国際特許分類［G01N21/956］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析 (128,275) | 光学的手段，すなわち．赤外線，可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析 (28,618) | 特殊な応用に特に適合したシステム (7,977) | きず，欠陥，または汚れの存在の調査 (6,670) | 調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの (3,597) | 物体表面のパターンの検査 (2,601)
国際特許分類［G01N21/956］に分類される特許
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検査装置
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スクリーン印刷用製版の検査装置
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検査装置
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外観検査装置
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欠陥修正装置および欠陥修正方法
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検査システム及びレシピ設定方法
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表面検査装置及び表面検査方法
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半導体素子画像認識装置及び半導体素子画像認識方法
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欠陥検査方法
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透明膜検査装置及び検査方法
【課題】基板上に成膜された透明膜の外縁を明確に特定することで、精度の高い成膜パターンの検査を行うことができる。
【解決手段】透明膜検査装置１は、透明膜Ｍの外縁Ｍｅを含む被検査範囲の観察像を形成する観察光学系１０と、被検査範囲を含む基板Ｓ上に照明光を照射する照明光源２０と、観察光学系１０の光路内に配置されて当該光路の一部を遮光する遮光部材３０とを備える。遮光部材３０は、観察像内に全遮光部分から徐々に明度が高くなる半遮光部分を含む遮光部分を形成し、この遮光部分が透明膜Ｍの外縁Ｍｅの像に被さるように配置される。観察光学系１０は、透明膜Ｍの外縁Ｍｅの側面で反射した光を観察像内に結像させることで、遮光部分にコントラストの高い透明膜Ｍの外縁Ｍｅの線像を形成する。
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