アラーム管理方法およびその装置
【課題】 アラーム発生の原因究明を容易にする。
【解決手段】 アラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームデータおよび管理対象装置１０の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置２２と、それで収集したデータを格納するデータベース装置２４と、それに格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置２６とを備えている。アラーム統計装置２６は、管理対象装置１０が発するアラームと管理対象装置１０の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えている。
【解決手段】 アラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームデータおよび管理対象装置１０の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置２２と、それで収集したデータを格納するデータベース装置２４と、それに格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置２６とを備えている。アラーム統計装置２６は、管理対象装置１０が発するアラームと管理対象装置１０の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、管理対象装置から発するアラームの統計を作成すること等によって当該アラームを管理する方法および装置に関する。管理対象装置は、例えば、半導体の製造や検査用の半導体製造装置、液晶ディスプレイの製造や検査用の液晶ディスプレイ製造装置、これら装置用のイオンビーム照射装置等である。
【背景技術】
【０００２】
上記のような管理対象装置が発するアラームを管理する場合、従来は、アラーム発生件数を単純に積算して、発生件数の多い順にアラームを並べたリスト（いわゆるワーストリスト）を作成したり、百分率グラフやパレート図等の解析用図表を作成したりしていた。
【０００３】
また、アラーム発生件数統計の対象となるデータを指定（換言すれば抽出）するフィルタリング方法としては、通常は、日付や時刻範囲によるフィルタリングが行われていたが、その他、ロットＩＤ（ロット識別情報）によってフィルタリングを行うという技術も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３３２９１０号公報（段落番号０００８、００１２、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような従来のアラーム管理技術には、次の（１）および（２）に示すような課題がある。
【０００６】
（１）アラーム統計の取り方が目的とマッチしていない
アラーム統計を取る目的は、主に、当該統計を利用して管理対象装置の利用効率を向上させることである。利用効率を下げる原因となる様々なトラブル、故障、不具合等は、装置利用者や装置納入者には、アラームとして認知される。そして、装置利用者や装置納入者は、アラーム統計を解析して、重大と思われるものから順次対策を講じることによって、装置の利用効率を向上させようとする。従って、アラーム統計は、各アラームの装置利用効率に対する影響度をできるだけ正確に反映したものである必要がある。
【０００７】
ところが、従来のアラーム統計では、アラーム１件ごとの影響度が考慮されていないので、単純に「最も数が多いアラームが最も重大である」と解釈されてしまう。そして、この解釈は往々にして正しくないことがある。以下にその一例を挙げる。
【０００８】
例えば、ある一定の期間において、あるアラーム（例えばアラームＩＤが１００１）の発生件数が２０件で、当該アラーム１回当たりの平均装置停止時間が１時間、他のアラーム（例えばアラームＩＤが３０５０）の発生件数が５件で、当該アラーム１回当たりの平均装置停止時間が１０時間であったとする。従来のアラーム統計によれば、アラームＩＤ＝１００１のアラームの方が４倍重大であると解釈されるが、期間中の各アラームによる装置停止時間は、アラームＩＤ＝１００１のアラームによるものが２０時間、アラームＩＤ＝３０５０のアラームによるものが５０時間であるから、管理対象装置の利用効率に対する影響度という観点から見ると、アラームＩＤ＝３０５０のアラームの方が、アラームＩＤ＝１００１のアラームの２．５倍も大きい。
【０００９】
上記例では、管理対象装置の利用効率の向上を目的としたアラーム統計解析について述べたが、他にも、管理対象装置の保守費用の削減、保守人員の工数低減といった様々な目的が考えられ、それぞれの目的に応じて適切な影響度評価の方法があれば良いのであるが、上記のようなアラーム統計を行う従来のアラーム管理方法ではそのような評価を行うことはできない。
【００１０】
（２）アラーム統計がアラーム発生原因の追及に使えない
従来のアラーム管理技術の別の問題として、管理対象装置の状態を表す装置データとのリンク（結合）機能の貧弱さが挙げられる。対策を講じるべき重大アラームが特定されたら、アラーム統計の役割はそれで終り、という訳ではない。アラーム統計を、アラーム発生原因の特定に役立てることができれば良いのであるが、従来のアラーム統計ではそれは困難である。これは、アラームのデータと、上記装置データとのリンクがうまく取れていないからである。
【００１１】
