【課題】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスから特定ガスを安価で効率的に分離することができるガス分離方法及びガス分離装置を提供する。
【解決手段】複数成分の特定ガスを含有する被処理ガスを充填材が充填されたカラムに流通させて各特定ガスを分離し、複数のカラムを順次利用して各特定ガスを連続的に分離するガス分離方法及びガス分離装置において、被処理ガスの各カラムへの供給を各カラムから未分離混合ガスが排出を始めるまでに停止し、かつ、被処理ガスの各カラムへの供給時間を、未分離混合ガスの各カラムからの排出時間以上とすることにより、各特定ガスを安価で効率的に分離することができる。 （もっと読む）

汚染の可能性があるガス源から、再使用可能なグレードの六弗化硫黄（ＳＦ_６）を回収するためのシステム及び方法が提供される。このシステムは、汚染の可能性があるガス源に接続された抽出容器（１０）を有している。第一の極低温冷却手段（１５）が、前記抽出容器の温度を、ＳＦ_６の相転移温度よりも低い温度に下げ、それによって圧力差を生じさせ、この圧力差により、汚染の可能性があるガスが前記抽出容器（１０）の中に導入される。ＳＦ_６は、前記抽出容器（１０）の中で液体および／または固体の形態に変わる。凝縮されないコンタミナント・ガスは前記抽出容器（１０）から排気される。回収容器（２２）が、前記抽出容器に接続されている。第二の極低温冷却手段（２５）が前記回収容器（２２）の温度を下げるために使用される。前記抽出容器（１０）の温度を上げることにより圧力差が作り出され、この圧力差により、再使用可能なグレードのＳＦ_６が前記回収容器（２２）の中に導入される。
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