【課題】 小型のセンサを量産する。
【解決手段】 シリコンからなる下層部１１０Ａと、ＳｉＯ_２からなる中層部１２０と、シリコンからなる上層部１３０との三層構造からなる第１の基板１００を用意する。下層部１１０Ａには、不純物がドープされており導電性を有する。下層部１１０の下面をエッチングして、ダイヤフラム部１１２と台座部１１１とを形成し、その下に、ガラスからなる第２の基板２００を接合する。第２の基板２００上の電極Ｅと、ダイヤフラム部１１２とにより容量素子が形成される。上層部１３０の上面側からダイシングブレードにより溝Ｇ１１〜Ｇ１７を切削した後、溝の底部を、下層部１１０Ａの上面が露出するまでエッチングにより掘り下げる。単位領域Ｕ１，Ｕ２を切り離すと、ダイヤフラム部１１２の中央に重錘体１３１が位置し、周囲に台座１３２が形成された構造が得られる。容量素子に代えてピエゾ抵抗素子を用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】 可動電極と固定電極との絶縁を確保できるとともに十分な接合強度が得られ、容易に製造できる静電容量型トランスデューサの製造方法および静電容量型トランスデューサを提供すること。
【解決手段】 基板３０と、この基板３０に対して変位可能に空隙を介して対向配置された可動電極２０と、基板３０の可動電極２０と対向する検出面３０Ａに設けられた固定電極３１，３２とを備えた静電容量型トランスデューサ１０を、基板３０の検出面３０Ａの固定電極３１，３２を含むほぼ全面に絶縁膜１１を形成した後に、この絶縁膜１１を介して基板３０と可動電極２０とを互いに陽極接合して製造する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体センサの製造方法に関し、非常に簡単な方法によりメタライズ層をガラス材料からなる台座とステムとの接合面のみに形成させる方法を提供する。
【解決手段】 連通孔形成工程は、ガラス台座（台座）２の表面から裏面に連通し、一方側の孔径を径大、他方側の孔径を径小とし、内面２ｃ’がテーパー状の圧力導入孔（連通孔）２ａ’を形成する。メタライズ層形成工程は、ガラス台座２の前記他方側にガラス台座２と金属ベース板（ステム）４とを半田６により接合させるためのメタライズ層７を真空蒸着法により形成する。 （もっと読む）

【目的】シリコンウェハとガラス基板を陽極接合する工程において、ボイドの発生がなく、電極の長寿命化と接合時間の短縮が図れる陽極接合装置の提供。
【構成】円筒電極１１は、アーム１６、１６′に回転自在に装着されネジリコイルバネ２２で常にガラス基板９に押圧され、円筒電極１１をモータ１０の駆動によりシリコンウェハ８とガラス基板９が重ね合わさった端部から平行移動させることにより、順次接合部を広げていく。 （もっと読む）

【目的】 外来雑音の影響を受け難く、良好な温度補償を行い、かつ歩留りがよく、小形、安価に構成できる。
【構成】 単結晶シリコンでおもり１３、支持部１５、おもりを支持部に支持するはり１４が形成され、はり１４にピエゾ抵抗素子１６が取付けられ、支持部１５の両面にストッパ２２，２３が取付けられ、おもり１３の所定値以上の変位が防止される。ストッパ２２が単結晶シリコン基板で構成され、ストッパ２２に、抵抗素子１６からなるブリッジに対する電圧を印加する駆動回路１８、前記ブリッジの出力を増幅する検出回路１９、これらに対する温度補償回路２１がＩＣとして構成されている。 （もっと読む）

【目的】 閉ループ制御による加速度検出が可能な薄膜構造の半導体加速度センサを提供する。
【構成】 基板１０１上に絶縁膜１０４を介して梁部１０５が両側に設けられた変位検出用可動電極１０２を設ける。この変位検出用可動電極１０２には変位制御用可動電極１０７が設けられており、これを一定の間隔を隔てて挟むように基板１０１上に変位制御用固定電極１０６が設けられている。また基板１０１上には変位検出用可動電極１０２と対面するように変位検出用固定電極１０３が設けられている。この半導体加速度センサに加速度が加わると変位検出用可動電極１０２が変位し変位検出用可動電極１０２と変位検出用固定電極１０３間の静電容量が変化する。この変化を打ち消すように変位制御用可動電極１０７と変位制御用固定電極１０６との間に静電引力を発生させる電圧をかける。加速度はその電圧を処理することにより求めることができる。 （もっと読む）

【目的】 薄膜に半導体素子を有する半導体装置の機械的強度並びに信頼性を高め、かつ高性能、安価な冷却を可能とする。
【構成】 半導体基板１１の少なくとも一部が薄膜化され、この薄膜１２に半導体素子１４を有する半導体装置において、前記半導体基板１１と前記半導体基板に対向する基板１５とにより出入口を２つ以上有する容器を形成し、該出入口の少なくとも一つより前記半導体素子１４を冷却するための冷却液１６を流入し、他の出入口の少なくとも一つより該冷却液１６を流出せしめる。 （もっと読む）