この点に関しては、上記特許文献１に示した、アラームをロットＩＤでフィルタリングするという技術でも十分ではない。なぜなら、ロットＩＤは複数の装置データと関連しており、しかもロットＩＤとこの複数の装置データとは必ずしも一意には結びつかないからである。即ち、ロットＩＤが同じだからといって、そのロットを処理したときの装置の運転パラメータがいつも同じとは限らないのである。詳述すると、ロットＩＤから当該ロットを処理したときの処理条件であるプロセスレシピを特定できたとしても、当該プロセスレシピは複数の装置運転パラメータ（これは装置データと見ることもできる）によって実現されるものであり、その内の幾つかの運転パラメータがアラーム発生原因に関係していると思われても、それらの運転パラメータは異なるプロセスレシピの中で同じ値をとることがあるため、ロットＩＤによるプロセスレシピ単位のフィルタリングでは精度が低過ぎて、アラーム発生原因となっている運転パラメータを特定することが困難な場合がある。
【００１２】
そこでこの発明は、アラーム発生の原因究明を容易にすることを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に係るアラーム管理方法の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるステップ、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成して表示するステップ、および、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するステップ、を備えていることを特徴としている。
【００１４】
このアラーム管理方法によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００１５】
この発明に係るアラーム管理方法の他の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、および、（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームの統計を作成し、しかも当該統計を作成する際に、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするステップ、を備えていることを特徴としている。
【００１６】
このアラーム管理方法によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００１７】
この発明に係るアラーム管理装置の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴としている。
【００１８】
このアラーム管理装置によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００１９】
この発明に係るアラーム管理装置の他の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴としている。
【００２０】
このアラーム管理装置によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【発明の効果】
【００２１】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【００２２】
請求項１および４に記載の発明によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００２３】
請求項２および５に記載の発明によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００２４】
請求項３および６に記載の発明によれば、取り扱うデータ容量を小さくすることができ、またアラームの表示も簡素になるという更なる効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。管理対象装置１０に、信号伝送路１８を介して、アラーム管理装置２０が接続されている。
【００２６】
管理対象装置１０は、この例では、当該管理対象装置１０を構成する各種機器（図示省略）を制御する幾つかのサブコントローラ１３〜１６、これらのサブコントローラ１３〜１６の統括制御を行うメインコントローラ１２、および、これらのコントローラ１２〜１６間を結ぶループ状の信号伝送路１８を備えており、これらでネットワークを構成している。
【００２７】
管理対象装置１０が、イオンビーム照射装置の一種であるイオン注入装置の場合を例にとると、各サブコントローラ１３〜１６は、例えば次のようなものである。
【００２８】
サブコントローラ１３は、注入対象のウェーハの機械的走査、イオンビームの走査、ドーズ量の管理等の、ウェーハに対するイオン注入動作を制御する注入コントローラである。
【００２９】
サブコントローラ１４は、イオンビームを発生させてそれをウェーハまで輸送するための各種機器用の各種電源の制御を行うビームコントローラである。
【００３０】
サブコントローラ１５は、ウェーハの搬送の制御を行うエンドステーションコントローラである。
【００３１】
サブコントローラ１６は、上記電源以外の各種機器の制御や真空排気の制御を行うシステムコントローラである。
【００３２】
