【課題】固体物質資料の極表面の弾性率の評価方法を提供する。
【解決手段】原子間力顕微鏡を用いた樹脂フィルム等の固体物質試料の極表面の弾性率の測定方法であって、原子間力顕微鏡の探針を、固体物質試料に塑性変形を与えることなく弾性変形を与える範囲内の固体物質試料の変位量である弾性変位量で接触させる。具体的には、探針が樹脂フィルムへ押し込まれる際の探針に負荷される押込荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である押込変位量との関係を測定する押込工程と、樹脂フィルムへ押し込まれた探針が荷重を弱めて離脱する際の離脱荷重と、その際の樹脂フィルムの変位量である離脱変位量と、の関係を測定する離脱工程とを対比して前記弾性変位量を決定する。 （もっと読む）

【課題】微細な対象物を観察する走査型プローブ顕微鏡に用いることができ、かつ、耐久性の高いカンチレバーを提供することを課題とする。
【解決手段】走査型プローブ顕微鏡に用いるカンチレバーであって、板状の梁部（１３）と、梁部（１３）の一方の端部を支持する支持部（１２）と、梁部（１３）の支持部（１２）に支持されている側とは反対側の端部に配置された探針（１８）とを有し、探針（１８）は、多結晶体であることで、上記課題を解決する。 （もっと読む）