５に連結した状態で当該貼付手段１５を駆動する駆動機構として作用するとともに、前記カッター刃１６での切断により生ずる外側の不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１９の駆動機構としても作用するように設けられている。 （もっと読む）