この管理対象装置１０が発する各アラームは、当該アラームの内容を直接表すテキスト形式で管理しても良いけれども、この例では、各アラームを識別する識別情報であるアラームＩＤで管理するようにしている。そのようにする方が、取り扱うデータ容量を小さくすることができるので好ましい。また、アラームの表示も簡素になる。従って、この例では、管理対象装置１０内および管理対象装置１０からアラーム管理装置２０へは、アラームＩＤが伝送される。アラームＩＤとそれが表すアラーム内容とは一意に結び付いている。両者の関係を把握しやすくするために、アラームＩＤとそれが表すテキスト形式のアラーム内容とを結び付けるリストを例えばメインコントローラ１２内に格納しておき、それを必要に応じて読み出して使うようにしても良い。
【００３３】
メインコントローラ１２は、この例では、上記機能に加えて、自分自身またはサブコントローラ１３〜１６がアラームを発すると、当該アラームのアラームＩＤおよび発生日時から成るアラームデータを、アラーム管理装置２０を構成するデータ収集装置２２に送信する機能を有している。また、オペレータがアラーム原因を取り除いた上でメインコントローラ１２のアラーム解除ボタン（図示省略）を押すと、メインコントローラ１２は、アラームを解除し、当該アラームのアラームＩＤおよび解除日時から成るアラームデータをデータ収集装置２２に送信する機能も有している。即ち、管理対象装置１０が（より具体的にはこの例ではメインコントローラ１２が）発するアラームデータの中身は、アラーム発生時にはアラームＩＤとその発生日時、アラーム解除時にはアラームＩＤとその解除日時である。
【００３４】
アラーム管理装置２０は、この例では、データ収集装置２２、データベース装置２４およびアラーム統計装置２６を備えており、これらは相互に信号伝送路１９で接続されている。
【００３５】
データ収集装置２２は、管理対象装置１０が発する上記アラームデータを収集する。更に、管理対象装置１０の状態を表す装置データとアラームとのリンク（これについては後述する）を実現する場合は、管理対象装置１０が発する装置データも収集する。装置データは、例えば、前述したプロセスレシピ、装置運転パラメータの設定値、装置運転パラメータのモニタ値等を含むものである。データ収集装置２２は、これらのデータを収集し、それをデータベース装置２４に格納させる制御を行う。また、アラームデータを受信したことをアラーム統計装置２６に通知する機能も有している。
【００３６】
データベース装置２４は、データ収集装置２２で収集した上記アラームデータをデータベースに格納する。このデータベース装置２４に格納されるアラームデータＡＤの一つの例を図２に示す。このアラームデータＡＤは、アラームＩＤ、発生日時および解除日時から成る。重み係数については後述する。このデータベース装置２４は、上記リンクを実現する場合は、データ収集装置２２で収集した上記装置データもデータベースに格納する。
【００３７】
アラーム統計装置２６は、データベース装置２４に格納された上記アラームデータを用いて、あるいは上記アラームデータおよび上記装置データを用いて、アラーム統計を作成する。その手段等を、（Ａ）アラームごとに重みを付ける場合と、（Ｂ）アラームと装置データとをリンクさせる場合とに分けて、以下に詳述する。
【００３８】
まず、上記（Ａ）のアラームごとに重みを付ける場合について説明する。
【００３９】
この場合のアラーム統計装置２６は、図３に示す例のように、各アラームに１種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段３０と、各アラームについてこの１種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段３２と、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段３４と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段３６とを備えている。
【００４０】
このアラーム統計装置２６は、この例では、設けるのが好ましいものとして、統計作成手段３６で作成した統計等を表示する表示手段３８、必要な入出力を行う入出力手段３９、各種データを保存する記憶手段４０ならびに後述する重み係数設定手段４２および重み係数決定手段４４を更に備えている。これらの各手段は、この例では、信号伝送路５４によって相互に接続されている。表示手段３８は、例えばディスプレイである。
【００４１】
上記１種類以上の重み係数は、各アラームの属性として取り扱われ、アラームＩＤごとにアラームデータＡＤに付与されて、アラームデータＡＤと一緒に、この例ではデータベース装置２４に保存される。重み係数が付与されたアラームデータＡＤの一例を図２に示す。なお、図２では、一例として重み係数を二つ図示しているけれども、それに限られるものではない。図８についても同様である。
【００４２】
上記重み係数は、次の二つに大きく分類することができる。
【００４３】
（１）アラームの種別ごとに一意に決まる重み係数
この例では、前述したように、アラームをアラームＩＤで管理しているので、この重み係数は、アラームＩＤごとに一意に決まる重み係数、と言うこともできる。詳細は以下に説明する。
【００４４】
（２）アラームの発生ごとに一意に決まる重み係数
ここで言う「アラームの発生ごと」というのは、アラームの発生や解除のタイミングに限定されるものではない。アラームＩＤ以外で決まる重み係数と言うこともできる。即ち、アラームＩＤが同じアラームでも、発生の度ごとに重み係数が異なる可能性がある。詳細は以下に説明する。
【００４５】
