【課題】できるだけ単純で、確実で且つコスト的に手頃に温度決定が可能であり幅広い用途に利用できる測定装置を提供する。
【解決手段】送信／受信装置（Ｓ／Ｅ）とは反対側の壁表面（４）に配置された超音波パルス（５０）の反射手段が、２個の電極（１６，１７）を備えた圧電振動子（１５）であり、圧電振動子（１５）が少なくとも１個の超音波パルス（５０，５３ａ，６３ａ）により励起されて共振振動を生じる。 （もっと読む）

【課題】できるだけ単純で、確実で且つコスト的に手頃に温度決定が可能であり幅広い用途に利用できる測定装置を提供する。
【解決手段】送信／受信装置（Ｓ／Ｅ）とは反対側の壁表面（４）に配置された超音波パルス（５０）の反射手段が、表面波共振器（１４）と音響モード変換器（１３）あるいは圧電変換器（１３）とを有し、音響モード変換器（１３）あるいは圧電変換器（１３）が、表面波共振器（１４）と壁（２）との間で少なくとも１個の超音波パルス（５０，６２，７０）を伝達するために用いられる。 （もっと読む）

【課題】本発明は周囲温度による無線周波数の温度補正を行う無線通信装置に関し、温度検出手段が専用に備えられており、装置の小型化、低コスト化が困難であった。
【解決手段】外部から発振回路の周波数を調整可能にする周波数調整手段２ａを備えたＰＬＬシンセサイザ方式の無線通信手段２と、超音波によりガス流量を計測する流量計測手段３と、流量計測手段３の計測値から周囲温度に変換する温度データ変換手段４と、温度データ変換手段４の内容を前記無線通信手段２の周波数調整手段２ａに反映させるよう動作する制御手段５で構成し、流量計測手段の情報により無線周波数の温度補正を行うことが可能になる。 （もっと読む）

【課題】各種の処理が施される半導体ウェハ等の処理対象物の温度を，汚染を回避しつつ高精度で測定することができること。
【解決手段】ウェハステージ２に形成された導波路１３を通じてウェハ１に対し超音波を出力し，ウェハ１に反射して前記導波路１３を通じて戻る反射超音波を検出し，その検出信号と予め設定されたウェハ１の厚みとに基づいて，ウェハ１の温度を算出する。例えば，超音波の周波数掃引を行い，超音波の掃引周波数と超音波の周波数掃引に応じて変化する反射超音波の検出信号の強度とに基づいて，ウェハ１内での超音波の共振周波数を特定し，その共振周波数とウェハ１の厚みとに基づいてウェハ１の温度を算出する。 （もっと読む）