【課題】圧力損失および流速の偏りを抑えてＡＦＭの出力を安定化する。
【解決手段】ＡＦＭ３の空気上流側に整流格子５を配置して、ＡＦＭ３の上流に生じる旋回流を直線流にリセットするとともに、整流格子５とＡＦＭ３の間にメッシュ部材６を配置して、ＡＦＭ３の上流に生じる流速の偏りを平均化することにより、ＡＦＭ３の出力を安定化することができる。また、整流格子５において十字形状を成す整流板４の交差箇所αが１箇所のみに設けられるため、交差箇所αによる圧力損失を抑えることができる。さらに、整流板４の交差箇所αが１箇所のみであるため、交差箇所αが増えることにより生じる乱流の発生を防ぐことができ、ＡＦＭ３の出力変動を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置１に関し、製造工程の煩雑さを低減してコストダウンを達成する。
【解決手段】空気流量測定装置１によれば、筐体４は、バイパス流路３を形成する１次成形品１９に導通部材７を保持させる組立工程と、１次成形品１９に導通部材７を保持させた組立体２０を所定の金型内にインサートして２次モールド部２１を射出成形する成形工程とを経て設けられる。これにより、導通部材７をインサート品としてターミナル付き成形品をインサート成形により設ける必要がなくなるので、少なくともインサート成形を１工程分省くことができる。このため、空気流量測定装置１に関し、製造工程の煩雑さを低減してコストダウンを達成することができる。 （もっと読む）

【課題】薄肉部としてのセンシング部を有するセンサチップをケースに片持ち支持してなる流量センサにおいて、センサチップを支持するケースを加工することなく、センサチップ裏面の凹部における乱流の発生防止を適切に行う。
【解決手段】センサチップ２０の裏面２０ｂには、剛体としての板状の裏面側チップ３０が凹部２５を覆うように貼り付けられており、裏面側チップ３０の他面３０ｂのうち支持部２４に対応する部位を、ケース１０に固定して両チップ２０、３０をケース１０に片持ち支持しており、両チップ２０、３０の貼り合わせ界面において裏面側チップ３０側に、凹部２５を外部に開放する開放孔３１が設けられ、この開放孔３１は、裏面側チップ３０の一面３０ａに設けられた３２とセンサチップ２０とが共同して形成するトンネルとして構成されている。 （もっと読む）

【課題】熱式の空気流量測定装置１により内燃機関への吸気の流量を測定する場合に、流量が誤差解消可能範囲から小側に変動してもプラス側誤差の発生を抑制する。
【解決手段】空気流量測定装置１によれば、筐体５の外壁面には、バイパス流路４を通って出口９から流出するバイパス通過流と、バイパス流路４を通らず筐体５の外壁面に沿って吸気主流の方向に流れる外側通過流とを合流させて絞りながら吸気主流の下流側に導く絞り１５が設けられている。これにより、バイパス流路４による嵩上げ幅が、流量の誤差解消可能範囲から小側への変動幅に応じて低減する。このため、熱式の空気流量測定装置１により内燃機関への吸気量を測定する場合に、吸気量が誤差解消可能範囲から小側に変動してもプラス側誤差の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】空気流量測定装置において測定範囲を高流量側に拡大しても、底流の乱れを抑制して薄膜１１の表面の素子の出力を安定させる。
【解決手段】支持部材７の凹部２０の底面２０ａに、薄膜１１と対向する位置よりもＸ軸方向一方側、かつ薄膜１１と対向する位置よりもＹ軸方向一方側の範囲に溝２５を設ける。また、溝２５内における空気の流れ方向がＸ軸方向およびＹ軸方向に対して傾斜するように、かつ、溝２５内に導入された空気が薄膜１１の裏側に向かうように、溝２５を設ける。これにより、底流は、薄膜１１と対向する位置よりもＸ軸方向一方側、かつ、薄膜１１と対向する位置よりもＹ軸方向一方側の領域では、薄膜１１の裏側に向かうように整流される。このため、空気流量測定装置において測定範囲を高流量側に拡大しても、底流の乱れを抑制して薄膜１１の表面の素子の出力を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】熱式の空気流量測定装置１により内燃機関への吸気の流量を測定する場合に、流量が誤差解消可能範囲から小側に変動してもプラス側誤差の発生を抑制する。
【解決手段】空気流量測定装置１によれば、筐体５の外壁面には、バイパス流路の出口９が開口する位置よりも吸気主流の下流側に、バイパス流路を通って出口９から流出するバイパス通過流と、バイパス流路を通らず筐体５の外壁面に沿って吸気主流の方向に流れる外側通過流とを合流させて絞りながら吸気主流の下流側に導く絞り１５が設けられている。これにより、バイパス流路による嵩上げ幅が、流量の誤差解消可能範囲から小側への変動幅に応じて低減する。このため、熱式の空気流量測定装置１により内燃機関への吸気量を測定する場合に、吸気量が誤差解消可能範囲から小側に変動してもプラス側誤差の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】センサ部の出力変動を抑えた空気流量測定装置を提供する。
【解決手段】センサ部３は、副々空気通路２のＵターン部に配置されるものであり、センサ配置部の上流側に上流曲がり部４が存在する。この上流曲がり部４の通路途中に上流絞りαを設け、上流曲がり部４において通路面積を減少させる。これにより、分岐部で発生した空気流の乱れを上流曲がり部４（上流絞りα）において整流することができ、センサ部３の出力変動を抑えることができる。また、上流絞りαを成す上流曲がり部４の内側壁面４ａを滑らかな曲面（Ｒ面等）に設けることで、上流曲がり部４の内側壁面４ａで空気の剥離を回避することができ、空気剥離によるセンサ部３の出力変動を抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】金型でのクランプによる半導体素子のバリ発生や破断を防止した製造方法を用いて、半導体素子の一部と電気制御回路の表面を樹脂で封止する流量センサの構造を提供する。
【解決手段】空気流量検出部とダイヤフラムとを形成した半導体素子と、前記半導体素子を制御するための電気制御回路部を配置した基板またはリードフレームを備え、前記空気流量検出部を露出させた状態で、前記半導体素子の一部表面を含み、前記電気制御回路部の表面が樹脂で覆われている空気流量センサの構造を用いる。樹脂モールド、基板、予めモールドしたプリモールド部品などの面が、半導体素子の空気流量検出部分の設置面と直交する３面と連続して接触しない状態で、半導体素子を囲んだ流量センサの構造や、バネの変形や弾性体フィルムの肉厚方向の変形により半導体素子の寸法バラツキを吸収できる製造方法を提供する。 （もっと読む）