上記（１）の重み係数は、アラームの種別ごとに（即ちアラームＩＤごとに）固有の値としてユーザーが設定することができる。重み係数設定手段４２はこの設定を行うものである。この重み係数設定手段４２は、例えば、表示手段３８を構成するディスプレイの前面に設けられたタッチパネルでも良いし、キーボード等でも良い。この重み係数設定手段４２で設定された重み係数は、対応するアラームＩＤと共に、例えばテーブルとして、記憶手段４０に保存される。そして、アラーム統計装置２６は、アラーム解除時に、アラームＩＤをキーとしてこのテーブルを検索して、当該アラームの重み係数を決定して、それをデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図２である。
【００４６】
上記（１）の重み係数の使用例としては、アラーム統計から特定のアラームを排除することが挙げられる。例えば、メンテナンスや故障修理の際には、管理対象装置１０の収納容器のドアが開いたというアラームが頻繁に発生する場合がある。これらのアラームは、現場での作業時には勿論重要なものであるが、管理対象装置１０の例えば利用効率を上げるためのアラーム統計には不要なものである。そこで、これらのアラームＩＤに対して、その重み係数を０に設定し、その他のアラーム統計に必要なアラームＩＤには、目的に応じて０以外の（例えば１以上の）任意の値を設定しておくことによって、アラーム統計から不要なアラームを簡単に排除することができる。
【００４７】
上記（２）の重み係数は、アラームの発生ごとにユーザーが設定することができる。この設定も、この例では上記重み係数設定手段４２によって行う。即ち、重み係数設定手段４２は、この例では、上記（１）の重み係数を設定する手段と、上記（２）の重み係数を設定する手段とを兼ねている。上記（２）の重み係数の設定は、例えば、アラームの発生後にそのアラームが解除されるときに行う。より具体的には、例えば、当該アラームが解除されるときに、表示手段３８に表示される制御画面のダイアログに従って設定（入力）することができる。アラーム統計装置２６は、このようにして設定された重み係数を、アラームＩＤをキーとして、データベース装置２４内のアラームデータＡＤに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図２である。
【００４８】
但し、アラーム解除時にいつもアラーム統計装置２６の所に人がいて重み係数を入力することができるとは限らないので、アラーム統計装置２６に、後でまとめて重み係数を入力する機能を持たせておいても良い。その方法としては、例えば、（ａ）表示手段３８に表示される制御画面に従って、アラームＩＤとアラーム解除日時とを指定して、必要な重み係数を重み係数設定手段４２から入力する方法と、（ｂ）アラーム統計装置２６から入出力手段３９によってアラーム解除リストをファイルの形式で出力させ、このファイルに必要な重み係数を付加してアラーム統計装置２６に入出力手段３９によって読み込ませることによって入力する方法、とがある。（ｂ）の場合は、重み係数を付加したファイルを読み込ませる入出力手段３９が、重み係数設定手段であると言うことができる。
【００４９】
この（ａ）または（ｂ）の機能を使用する場合の例としては、当該アラームに伴って発生する作業工数や作業費用等を使ってアラームの重み係数を決めてそれを入力する場合が挙げられる。例えば、オペレータがこれらの作業工数や作業費用等の値を集計して重み係数を求めておき、それをアラーム解除時に入力しても良い。また、オペレータが集計したこれらの値を管理者に報告し、管理者が週単位、月単位等のある程度まとまった単位で重み係数を入力しても良い。
【００５０】
上記（２）の重み係数の中には、アラーム統計装置２６が予め設定された所定の規則に基づいて自動的に決定することができるものも存在する。重み係数決定手段４４はこの決定を行うものである。この重み係数決定手段４４は、アラーム解除時に所定の規則に基づいて自動で重み係数を決定し、重み係数付与手段３０はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付加する。これによって、人手を介さずに重み係数を決定することができるので、省力化を図ることができる。
【００５１】
この機能を利用する例としては、当該アラームに伴う管理対象装置１０の停止時間に対応する時間を重み係数として採用する例が挙げられる。アラーム解除時、重み係数決定手段４４は当該アラームの発生時刻をデータベース装置２４からアラームＩＤをキーとして検索し、アラーム解除の現在時刻からアラーム発生時刻を引き算することによって、対象としているアラームが発生してから解除されるまでの時間を求めることができる。重み係数決定手段４４は、この時間に応じた重み係数を決定し、重み係数付与手段３０はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付加する。これによって、管理対象装置１０の利用効率に対する影響度をアラーム統計に加味することができる。
【００５２】
アラーム統計装置２６は、統計作成手段３６においてアラーム統計を作成する際に、上述した１種類以上の重み係数についてそれぞれ有効／無効を切り換えることができる機能を有しているのが好ましい。この例では、この機能を重み係数付与手段３０に持たせている。総合重み係数演算手段３２は、重み係数付与手段３０で有効とされた重み係数を互いに掛け合わせて、各アラームについて一つの総合重み係数を求める。重み付き件数演算手段３４は、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数を求める。例えば、総合重み係数が２．５とすると、重み付き件数は１×２．５＝２．５［件］となる。統計作成手段３６は、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する。
【００５３】
