国際特許分類[C07F7/24]の内容
化学;冶金 (1,075,549) | 有機化学 (230,229) | 炭素,水素,ハロゲン,酸素,窒素,硫黄,セレンまたはテルル以外の元素を含有する非環式,炭素環式または複素環式化合物 (10,137) | 周期律表の第4族の元素を含有する化合物 (2,931) | 鉛化合物 (11)
国際特許分類[C07F7/24]の下位に属する分類
テトラーアルキル鉛化合物
国際特許分類[C07F7/24]に分類される特許
11 - 11 / 11
金属化合物、薄膜形成用原料及び薄膜の製造方法
本発明の金属化合物は、下記一般式(I)で表されるもので、融点が低く液体の状態で輸送が可能であり且つ蒸気圧が大きく気化させやすく、しかも他の金属化合物と混合しても配位子交換や化学反応により変質せず、金属化合物を気化させて薄膜を形成するCVD法等の薄膜製造方法に用いられる原料に適している。
(もっと読む)
11 - 11 / 11
[ Back to top ]