【課題】サーチ動作による自動焦点合わせを常に良好に行う。
【解決手段】測定制御装置１６は、自動焦点合わせを開始するに先立って、現在の試料ステージの高さ位置を中心としてサーチ動作を行うことができるか否かを判断し、このままではサーチ動作を行うことができないと判断した場合には、予め試料ステージの高さ位置を変更する退避動作を行い、その後にサーチ動作を行わせる。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子による物質からの２次電子放出能測定方法および装置において、高真空度から低真空度までの広範囲に二次電子放出能の値を容易に、かつ正確に測定することを目的とする。
【解決手段】 所定のガス雰囲気中に、対向して配置された陽極２および陰極３と、陰極３を囲む電極Ａ４と、この電極Ａ４を囲む電極Ｂ５と、陽極２と陰極３の間に電圧印加する手段１２と、電極Ａ４と陰極３の間に電圧印加する手段１３と、電極Ｂ５と陰極３間に電圧印加する手段１４と、所定の元素をイオン化する手段６と、陽極２、陰極３および電極Ａ４に流れる電荷量の測定手段９〜１１とを備え、陰極３上の所定の位置に被測定物質８を配置して、各電極に流れる電荷量を演算することにより、高真空度から低真空度までの広範囲に被測定物質の二次電子放出能値を容易に、かつ正確に測定する方法および装置を提供できる。 （もっと読む）

【目的】二系統の散乱イオンエネルギ検出器を備えるラザフォード後方散乱分析装置において、両検出器を、散乱イオンエネルギの測定条件が等価な位置へ設定することを可能とするラザフォード後方散乱分析装置を提供する。
【構成】検出器位置決定用標準試料１０からの散乱イオンエネルギを、二系統の検出器６，７で検出し、それぞれより得られるエネルギスペクトルの高エネルギ端の値が一致するような位置に、両検出器を配置する。
【効果】両検出器より得られる散乱イオンエネルギスペクトルを足しあわせて計数効率を上げることにより、微量元素の検出が容易になる。 （もっと読む）