この重み付きのアラーム発生件数の統計の様式は、例えば、発生件数の多い順にアラームを並べた、いわゆるワーストリストでも良いし、百分率グラフやパレート図等の解析用図表の形にして視覚化しても良い。その場合、各アラームを表す方法としては、アラームＩＤを用いるのが簡素で好ましいけれども、それに対応する内容のテキストを用いても良い。
【００５４】
このアラーム管理装置２０は、上記アラーム統計装置２６を用いて、管理対象装置１０が発する各アラームに１種類以上の重み係数をそれぞれ付し、各アラームについてこの１種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求め、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求め、かつ各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成するというアラーム管理方法を実施することができる。
【００５５】
上記アラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、従来のようなアラーム発生件数の単純な積算ではなく、重み係数を採用したことによって、価値判断を含んだアラーム統計を作成することができる。即ち、管理対象装置１０が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【００５６】
次に、上記（Ｂ）のアラームと装置データとをリンクさせる場合について説明する。
【００５７】
この場合のアラーム統計装置２６は、図４に示す例のように、管理対象装置１０が発するアラームと当該管理対象装置１０の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段４６と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段４８と、このトレンドグラフ作成手段４８で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段３８とを備えている。トレンドグラフとは、横軸が時間、縦軸がある値であり、このある値の時間的な動向・推移を表したグラフである。表示手段３８の例は前述のとおりである。
【００５８】
このアラーム統計装置２６は、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した入出力手段３９および記憶手段４０を更に備えている。信号伝送路５４による接続は前述のとおりである。
【００５９】
このようなアラーム統計装置２６を備えるアラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームと当該管理対象装置１０の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせておき、管理対象装置１０から取得される装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成し、かつ前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するというアラーム管理方法を実施することができる。
【００６０】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、管理対象装置１０が発するアラームと前記装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００６１】
例えば、「注入イオン質量数異常（例えばアラームＩＤ＝３０２５）」というアラームが発生したとする。リンク手段４６で、このアラームＩＤにリンクさせるデータとして、「注入イオン質量数設定値」という装置データを指定する。また、通常は、リンクさせる時間も指定する。トレンドグラフ作成手段４８は、例えばトレンドグラフ作成の指示を受けて、データベース装置２４にアクセスして、指定された期間内の当該装置データ（注入イオン質量数設定値）を検索して、当該装置データのトレンドグラフを作成する。その一例を図５に示す。
【００６２】
表示手段３８は、このトレンドグラフ作成手段４８で作成した図５のようなトレンドグラフを表示する。また、前記リンクに基づいて、このトレンドグラフ上に、予め指定した（例えばアラームＩＤ＝３０２５および３０２６の）アラームが発生した日時を、アイコン６４等の手段で表示する。換言すれば、当該アラームが発生した日時の所に、当該アラーム発生を表すアイコン６４等を表示する。図５は、アラームＩＤ＝３０２５のアイコン６４が表示されている状態の例を示す。なお、図５の例では、その横軸を時刻としているので、日付表示部６０に日付を表示するようにしている。この横軸と日付表示部６０とによって、アラームが発生した日時を表示することができる。但し、横軸を日時にしても良い。アイコン６４と共にそのアラームＩＤを表示しても良いけれども、その代わりに、この例のように、アイコン６４とアラームＩＤとの対応を表示する凡例表示部６２を設けておく方が好ましい。そのようにすれば、アイコン６４の周りの表示が簡素になり見やすくなる。
【００６３】
この図５の例では、注入イオン質量数設定値が４０のときに、アラームＩＤ＝３０２５のアラームがよく発生する、という傾向を容易に知ることができるので、これをアラーム発生の原因究明の一助とすることができる。
【００６４】
