【課題】本発明は、圧力測定に必要な超音波発信及び受信の効率を増加させて、正確度を向上させ、高真空でも圧力測定が可能な測定装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧力測定装置は、容器部１０の外壁に密着された超音波加振部２０と、超音波加振部２０位置の容器部１０の内壁に付着された音響インピーダンス整合層５０aと、容器部１０の外壁に密着された超音波受信部３０と、超音波受信部３０位置の容器部１０の内壁に付着された第２の音響インピーダンス整合層５０bと、超音波加振部２０と連結されて超音波を制御する制御部２２、及び、制御部２２と連結されて超音波加振部２０から出力される超音波と超音波受信部３０で受信された超音波の信号とに基づいて、容器部１０の内部圧力を測定する圧力測定部６０、を含む。 （もっと読む）

【課題】電気デバイス内の高圧状態を判断するための方法、及び電気デバイス内の高圧状態を検出する装置を提供する。
【解決手段】遮断器内の高圧状態を検出する方法及び装置であって、高強度の超音波を、音波導波管を通じて真空遮断器の外壁に入射し、次いで、反射及び再送信される応答信号を聞き取る。応答信号の特性を利用して、この遮断器内の圧力を判断し、かつ望ましくない高圧状態の存在を判断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真空チャンバの圧力測定システムに関し、もっと詳しくは超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置とその圧力測定方法に関する。
【解決手段】このために、内部に所定の真空が形成された真空チャンバ１０と、真空チャンバ１０の外面に密着され、前記真空チャンバ１０の内部に超音波６２を発射する超音波発射手段と、超音波発射手段から発射された超音波６２が前記真空チャンバ１０に衝突して反射された反射波６４を受信するための超音波受信手段と、超音波受信手段から反射波６４を検出する反射波検出手段と、反射波検出手段から検出された反射波６４から振幅を分析する振幅分析手段と、を含むことを特徴とする超音波を用いた真空チャンバの圧力測定装置が提供される。 （もっと読む）