【課題】 簡単な構造で塑性変形に至らない圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明の圧力センサーにおいては、前記ダイアフラム（１２）は、平坦な形状を有する。前記ダイアフラム（１２）の周辺領域（１３）は、前記ダイアフラムが、前記圧力チェンバ（１０）内の流体圧力の増加により湾曲した時に、前記停止ストリップ（２５）の上で回転する。前記支持要素（２１，３４）は、前記本体（１１）に搭載されたシーリングガスケット（２１）であり、前記本体（１１）と前記ダイアフラムの周辺領域（１３）との間で圧縮されて、前記周辺領域は、前記停止ストリップ（２５）に永続的に当たって押しつける。前記シーリングガスケット（２１）は、前記停止ストリップ（２５）に向かい合って配置される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で計器盤内の圧力の変動を検知して計器盤の異常を検知する。
【解決手段】計器盤の内壁に配置される内枠１０１と、当該内枠の盤外側に固定される第１接点１０１ｂと、内枠に対して盤外側に設置され、内気と外気との差圧によって動作し、計器盤の内圧が外圧より低くなると盤内側に引き込まれるとともに、内圧が外圧より高くなるとき盤外側に押し出される圧力検知板１０２ａと、第１接点と対向して圧力検知板の盤内側に固定され、内圧が外圧より低い所定の第１閾値未満であるときに第１接点と接触する第２接点１０２ｂとを備え、第１接点と第２接点とが非接触のときに異常検知信号を報知する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムを備える加速度計ならびにこの加速度計を備える発電機およびモータを提供すること。
【解決手段】加速度計（１００）が、圧力変換器（１０２）および振動−圧力変換器（ＶＰＣ）（１０４）を備える。ＶＰＣ（１０４）は、計測すべき物体（１２４）に機械的に結合されるハウジング（１０６）と、圧力変換器（１０２）に流体結合されるチャンバ（１２０）を形成するようにハウジング（１０６）をシールするダイアフラム（１１０）とを備えることができる。また、この加速度計（１００）を備える発電機およびモータ（５２）が提供される。 （もっと読む）

【課題】アルカリ溶液を用いたエッチングを行なうことなくダイヤフラム構造を形成でき、微細化を実現できる半導体センサ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】シリコン基板１上にＬＯＣＯＳ酸化膜３が形成され、さらにその上にゲート−メタル層間膜５が形成されている。ゲート−メタル層間膜５の上面からシリコン基板１に到達して、ＬＯＣＯＳ酸化膜３と比べてエッチング選択比の大きい材料からなる枠状部材９が形成されている。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５及びその上の絶縁膜１７，２３に枠状部材９よりも小さい平面寸法で開口部２５が形成されている。枠状部材９の内側に位置するＬＯＣＯＳ酸化膜３が除去されて空洞９が形成されている。空洞９は開口部２５と連通している。枠状部材９の内側に位置するゲート−メタル層間膜５の下面に検出部１１が設けられている。検出部１１の一部分は開口部２５に露出している。 （もっと読む）

【課題】 大きい差圧が加わったときのダイアフラムの過大変位を防止する。広い差圧範囲に亘り測定ができ、低差圧範囲では高い分解能で測定ができる。
【解決手段】 ダイアフラム１１２は、高圧室１０８と低圧室１０４との差圧の増大により前方移動する中央部１１２Ｃと、中央部１１２Ｃを移動可能に支持するフランジ部１１２Ｂを備える。フランジ部１１２Ｂは、外側環部１１２ＢＡと内側環部１１２ＢＢを有する。フランジ部１１２Ｂの前方に、ダイアフラム１１２の過度な変位を制限するガイド１０６Ａが配置される。差圧が低圧範囲にある時、外側環部１１２ＢＡと内側環部１１２ＢＢの双方がガイド１０６Ａから離れていて、実効受圧面積が大きい。差圧が高圧域にある時、外側環部１１２ＢＡがガイド１０６Ａに当接し、内側環部１１２Ｂはガイドから離れ、実効受圧面積が小さい。 （もっと読む）

