【課題】耐振性や耐久性を改善した低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】低温機器用真空計において、真空断熱容器内に配置される低温源１、受熱板２、低温源１の温度を測定する第１の温度センサ４、受熱板２の温度を測定する第２の温度センサ５、熱シールド板又は隔壁３の温度を測定する第３の温度センサ６とを具備し、低温源１と受熱板２との離隔、低温源１と受熱板２が対向する面の面積、受熱板２の比熱及び質量、熱シールド板又は隔壁３から受熱板２への熱侵入量と、低温源１及び受熱板２の平衡温度と熱シールド板又は隔壁３の温度に基づいて、低温源１と受熱板２の間の熱伝達率を求め、熱伝達率と圧力の関係を基に受熱板２の平衡温度を計算し、受熱板２の平衡温度と圧力の関係より、受熱板２の温度に基づいて真空断熱容器内の圧力を求める。 （もっと読む）

【課題】 測定範囲が分子流領域以外の領域でも測定可能であり、かつ従来の真空計の耐振性や耐久性を改善し、衝撃や振動の加わる低温機器の真空度測定や監視などに好適であり、測定対象の圧力が上昇しても故障し難く、測定範囲の広い低温機器用真空計を提供する。
【解決手段】 低温機器用真空計において、真空断熱部内に配置される低温源１と、この低温源１から離隔ｓ，ｍ，Ｌをとって対向するように配置される複数の受熱板２，３，４と、前記低温源１の温度を測定する温度センサ５と、前記複数の受熱板２，３，４のそれぞれの温度を測定する複数の温度計センサ６，７，８と、熱シールド板または隔壁９の温度を測定する温度センサ１０とを具備し、前記低温源１の温度および前記熱シールド板または隔壁９の温度と前記複数の受熱板２，３，４それぞれの温度分布から前記真空断熱部内の圧力域を検出する。 （もっと読む）

【課題】マイクロメカニカル素子のキャビティ内の圧力を求めるマイクロメカニカル真空センサが提供される。
【解決手段】 このセンサは、基板２と、基板に接続される少なくとも１つの導電性支持部材４と、少なくとも１つの支持部材３によって支持されると共に、支持部材によって基板から離間され、基板との間に空間を設ける熱抵抗層１とを備える。このセンサは、熱抵抗層が基板から実質的に熱絶縁されるように構成される。このセンサは、キャビティ内の圧力が、センサによって検出される温度値によって求められるように駆動するようにさらに構成される。 （もっと読む）

この発明は、熱測定方法を使用して、包装を備える真空要素（１）内または真空排気体内の気体圧力を決定する方法及びシステムであって、前記真空要素または真空排気体の外側にフラップ（１２）を有し、該フラップは自由縁部の領域において接合された２つのフィルム表面によって画成される。本発明によるシステムは、一方において、フラップの２つのフィルム表面間の隙間が、真空要素の包装内部の空間に連通していて、通気孔を有する薄い材料層で少なくとも部分的に満たされるという事実によって特徴づけられ、他方において、前記材料層の位置で、ガス圧力に依存するフラップの熱交換係数を測定する装置によって特徴づけられる。本発明は、この測定装置の動作の方法にも関する。
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【課題】
低真空領域、高真空領域のセンシング感度を向上させ、大気圧以上の気圧、更に低真空領域から高真空領域にわたる広帯域な真空を含む気圧センシング感度を有する熱型気圧センサを提供する。
【解決手段】
熱的に分離された薄膜（例えば、カンチレバ）上に設けられた薄膜温度センサと、薄膜温度センサを加熱する薄膜ヒータとを備え、薄膜温度センサ、もしくは薄膜温度センサと薄膜ヒータの両方を励振手段により振動させる。これにより少なくとも薄膜温度センサの周囲気体（被計測気体）への熱接触の度合いを増大させ、放熱を促進させることにより、大気圧以上から高真空領域までの気圧センシング感度を改善する。 （もっと読む）

【課題】 真空容器内を排気し、その後ガスを導入して一定の流量とガス圧に制御するような場合に、容易に制御出来る圧力・流量コントロールシステムを提供する。
【解決手段】圧力と流量の両方をセンシングできるセンサチップと、センサチップからの信号を設定値と比較して設定圧力・流量に制御するためのコントローラと、コントローラからの制御信号により圧力・流量を制御するコンダクタンスバルブとニードルバルブとで圧力・流量自動制御システムを構成した。
センサチップは、シリコン基板を用いて製作される。基板から熱分離された薄膜上に、薄膜ヒータと１個以上の温度センサを集積化させる。温度センサを用いて圧力または流量変化による温度差を検出できる。時分割で測定すれば、圧力・流量を１個のセンサチップで測定出来る。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、立体的に拡散した熱を立体的な感温部で捕らえ、立体的な等温線を感温部で捕らえ、ヒータ部と感温部の距離はヒータ部と基板の距離より近くでき、熱を要素にもつ立体空間に関する現象に関与可能な、検知素子、真空計及び真空管を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の検知素子は、貫通孔又は空洞（１１）を有する基板（１０）と、貫通孔又は空洞上に橋架するように設けられ、反り曲がり片持ち梁の形状をなすと共に空間に起立する発熱電極（１３−１）を有するヒータ部（１３）と、貫通孔又は空洞上に反り曲がり片持ち梁の形状をなすと共に空間に起立する感温電極（１４−１，１５−１）を有する感温部（１４，１５）とを具備している。そして、本発明の検知素子は、ヒータ部から輸送される熱量を感温部により計測する。 （もっと読む）

【課題】真空断熱構造を採用したシステムにおいて、断熱の対象であるシステムに熱負荷の異常が発生したときに、その原因が真空槽の真空度の低下による断熱性能の劣化に因るのか断熱対象のシステムの異常に因るのかを安価かつ簡単な構造、方法で判断可能にする。また、真空槽の真空度の低下の恐れが少ない監視装置、方法を提供する。
【解決手段】真空槽の高温側と低温側の壁温の検出が可能な真空断熱構造において、高温側と低温側の真空槽壁間に、いずれの側の壁とも直接的には接触しない温度センサを設置することを特徴とする真空断熱構造の真空度低下の監視装置、および前記装置を用いた真空度低下の監視方法。 （もっと読む）