【課題】 ２次元あるいは３次元で任意の形状を有し、任意の密度を有する均質な超微粒子厚膜と、その超微粒子厚膜の新規な形成方法を提供する。
【解決手段】 超微粒子を分散質とする煙霧質を、通気性を有する担体を介して吸引濾過することにより前記担体上に超微粒子堆積膜を形成し、その超微粒子堆積膜を焼成することで超微粒子厚膜を形成する。 （もっと読む）

【目的】 基板上に形成される微粒子の堆積膜に部分的な特性を極めて簡単に形成することが出来るガス・デポジション法による微粒子膜の形成法と、それに用いる形成装置。
【構成】 基板上にキャリアガスと微粒子を同時に搬送して、微粒子膜を形成する際、微粒子の組成比の変化と、結晶粒の大きさの変化とを単独、または併用で行う微粒子膜の形成法。基板上にキャリアガスと微粒子を搬送する搬送管の途中にガス導入・排出室を配置した微粒子膜の形成装置。 （もっと読む）