【課題】 差圧センサ内のダイアフラムの中央部の反力部品との接触による傷みを低減する。差圧が微小な範囲における低い感度を改善する。
【解決手段】 ダイアフラム１１２は、前面１１２ＣＡと側周面１１２ＣＢを有して前面にて反力部品１２０を押すことになる中央ブロック部１１２Ｃと、ブロック部をそこに加わる差圧に応じて移動可能なように支持するための支持部１１２Ｂを備える。中央ブロック部１１２Ｃに、それより剛性の高い材料製のキャップ１１４が被せられる。キャップ１１４は、中央ブロック部１１２Ｃが圧力を受けて変形することや、反力部品１２０が食い込んで痛むことを、防止する。 （もっと読む）

【課題】検出における直線性誤差、ヒステリシスを抑制し、性能を向上させることができる検出器を提供する。
【解決手段】ケース２の内部に設けられ導入圧力によって変位するダイアフラム３と、ダイアフラム３の変位を回動運動に変換する回動運動変換機構４と、回動運動変換機構４によって回動操作される指針５とを備える。回動運動変換機構４は、指針５に連結される変換機構本体４１と、変換機構本体４１に連結されるとともにダイアフラム３の変位を回動運動に変換する回動部４２とを有する。回動部４２は、回動軸４４の周面に基端が接合される第1連結部４５と、回動軸４４の周面に基端が接合され先端部が変換機構本体４１に連結される第2連結部４６と、第1連結部４５の先端に連結される板ばね４７とを含んで構成される。板ばね４７は基端部がケース２に固定され先端部がダイアフラム３に連結される。 （もっと読む）

【課題】安全板が破裂する前に高圧ガス収容体内の圧力上昇の程度の把握を可能とする圧力監視装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ１に取り付けられて該ガスボンベ１の収容空間と連通する内部空間１１が形成された支持体１０と、該支持体１０の内部空間１１内にて支持され上記収容空間の圧力を受けて塑性撓み変形が可能な安全板１２とを有している圧力監視装置６において、上記内部空間１１は、安全板１２により二つの室に仕切られて一方が受圧面側の受圧室１１Ａとしてそして他方が受圧面とは反対側の作用面側の作動室１１Ｂとして形成され、該作動室１１Ｂには撓み変形時の安全板１２の作用面に圧せられて移動する可動体１３が案内支持されており、支持体１０は外部と上記作動室１１Ｂとを連通せしめた視認孔１６が形成されていて、安全板１２の撓み変形により移動した上記可動体１３の一部が上記視認孔１６で外部から視認できる可視部を形成している。 （もっと読む）

【課題】本発明の圧力測定システムは、水晶体手術の際に用いる吸入管をオートクレーブ殺菌装置で再び殺菌し使用できるようにするため利用される。
【解決手段】本発明の圧力測定システムは、流体（４）が流れる管（３）の一部が平坦な外面（６）を有する部分（５）を備え、ここにダイアフラムを設ける。このダイアフラムの動き、すなわち圧力変化の特性は、圧力センサに伝達される。ダイアフラムは、管（３）から突出した突起（１０）に取り外しできないように連結される。一方、突起（１０）は平坦な外面を有する部分（５）の長手方向（１４）をほぼ横断する方向に延びる延長部材（１２）を備え、この延長部材は圧力センサとしての力センサに機械的にかつ分離可能に作用する。 （もっと読む）

【課題】安価で信頼性の高い圧力センサを提供すること。
【解決手段】本発明の圧力センサは、圧力検知手段４と、圧力検知手段４と電気的に接続された電気回路が形成された回路基板３と、圧力検知手段４を収納するセンサ収納室２４の少なくとも一部と回路基板３を収納する基板収納室２３の少なくとも一部とを各収納室２３，２４が隔離した状態で区画するハウジング本体２０と、各収納室２３，２４の残りの少なくとも一部を区画するカバー２１，２２と、を有するハウジング２と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）