【課題】ビームモードに対応したレーザ出力の設定値を変更することなく安定なレーザ出力が可能なレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】出力ビームモードを切り替えるビームモード切替手段２１を備え、ビームモード切替手段２１へのビームモード切替信号を出力する制御装置３０を設け、レーザ出力設定部２２からの信号と制御装置３０からの信号を入力し、ビームモード切替に同期してレーザ出力設定部２２からの出力信号を各ビームモードに対応した電圧値以上にならないように保持する出力指令演算手段２３をレーザ出力設定部２２と比較器２４の間に設け、制御装置３０からの信号を入力し、ビームモード切替に同期して比較器２４の出力信号を各ビームモードに対応した電圧値以上にならないように保持する電源指令演算手段２６を比較器２４と高電圧電源８の間に設けた。 （もっと読む）

【課題】放電時のノイズで過電流と誤判断し、高電圧電源４を構成するスイッチング素子のゲート信号などを誤って停止させ、レーザ発振装置およびレーザ加工機の継続使用を阻害するという課題を有していた。
【解決手段】放電電流比較器１１の比較結果において放電電流検出器９の検出値Ｃが放電電流下限設定器１０の設定値Ｄ以下の場合で、かつ出力電流比較器７の比較結果において出力電流検出器５の検出値Ａが出力電流上限値設定器６の設定値Ｂ以上の場合に、高電圧電源の出力を停止する。 （もっと読む）

【課題】拡散吸収体の内部状態、およびレーザ光のエネルギー強度分布変化により部分的に不均一な状態が発生した場合でも、長期に渡って安定したレーザ出力の制御を行う。
【解決手段】レーザ光を減光される拡散吸収体２２と、減光されたレーザ光を検出するレーザ出力検出器２３と、レーザ出力検出器２３に入射するレーザ光の受光量を制限するチャンバー型の入射光量制限手段３１設けることにより、レーザ出力検出器２３の測定精度を向上し、安定したレーザ出力の制御を行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】本発明は、真鍮や銅からなる配管の冷媒による腐食を防止し、長期に渡って安定した性能を維持できるレーザ発振装置およびレーザ加工機を提供する事を目的とする。
【解決手段】放電管３と、放電管３にレーザガスを流すための送風手段１５と、送風手段１５と放電管３の間に位置してレーザガスを冷却する熱交換器１３、１４を備え、熱交換器１３、１４へ冷却水を送る配管として、銅または真鍮を用い、配管の接合部分を非アミン系化合物の接着剤で接着したもので、非アミン系化合物の接着剤を配管の接合部分に用いるので、銅や真鍮を腐食せず、長期に渡って水漏れ事故による装置の故障を防止できる。 （もっと読む）

【課題】すなわち送風手段を用いずにレーザガスを冷却する事、および良質なレーザビームを取り出せる安定型共振器を両立させる事が大きな課題となっていた。
【解決手段】レーザガスを循環するレーザガス流路１のチャンバー２に、電極５、６と直流の電源７からなる放電手段を設け、この放電手段による直流電流方向１３と直行方向に磁界を印加するための磁界発生手段１２を設け、チャンバー２内の放電手段によりレーザガスに流れる電流と、この電流に直角方向に磁界を掛けたので、放電によりプラズマ化したレーザガスが電磁力によって移動するので従来のような送風手段を廃止できるものである。 （もっと読む）