他のリンク機能として、アラームデータのフィルタリング機能を採用しても良い。この場合のアラーム統計装置２６は、図６に示す例のように、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段５０と、このフィルタリング手段５０によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段５２とを備えている。フィルタリング手段５０には、上記所定の装置データの指定、および、上記指定した値または値の範囲を設定することができる。
【００６５】
このアラーム統計装置２６も、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した表示手段３８、入出力手段３９および記憶手段４０を更に備えている。信号伝送路５４による接続は前述のとおりである。
【００６６】
このようなアラーム統計装置２６を備えるアラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームの統計を作成する際に、管理対象装置１０から取得されるものであって当該装置１０の状態を表す装置データの内の所定の装置データが、予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするというアラーム管理方法を実施することができる。
【００６７】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置１０が特定の運転状態にあるときのアラーム発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００６８】
例えば、フィルタリング手段５０に、「注入イオン質量数設定値」という装置データの、特定の値（例えば１１）をフィルタとして指定する。これによって、注入イオン質量数が１１のときに発生したアラームだけを使ったアラーム統計を作成することができる。それによって、注入イオン質量数が１１という特定の状況でのアラーム発生状況を知ることができ、これは当該特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等に有用である。
【００６９】
ところで、図１は、１台の管理対象装置１０が発するアラームを１台のアラーム管理装置２０で管理する場合の例であるが、複数台の管理対象装置１０が発するアラームを１台のアラーム管理装置２０で管理することもできる。その場合の例を図７に示す。
【００７０】
図７の例は、５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅを管理の対象とするものである。各管理対象装置１０ａ〜１０ｅの構成は、それぞれ、例えば図１に示した管理対象装置１０と同様のものである。アラーム管理装置２０内には、この例では、各管理対象装置１０ａ〜１０ｅからのデータをそれぞれ収集する５台のデータ収集装置２２ａ〜２２ｅを設けている。各データ収集装置２２ａ〜２２ｅの機能は、それぞれ、図１に示したデータ収集装置２２と同様のものである。データベース装置２４およびアラーム統計装置２６は、それぞれ１台で共用することができる。
【００７１】
この場合は、各アラームが５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅの内のどの管理対象装置から発せられたものであるかを識別することができれば、後は、管理対象装置が１台の場合と同様にアラームを管理することができる。そのためには、図８に示す例のように、前述したアラームデータＡＤに、管理対象装置を識別する識別情報である装置ＩＤを付加すれば良い。アラームＩＤは、５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅで皆同じものを使えば良い。このようにすれば、装置ＩＤとアラームＩＤとによってアラームを特定することができるので、図３、図４および図６に示したアラーム統計装置２６をほぼそのまま使用することができると共に、前述した各アラーム管理方法を実施することができる。
【００７２】
また、現在は管理対象装置は例えば図１に示す例のように１台しかないけれども、将来複数台に増やす可能性がある場合も、図８に示すようなデータを扱うことができるようにしておいて、装置ＩＤには一つの値（例えば１）を入れておいても良い。そのようにすれば、将来、管理対象装置を増やす場合にも容易に対応することができる。
【００７３】
なお、上記各実施例のアラーム管理装置２０は、コンピュータを用いて実現しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。
【図２】アラームデータに重み係数を付与したデータの一例を示す概念図である。
【図３】アラーム統計装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図４】アラーム統計装置の構成の他の例を示すブロック図である。
【図５】トレンドグラフの一例を示す図である。
【図６】アラーム統計装置の構成の更に他の例を示すブロック図である。
【図７】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の他の例を示すブロック図である。
【図８】アラームデータに重み係数を付与したデータの他の例を示す概念図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０ 管理対象装置
２０ アラーム管理装置
２２ データ収集装置
２４ データベース装置
２６ アラーム統計装置
３０ 重み係数付与手段
３２ 総合重み係数演算手段
３４ 重み付き件数演算手段
３６ 統計作成手段
３８ 表示手段
４２ 重み係数設定手段
４４ 重み係数決定手段
