【課題】プラズマにより生成される活性酸素が被処理物との反応領域に効率的に導かれ、被処理物が飛散することなく効果的に処理される装置を得る。
【解決手段】円筒型の処理容器２の内部の処理皿４に被処理物３を搭載し、排気口８を介しての減圧操作、ガス導入口５からのガス導入によって処理容器２の内部を所定のガス雰囲気とし、処理容器２の上部に電気絶縁性の窓１１を介して配された高周波誘導コイル７によってプラズマ１を形成し、これにより生成される活性酸素を被処理物３を灰化減容処理するものにおいて、窓１１の下端と処理皿４の上端との間の高さに位置する処理容器２の内壁に複数のガス導入口５をほぼ均等に配置する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンスが簡単で、かつ排出ガス量が少なく、放射性核種を含むものも放射性核種の飛散を抑えて処理できるものとする。
【解決手段】放電容器１の内部を、排気配管７の減圧ポンプ６で排気し、ガス導入口５より酸素を導入して、減圧酸素含有雰囲気とし、外側に巻装したソレノイドコイル９を励磁して磁界を発生し、導波管８よりμ波を投入してμ波放電を形成し、放電により生じた活性酸素を反応容器２の内部の処理皿４の上に備えたイオン交換樹脂３へと導き、これを減容処理する。 （もっと読む）