【課題】電極の酸化を防止して、所望の大きさの容量を得ることができる可変容量装置を提供する。
【解決手段】可変容量装置１は、固定板２と、固定板２に間隔を隔てて対向するように設けられた可動梁３と、可動梁３に設けられた可動梁側ＲＦ容量電極９と、可動梁側ＲＦ容量電極９に対向するように固定板２に設けられた固定板側ＲＦ容量電極６Ａ，６Ｂと、可動梁側ＲＦ容量電極９と固定板側ＲＦ容量電極６Ａ，６Ｂとの間に設けられた、酸化物からなる誘電体膜４と、可動梁側ＲＦ容量電極９上に設けられた酸化防止膜１０Ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電体の残留応力に起因する初期たわみによる初期変位の影響を無くすことができ、かつ、純粋な厚み方向変位（ｚ方向並進運動）を実現する。
【解決手段】長手方向の中央部が支持される第１アクチュエータ（12）と、長手方向の両端部が第１アクチュエータ（12）の長手方向の両端部に連結される第２アクチュエータ（14）と備える。第１アクチュエータ（12）は、第１圧電駆動部（12A）の駆動によって撓んで変形し、両端部が厚み方向に変位する。第２アクチュエータ（14）は第２圧電駆動部（14A）の駆動によって第1アクチュエータと逆方向に撓んで変形し、長手方向の中央部が厚み方向に変位する。また、同様の構成のアクチュエータ群（101、102）を複数組連結する構成により、さらにz方向変位を増大させることができる。 （もっと読む）