【課題】大容量なメモリ用シフトレジスタを提供する。
【解決手段】メモリ用シフトレジスタは、基板１０１と、基板１０１上に形成され、基板１０１の主面に垂直な軸Ｌの周りを回転する螺旋形状を有するチャネル層１１１とを備える。さらに、メモリ用シフトレジスタは、基板１０１上に形成され、軸Ｌに平行な方向に延びており、チャネル層１１１内の電荷を転送するために使用される３本以上の制御電極１１２１，１１２２，１１２３を備える。 （もっと読む）

【課題】グレーティング技術によりポテンシャルを形成する場合に、ポテンシャルのばらつきを抑制することを目的とする。
【解決手段】
半導体装置の製造方法は、半導体基板上にレジスト層を形成する工程と、グレーティングマスクを用いてレジスト層を露光する工程と、 露光されたレジスト層を現像し、勾配を有するレジストマスクを形成する工程と、レジストマスクを介して、半導体基板にイオンを注入することで不純物領域を形成する工程と、を具備する。イオンを注入する工程において、520keV以上でイオン注入を行う。 （もっと読む）

【課題】不純物層の深さおよび濃度のばらつきを抑制することが可能な半導体装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】半導体基板１１のチャネル層１２上に、酸化膜１４を介して、レジスト材料１６を一様に形成する工程と、電荷の転送方向に向かって光の透過率が変化するグレーティングマスク１７を用いてレジスト材料１６を露光する工程と、露光されたレジスト材料１６を現像することにより、膜厚が変化する薄膜部１８Ａを有するレジスト膜１８を形成する工程と、レジスト膜１８を介してチャネル層１２にイオンを注入することにより、第１の不純物層１３を形成する工程と、レジスト膜１８を除去後、第１の不純物層１３上の一部に、酸化膜１４を介して転送電極１５を形成する工程と、を具備し、レジスト材料１６は、単位露光量あたりの膜厚減少量を示すスロープの傾きが、０．００１３［μｍ／ｍＪ／ｃｍ^２］以上、０．００５［μｍ／ｍＪ／ｃｍ^２］以下のレジスト融解特性を有する材料である。 （もっと読む）

【課題】ＣＣＤを駆動するクロック信号を自動的に最適な位相に調整し、ＣＣＤからクロック信号成分が出力されない位相調整装置及び方法を提供する。
【解決手段】本発明の位相調整装置は、２相駆動型の電荷結合素子を用いたフィルタ回路に入力する第１の信号及び第２の信号の位相関係を調整する位相調整装置において、第１の信号に対して遅延を与える遅延付与手段と、遅延付与手段により遅延が与えられた第１の信号と、第２の信号とを加算又は減算する合成手段と、合成手段から出力する参照信号の電力値に基づいて、第１の信号と第２の信号とが逆位相となるように遅延付与手段の遅延設定量を制御する位相調整制御手段とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】目ずれ補正の精度を向上させた固体撮像素子用のレチクルを提供する。
【解決手段】レチクルは、繰返しパターン１２と周辺パターン１１、１３とを備える。繰返しパターン１２及び周辺パターン１１、１３のうち、第１方向の辺の長さが同じか長い方を、当該辺の長さが第１長さである第１パターンとし、第１方向の辺の長さが同じか短い方を、当該辺の長さが第２長さである第２パターンとすると、第１長さは、第２長さのｎ倍（ｎは１以上の整数）である。第１パターンは、第１パターンの上端部から、第２長さ以下の第３長さの位置、及び、第３長さ＋（ｎ−１）×第２長さに目ずれ測定パターン６０を備える。第２パターンは、第２パターンの上端部から、第３長さの位置に目ずれ測定パターン６０を備える。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子のチップの大きさを低減することができ、かつ、信号電荷の転送を良好に行うことができる固体撮像素子を提供する。
【解決手段】光電変換が行われる受光部と、半導体基体１１に形成された水平転送レジスタ４と、半導体層によって形成された水平転送電極１４と、水平転送電極１４の水平転送レジスタ４上の部分に電気的に接続され、金属層によって形成されたバスライン１６，１７と、水平転送電極１４とバスライン１６，１７とを接続するコンタクト部１５において、水平転送電極１４とバスライン１６，１７との界面付近に形成され、水平転送電極１４の半導体層の仕事関数及びバスライン１６，１７の金属層の仕事関数の間の大きさの仕事関数を有する、バリアメタル層２１とを含む固体撮像素子を構成する。 （もっと読む）

【課題】転送効率の向上が図られた固体撮像装置、及びその製造方法を提供する。また、その固体撮像装置を適用した電子機器を提供する。
【解決手段】受光部２と、垂直転送チャネル１１と、転送電極８と、シャント配線９とを有する固体撮像装置において、シャント配線９に接続された抵抗素子Ｒを構成する。抵抗素子Ｒをシャント配線９に接続することにより、シャント配線９の全体の抵抗値を調整できる。これにより、転送電極８と、シャント配線９とを伝達するそれぞれの転送パルスの波形の鈍りを調整し、転送効率の劣化を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】単位面積当たりの取り扱い電荷量を拡大しながら、転送効率を向上させ、高速駆動が実現できる電荷転送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体基板表面の少なくともｎ型領域５を高濃度に、且つｎ型領域５、ｐ型領域４ともに浅く形成して単位面積当たりの取り扱い電荷量を拡大した場合であっても、ゲート電極（７〜１０，１７〜２０）をくの字形状に折り曲げることにより、電界強度を局所的に高めることができるため、転送効率を向上させ、高速駆動が実現できる。 （もっと読む）

【課題】出力回路から出力される信号に含まれるノイズに対する影響を評価可能である固体撮像装置を提供する。
【解決手段】出力回路３は、ＦＤアンプ３０を有し、ＦＤアンプ３０は、出力トランジスタＴ１と出力トランジスタとＴ２，Ｔ３とが従属接続されており、固体撮像装置１は、出力トランジスタＴ１のゲートＴ１_Ｇに電位を与えるリセットトランジスタ２を備え、ノード７が出力トランジスタのゲートＴ１_Ｇに接続され、ノード６には、外部電源３１より第１の電位を与えることが可能であり、出力トランジスタＴ１のドレインには、外部電源３２より第２の電位を与える事が可能である。 （もっと読む）

【課題】信号電荷を分岐させて転送するに際して、信号電荷を誤って別の分岐転送路に転送することを防ぎ、転送効率を改善する。
【解決手段】分岐部の上流側の電荷転送部の転送電極に印加する駆動パルスφＨ１、φＨ２の遷移開始時点ｔａが、下流側の電荷転送部の転送電極に印加する駆動パルスφＨＰ１、φＨＰ２の遷移期間Ｂ、Ｃ内になるように駆動する。 （もっと読む）