【目的】 低価格の検出器により十分な解像度で、見当合せの誤差の分布の測定を行うことができるシステムを提供する。
【構成】 プロセス媒体に第１のプリンターから第１の山形のマークＫＫ１およびＫＫ２、第２のプリンターから第２の山形のマークＭＭ１およびＭＭ２、第１および第２のプリンターから第３の山形のマークで第１のプリンターからの第１の要素ＫＭ１と、第２のプリンターからの第２の要素ＫＭ２とを含でいるマーク４０を付す。これらのマークの通過時刻を検出器Ｄ１、Ｄ２で検出し、３組の複数の時刻を含んだ時刻のマトリックスの相関を取って、レジストレーションのエラーを示すデータを得る。これに基づき、較正および修正を行う。 （もっと読む）