国際特許分類［G01Q60/06］の内容
物理学 (1,541,580) | 測定；試験 (294,940) | 走査プローブ技術または装置；走査プローブ技術の応用，例．走査プローブ型顕微鏡［ＳＰＭ］ (274) | 特定の型のＳＰＭ［走査プローブ型顕微鏡］またはそのための装置；その基本的な構成部品 (135) | マルチタイプＳＰＭ，すなわち２つまたはそれ以上のＳＰＭ技術を使用するもの (3) | ＳＮＯＭ［近視野光学顕微鏡法］とＡＦＭ［原子間力顕微鏡法］の組合せ (2)
国際特許分類［G01Q60/06］に分類される特許
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走査型プローブ顕微鏡の走査をコンピュータに実行させるプログラム
【課題】走査型プローブ顕微鏡の走査方法をコンピュータに実行させる指示を生成するプログラムにおいて、コンタクトモードの汎用性を維持しつつ、非接触モードやポイントコンタクトモードのように、常時探針と試料表面の接触を伴わない新たな走査方法を実施可能とするプログラムを提供する。
【解決手段】試料表面の測定点に対して、測定中のみ探針を試料表面に接触させその状態を維持し、かつ、測定信号の安定化を待ってデータ採取し、次の測定点への移動は探針を試料表面から所定の距離だけ離間させるようコンピュータに実行させる指示を生成するプログラムとした。
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走査型プローブ顕微鏡及びその走査方法
【課題】走査型プローブ顕微鏡の物性測定において、コンタクトモードの汎用性を維持しつつ、非接触モードやポイントコンタクトモードのように、常時探針と試料表面の接触を伴わない新たな走査方法を実現する装置及びその走査方法を提供する。
【解決手段】試料表面の測定点に対して、測定中のみ探針を試料表面に接触させその状態を維持し、かつ、測定信号の安定化を待ってデータ採取し、次の測定点への移動は探針を試料表面から所定の距離だけ離間させるようにした。
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