【課題】サーバラックへ必要十分な風量の空気を供給しつつ、空調動力を抑制可能な情報処理機器室の空調システムを提供することを課題とする。
【解決手段】情報処理機器を収容したラック３が整列する情報処理機器室４の空調システム１であって、情報処理機器の排気が通過するホットアイルＨから吸引した空気を冷却して、情報処理機器を冷やす空気が通過するコールドアイルＣへ送る空調装置６と、空調装置６から送られる冷気が吹き出す給気口１１と、給気口１１の周囲に配置される、ホットアイルＨと連通する吸込口１５とを有し、給気口１１を通過した冷気で吸込口１５からホットアイルＨの空気を誘引し、混合気を情報処理機器へ送る吹出口ユニット１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路の加工寸法の変動を抑制するために、現実的なクリーンルーム設備及びクリーンルームの室圧制御方法を提供する。
【解決手段】クリーンルームの床下部１５Ａ、１５Ｂ、周壁部１６Ａ、１６Ｂ、天井部１７Ａ、１７Ｂを通して空気を循環させる一連の循環径路を形成し、外調機１８により所要量の外気を取り入れて外気負荷を処理してクリーンルームの室内１０Ａ、１０Ｂに供給する構成のクリーンルーム設備において、クリーンルームの室内１０Ａ、１０Ｂは間仕切りによって複数の空間に区画され、複数の空間のうちの一の空間１０Ａに設置された気圧センサ２１と、気圧センサ２１からの出力信号により一の空間の絶対気圧を所定の値の範囲内に制御する手段２０Ａ、２２を有するクリーンルーム設備とする。 （もっと読む）