【課題】水素ガスが圧縮機より防音カバー内部に漏れ出した場合でも、水素ガスを防音カバーの内部に滞留させず、防音カバー内の水素濃度が所定値以上になった場合は、水素圧縮装置の運転を停止させて安全を確保する。
【解決手段】水素圧縮機設置の防音カバー４１に強制吸込みファン４２’と自然吐出しの吐出し口４３を設け、さらに水素センサ３８１および３８２で、水素ガスの濃度を検出し、水素濃度が所定値以上になった場合、水素圧縮装置の運転を停止する。 （もっと読む）

【課題】ガスをポンピングする方法、特に、水素のような軽量ガス及び凝縮性化学種を含むガス流をポンピングする方法を提供する。
【解決手段】凝縮性化学種と軽量ガスとを含有するガス流をポンピングする方法及びそのための装置。本方法は、吸気段と吸気段の下流側の排気段とを含む多段真空ポンプにガス流を搬送する段階、及び軽量ガスよりも重いパージガスを吸気段の上流側又は吸気段でガス流に付加して、排気段から吸気段に向って軽量ガスが移動するのを抑制すると共に、ポンプ内の凝縮性化学種の凝縮を抑制する段階を含む。 （もっと読む）

【課題】ポンプにガス分離機構を一体的に設けた構成であってもポンプをメンテナンスフリーとすることができるガス分離システム及び該ガス分離システムに用いられるポンプを提供すること。
【解決手段】水素循環ポンプＰは、シリンダ３０内が第１室３３と第２室３４に区画されているとともに、ピストン３１とシリンダ３０の間にピストンリング３９が介在されている。第１室３３の水素オフガスの圧縮工程のときには、水素がシリンダ３０とピストンリング３９との間のクリアランスを通過して第２室３４へ移動される。さらに、圧縮工程の途中であり、粘度係数の最も小さい水素に比して粘度係数の大きい窒素がクリアランスを通過する前には、制御装置２５は第３バルブＶ３を開状態として圧縮工程を終了させる。 （もっと読む）