【課題】高出力が可能なＣＯ_２ガスなどを増幅媒体とする増幅器を用いた場合でも、この増幅器に対するマスタオシレータの取り扱いが容易で且つ高効率な増幅が可能なレーザ装置および極端紫外光光源装置を提供する。
【解決手段】極端紫外光光源装置は、１つ以上の縦モードレーザ光を出力する半導体レーザ６１と、１つ以上の増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれる波長の縦モードレーザ光を増幅するプリアンプＰＡおよびメインアンプＭＡと、半導体レーザ６１から出力される縦モードレーザ光の波長が増幅波長帯域Ｓ１〜Ｓ７に含まれるように半導体レーザ６１を制御する縦モードコントローラ４および縦モードアクチュエータ５と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、原子ガスが充填されるガスセル４００と、前記ガスセル４００に入り、前記原子ガスの第１エネルギ遷移を引き起こすレーザビームを放射するレーザ光源１００と、前記原子ガスのＨＦＳ遷移の周波数を含む周波数レンジ内の発振器周波数を生成するための局部発振器７００と、前記発振器周波数で変調されたレーザ光線を放射するように前記レーザ光源１００を変調する変調器６００とを有する原子周波数取得装置に関する。前記ガスセル４００の後ろには、前記レーザビームを、前記原子ガス通過後に、前記レーザキャビティに再び入るように反射するよう、光学反射器５００が配設される。光検出器２００は、前記レーザキャビティ内の自己混合干渉によってもたらされるうなり周波数を検出する。制御ユニット７５０、８００は、前記発振周波数を２つの周波数マージンの間で周期的に変化させるように前記局部発振器を制御し、前記２つの周波数マージンは、前記光検出器２００の出力信号における最大うなり周波数が前記２つの周波数マージン内にあるように適合される。提案装置は、一体化されたフォトダイオードを備えるＶＣＳＥＬを用いることによって、小型化及びコスト削減を可能にし、検出の問題のより少ない動作を達成する。
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【課題】レーザ光の位置ずれの発生が防止され、安定したレーザを発振可能なレーザ発振器を得ること。
【解決手段】レーザ媒質ガスと、レーザ光の光軸方向に分割されて対向して配置される少なくとも２対の放電電極対と、レーザ媒体ガスを対向する放電電極対の間を通して循環させる手段と、放電電極対ごとにそれぞれ独立に設けられて独立に交流電力を発生させる交流電源と、交流電源における交流電力の発生をそれぞれ独立に制御する制御手段と、出力されたレーザ光の光軸位置を検出する測定手段と、を有し、制御手段が、測定手段での測定の結果に基づいて交流電源における放電電極対ごとの交流電力を調整して放電電極対ごとの放電電力を調整し、レーザ光の光軸位置を補正する。 （もっと読む）

ＣＯ_２レーザ基準発振器（ＲＯ）は、Ｑスイッチ法（ＱＳ）あるいはＱスイッチキャビティダンプ法（ＱＳＣＤ）ＣＯ_２レーザ（１０）を励起する入射を提供し、ＲＯ（１２）レーザの出力周波数は、基準発振器（１２）の共振ミラーの１つをディザリングする、適切な電子機器を用いてレーザ線のピークにロックされる。この入射された放射線は、Ｑスイッチ法レーザキャビティ内で放射線増幅を励起し、発振周波数は入射放射線の波長を促進する。電子フィードバック制御回路を用いて、Ｑスイッチ法レーザの縦モードを線中央にロックする。ＱＳレーザ内のパルスの増幅時間の変化を用いて、キャビティの長さをＱＳレーザに入射されるのと同じレーザラインのピークでの振動が可能な値に維持する。 （もっと読む）

【課題】
毎パルスエネルギ安定性を悪化させることなく、レーザ出力のダイナミックレンジを大きくできるレーザシステムまたはレーザ露光システムを提供すること。
【解決手段】
レーザ装置１のメインコントローラ７０は、出力減衰機構５０に入力される前のパルスエネルギＰinをパルスばらつきが小さくなる値（目標パルスエネルギＰL）にすべく、充電電圧制御及びガス制御を行う。また、レーザ装置１の出力エネルギを、露光装置２００で要求される目標パルスエネルギＰt（＜目標パルスエネルギＰL）に一致させるべく、露光装置２００から送信された目標パルスエネルギＰtを示す信号に基づき、出力減衰機構５０の透過率Ｔを制御する。
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