【課題】２つの寿命の短いゲイン手段、すなわち１つはシードビームを発生し、もう一方は該シードビームを増幅する手段を提供する。
【解決手段】少なくとも毎秒１０００パルスの繰返数で放電を発生するためのパルス電源を有する単一チャンバ式のガス放電レーザシステム。放電は、レーザ光学器械と共に、２つの持続期間の短いゲイン手段を生成し、一方はシードビームを生成するためのものであり、他方は、該シードビームを増幅するためのものである。チャンバの循環パスに沿ってレーザガスが循環され、電極（１８Ａ）及び放電は、ゲイン手段の一方から生じるデブリが、放電時に、チャンバの循環パスの少なくとも９０％の周りを廻るまでは、該デブリが他方のゲイン手段に循環しないように配置されている。 （もっと読む）

【目的】 簡単且つ安価な構成でレーザ光出力を設定値どおりに得られるように励起出力を制御する。
【構成】 共振器１の放電電極２，３には高圧電源装置４から励起出力が与えられる。高圧電源装置４および共振器１は冷却装置５により一定温度に保持される。高圧電源装置４および冷却装置５は、制御装置６により駆動制御される。光センサ７は共振器１から出力されるレーザ光の強度を検出して制御装置６に検出信号を与える。制御装置６は、電源投入時に立ち上げ処理を行った後、一定時間だけ所定励起出力で運転を行った後に、初期設定動作としての自動出力較正を実施する。これにより、自動出力較正は、レーザ光出力が安定領域に入ってから実施されるので、励起出力に対応した正確な値として得られる。 （もっと読む）