【課題】 圧縮室で発生する熱がスクロールのボス部から駆動軸に熱伝導するのを抑える溝を設ける。
【解決手段】 固定スクロール５Ａのラップ部７Ａと、旋回スクロール１３Ａのラップ部１５Ａとによって複数の圧縮室１６Ａを画成する。そして、旋回スクロール１３Ａのボス部１９Ａには、モータ２７により駆動される駆動軸３１を嵌合する。また、ボス部１９Ａには、長溝２１Ａと凹窪部２４Ａとを設け、駆動軸３１には周溝３６Ａを設ける。これにより、ボス部１９Ａと駆動軸３１との間には、径方向及び軸方向の空間２２Ａ，２５Ａ，３７Ａを形成できるので、圧縮室１６Ａ側で発生する熱がボス部１９Ａから駆動軸３１に伝わって軸受２９Ａ，３９Ａ等が高温となるのを防止でき、耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 排気速度を低下させることなく、ドライポンプの内部、外部に冷却機構を付設する必要がなく、複雑な構造となることが防止できるためポンプの小型化が可能となり、総合的に安価な真空排気装置を提供する。
【解決手段】 真空処理装置から真空ポンプを介して排気する真空排気装置において、前記真空ポンプの前段にガス冷却機構を備えたことを特徴とする真空排気装置。前記ガス冷却機構は冷却板を備え、または前記ガス冷却機構は周りに冷却ジャケットを備え、前記ガス冷却機構で用いた冷却水を前記真空ポンプの冷却に用いる為の配管を、前記冷却機構と前記真空ポンプの間に備え、及び前記冷却板は高熱伝導性の材料を用いることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 圧縮室で発生する熱が自転防止機構に熱伝導するのを抑える貫通孔を設ける。
【解決手段】 固定スクロール５Ａと旋回スクロール２０Ａとを対向して配置する。そして、これらのラップ部７Ａ，２２Ａ間には複数の圧縮室２６Ａを画成し、フランジ部９Ａと突出部２４Ａとの間には、旋回スクロール２０Ａの自転を防止する補助クランク２８を設ける。また、筒部８Ａには、ラップ部７Ａ側から補助クランク２８への熱伝導を抑える固定側貫通孔３１を設け、突出部２４Ａには、ラップ部２２Ａ側から補助クランク２８への熱伝導を抑える旋回側貫通孔３２を設ける。これにより、圧縮室２６Ａで発生する熱が補助クランク２８に伝わるのを抑制でき、軸受３０等の寿命を延ばして耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】 スクロール流体機械が分析室等で真空ポンプとして使用される場合、静音さのために送風音の低減が要求される。それを達成する手段としてファン形状を変更すればよいのであるが、反面固定スクロール表面の冷却効果が低減するという欠点を有する。
【解決手段】 固定スクロールのフィンが立設している平坦な面に凹状の溝または凸状の突起を設け表面積を増し、これによりファンの風量を減らしても固定スクロールの冷却効果を同等に保てるようにする。 （もっと読む）