【課題】所定の価数に制御された低速多価イオンビームを効率よく発生する。
【解決手段】多価イオンを発生させる多価イオン生成手段と、多価イオン生成手段により発生された多価イオンのなかで所定の価数の多価イオンのみをトラップするとともに、トラップした多価イオンを所定の運動エネルギーで所定の方向に出射するトラップ制御手段とを有し、多価イオン生成手段は、高強度レーザーによってプラズマを発生させて低速多価イオンを生成するようにした。 （もっと読む）

【課題】 電気的な手段によって、イオン源から引き出すイオンビームを、そのエネルギーを変化させずにしかも方形パルス状に断続する。
【解決手段】 このイオン源２の引出し電極系２０は、プラズマ電極２１および引出し電極２２を有している。そこで、プラズマ電極２１に加速電圧Ｖ₁ を印加する加速電源２６の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチ４１、４２から成る加速電源スイッチ４０を接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部４３にプラズマ電極２１を接続した。更に、引出し電極２２に引出し電圧Ｖ₂ を印加する引出し電源２８の正負両極間に、互いに直列接続されていて互いに相反して入切する二つのスイッチ５１、５２から成る引出し電源スイッチ５０を接続し、かつこの二つのスイッチの互いの直列接続部５３に引出し電極２２を接続した。 （もっと読む）