【課題】 マイクロ流体デバイス内で使用することができる、極めて簡単な構造のマイクロバルブを提供する。
【解決手段】 対面基板と、該対面基板の上面に貼り合わされる中間基板と、該中間基板の上面に貼り合わされる上面基板とからなる三層構造を有し、前記中間基板の一部に上面から下面に達する、幅を持たない亀裂のみの切開部からなることを特徴とするマイクロバルブ。 （もっと読む）

弁チップは、第１および第２の面および第１および第２の面との間にある開口を有する基板と、開口の少なくとも１つに関連付けられた、基板の面の一方にある複数の可撓性弁フラップとを含みうる。弁チップは、開口を有するフレームを形成し、フレームの開口に弁チップを固定することによってパッケージングされていてもよい。特に、弁チップは、基板の第１および第２の面の中央部分が、フレームにある開口を通って露出され、フレームと基板の縁部との間に流体シールが設けられるように、開口に固定されていてもよい。関連する弁、弁アセンブリ、および方法についても記載する。
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バルブハウジングを含み、バルブハウジングが、ハウジングキャビティを画定するとともに、ハウジング注入口、ハウジングベント、毛細配管注入口、および毛細配管排出口を備えている、凍結・解凍バルブ、および凍結・解凍バルブをマイクロ加工する方法が提示される。バルブ本体が、少なくともその一部をリソグラフィによって構成して設けられ、冷却剤注入口、冷却剤排出口、および膨張チャンバを含んでいる。膨張チャンバは、冷却剤注入口を冷却剤排出口に連通させるように配置され、流れ規制手段を有する規制領域を含んでいる。さらに、バルブ本体は、バルブハウジングとバルブ本体との間に絶縁チャネルを形成するようにハウジングキャビティ内に配置されている。 （もっと読む）

【課題】火災時等に異常高温に晒されたときガス流通を制限又は遮断してガスの漏出を防止できるのは勿論、一度動作しても再復帰することができるガス漏出防止装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ガス体輸送管が異常な高温に晒されたときガス流通を制限又は遮断する弁体を備えたガス漏出防止装置である。これにおいて、ガス管３の流路４内に弁体５で開閉自在な弁座６を設ける。通常弁座６から弁体５が離間するように配置して形状記憶合金からなる保持部材７で弁体５を保持する。高温に晒されると形状記憶合金の保持部材７の変形で保持が解除されて弁体５にて弁座６を閉じるようにする。 （もっと読む）

【課題】 機械的素子や特殊な材料を用いることなく、流路中を通る流体自体の物性を利用して微小流路の流量を制御しうる新規な方法を提供する。
【解決手段】 断熱性固体基板に穿設した微小流路に、熱により可逆的に固液相転移しうる流体を流しながら、相転移点以下に冷却して生成した固体をもって流路を閉塞し、また相転移点以上に加熱して流路を開放することにより微小流路内の流体の流量を調節する。またそれに用いるマイクロバルブとして、断熱性固体基板に穿設された微小流路、その流路内に充填された熱により可逆的に固液相転移しうる流体及びその微小流路の適所に配置された流体を加熱及び冷却しうる温度制御手段から構成されたものとする。 （もっと読む）