【課題】 特に、酸素含有量や炭素含有量の極めて少ないスパッタリングターゲット用に適した高純度ハフニウム材の製造方法を提供する。
【解決手段】ハフニウム材を製造するにあたり、酸化ハフニウムを塩化してハフニウム塩化物を得、次いで上記ハフニウム塩化物を活性金属により還元して金属ハフニウムとし、さらに上記金属ハフニウムを減圧下で精製する。 （もっと読む）

本発明は、Ｔｉ−Ｎｉの二相合金またはＴｉ−Ｎｉ−Ｘの三相合金を集電体として使用し、内部硫化物法によって集電体の表面においてＴｉ、Ｎｉ硫化物を生成して、正極の活性物質として使用することを可能にするとともに、すべての材料に超弾性特性を与えることによって一材料で電池の集電体およびアノードの役割を果たす電池の集電体およびアノード用のハイブリッド超弾性金属−金属硫化物材料に関し、また本発明は、薄板および細線形状を有する集電体およびアノード用のハイブリッド超弾性金属−金属硫化物材料を提供する優れた効果を有する。 （もっと読む）