【課題】圧力測定対象のガスが塩素系ガス等の腐食性ガスであっても機器の腐食を安価な構成で防止してガスリークを確実に防止できる簡易差圧測定器を提供する。
【解決手段】簡易差圧測定器は、前記収容管体１４の一方側の管端部１０内に測定対象気体を導入する第１の通路２０と、他方側の管端部１２に比較気体を導入する第２の通路２２と、前記非接触式液面検出手段１８によって検出した前記収容管体１４の他方側の管端部１２内の測定液１６の液面位置に基づき前記測定対象気体および比較気体間の差圧を測定する差圧測定手段２４とを設けたものである。 （もっと読む）

装置のパラメータの大きさを測定するためのセンサー・読取器組合せであって、装置及び読取器は、互いに異なる物理的位置に位置する。測定は、パラメータの測定すべき大きさに関する前記装置を表す測定空間（１９、３８、５０、１１１、１３０）内でなされ、前記空間は前記読取器の近くに位置する。 （もっと読む）

【課題】処理槽内で実際に基板が処理される位置において、スプレーノズルからの吐出液の打力を目視で確認し簡易に評価することができる方法を提供する。
【解決手段】上部が開放され液位指標１４を備えた容器１２を準備し、水２４の入った容器１２を、処理槽内で基板が配置される高さ位置にかつスプレーノズル２６から処理液２８が吐出される範囲内に設置する。この状態で、スプレーノズル２６から処理液２８を吐出させ、スプレーノズル２６から吐出される処理液２８の打力により押し下げられた液面３０の高さ位置を液位指標１４によって読み取る。液位指標１４によって読み取られた液面３０の高さ位置の変化により吐出液の打力の大きさを判定する。 （もっと読む）

【課題】圧力差を簡易に読み取ることができるＵ字管型マノメーター１を提供する。
【解決手段】Ｕ字管１０の中間部に液体が封入され、圧力差の測定対象である２箇所の圧力が前記液体の両側においてＵ字管１０内に導入され、この導入された圧力の差に応じて前記液体の両側の液面にレベル差を生じさせ、このレベル差を目盛が付された目盛板によって読み取るように構成されたＵ字管型マノメーター１であって、目盛板２０は上下に移動可能に構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】マノメータ液として水の管理を容易に行うことができるようにしたマノメータを提供する。
【解決手段】非柔軟性の透明な管部材でＵ字型に形成されかつ一端がバグフィルタ式集塵機のクリーン側にまた他端がバグフィルタ式集塵機のダーティ側にそれぞれ連通接続され、さらに底部にマノメータ液の排出口１を設けた本体２と、本体の排出口に設けられた開閉手段と、非柔軟性の透明な管部材で構成され本体の底部に一体的に連通接続され本体とほぼ平行して本体とほぼ同じ高さまで上方へ延びる補助部分４と、補助部分の上端部に着脱可能に取り付けられた栓部材５と、本体および補助部分におけるマノメータ液の高さを視覚で計測するための目盛手段６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 衝突圧力がロードセルに正確に伝達されず、正確な装填圧力を把握することができない。
【解決手段】 装填圧測定装置が、加圧空気により物体が送給される管路に配置された衝撃受け部３と、衝撃受け部３が物体の衝突により受けた圧力を伝達する流体シリンダ装置４と、流体シリンダ装置４内の流体５に当接するように配置されたロードセル６とを備えている。 （もっと読む）