【課題】放射ビームを用いて高品質で安定した放射出力を発生することができる放射源を提供する。
【解決手段】放射源は、放射源の放射出力を生成するよう用いられる放射ビームを発生するビームジェネレータと、放射ビームをモニタするビームモニタを含む。リソグラフィ装置にこの放射源が含まれる。デバイス製造方法は、第１タイプの放射を第２タイプの放射ビームを用いて発生することと、第２タイプの放射の品質をモニタすることと、第１タイプのパターン付き放射ビームを基板上に投影することを含む。 （もっと読む）

本発明は、陽極及び中空陰極を有するＥＵＶ放射用ガス放電灯にかかる。中空陰極は、少なくとも２つの開口を与えられ、陽極はパッセージを与えられる。本発明の放電灯は、中空陰極の開口の長手方向軸が、陽極のパッセージの対称の軸上に位置付けられた交点Ｓという共有点を有することを特徴とする。
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