４６ リンク手段
４８ トレンドグラフ作成手段
５０ フィルタリング手段
５２ 統計作成手段
【技術分野】
【０００１】
この発明は、管理対象装置から発するアラームの統計を作成すること等によって当該アラームを管理する方法および装置に関する。管理対象装置は、例えば、半導体の製造や検査用の半導体製造装置、液晶ディスプレイの製造や検査用の液晶ディスプレイ製造装置、これら装置用のイオンビーム照射装置等である。
【背景技術】
【０００２】
上記のような管理対象装置が発するアラームを管理する場合、従来は、アラーム発生件数を単純に積算して、発生件数の多い順にアラームを並べたリスト（いわゆるワーストリスト）を作成したり、百分率グラフやパレート図等の解析用図表を作成したりしていた。
【０００３】
また、アラーム発生件数統計の対象となるデータを指定（換言すれば抽出）するフィルタリング方法としては、通常は、日付や時刻範囲によるフィルタリングが行われていたが、その他、ロットＩＤ（ロット識別情報）によってフィルタリングを行うという技術も提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平６−３３２９１０号公報（段落番号０００８、００１２、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような従来のアラーム管理技術には、次の（１）および（２）に示すような課題がある。
【０００６】
（１）アラーム統計の取り方が目的とマッチしていない
アラーム統計を取る目的は、主に、当該統計を利用して管理対象装置の利用効率を向上させることである。利用効率を下げる原因となる様々なトラブル、故障、不具合等は、装置利用者や装置納入者には、アラームとして認知される。そして、装置利用者や装置納入者は、アラーム統計を解析して、重大と思われるものから順次対策を講じることによって、装置の利用効率を向上させようとする。従って、アラーム統計は、各アラームの装置利用効率に対する影響度をできるだけ正確に反映したものである必要がある。
【０００７】
ところが、従来のアラーム統計では、アラーム１件ごとの影響度が考慮されていないので、単純に「最も数が多いアラームが最も重大である」と解釈されてしまう。そして、この解釈は往々にして正しくないことがある。以下にその一例を挙げる。
【０００８】
例えば、ある一定の期間において、あるアラーム（例えばアラームＩＤが１００１）の発生件数が２０件で、当該アラーム１回当たりの平均装置停止時間が１時間、他のアラーム（例えばアラームＩＤが３０５０）の発生件数が５件で、当該アラーム１回当たりの平均装置停止時間が１０時間であったとする。従来のアラーム統計によれば、アラームＩＤ＝１００１のアラームの方が４倍重大であると解釈されるが、期間中の各アラームによる装置停止時間は、アラームＩＤ＝１００１のアラームによるものが２０時間、アラームＩＤ＝３０５０のアラームによるものが５０時間であるから、管理対象装置の利用効率に対する影響度という観点から見ると、アラームＩＤ＝３０５０のアラームの方が、アラームＩＤ＝１００１のアラームの２．５倍も大きい。
【０００９】
上記例では、管理対象装置の利用効率の向上を目的としたアラーム統計解析について述べたが、他にも、管理対象装置の保守費用の削減、保守人員の工数低減といった様々な目的が考えられ、それぞれの目的に応じて適切な影響度評価の方法があれば良いのであるが、上記のようなアラーム統計を行う従来のアラーム管理方法ではそのような評価を行うことはできない。
【００１０】
（２）アラーム統計がアラーム発生原因の追及に使えない
従来のアラーム管理技術の別の問題として、管理対象装置の状態を表す装置データとのリンク（結合）機能の貧弱さが挙げられる。対策を講じるべき重大アラームが特定されたら、アラーム統計の役割はそれで終り、という訳ではない。アラーム統計を、アラーム発生原因の特定に役立てることができれば良いのであるが、従来のアラーム統計ではそれは困難である。これは、アラームのデータと、上記装置データとのリンクがうまく取れていないからである。
【００１１】
この点に関しては、上記特許文献１に示した、アラームをロットＩＤでフィルタリングするという技術でも十分ではない。なぜなら、ロットＩＤは複数の装置データと関連しており、しかもロットＩＤとこの複数の装置データとは必ずしも一意には結びつかないからである。即ち、ロットＩＤが同じだからといって、そのロットを処理したときの装置の運転パラメータがいつも同じとは限らないのである。詳述すると、ロットＩＤから当該ロットを処理したときの処理条件であるプロセスレシピを特定できたとしても、当該プロセスレシピは複数の装置運転パラメータ（これは装置データと見ることもできる）によって実現されるものであり、その内の幾つかの運転パラメータがアラーム発生原因に関係していると思われても、それらの運転パラメータは異なるプロセスレシピの中で同じ値をとることがあるため、ロットＩＤによるプロセスレシピ単位のフィルタリングでは精度が低過ぎて、アラーム発生原因となっている運転パラメータを特定することが困難な場合がある。
【００１２】
そこでこの発明は、アラーム発生の原因究明を容易にすることを主たる目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
この発明に係るアラーム管理方法の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるステップ、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成して表示するステップ、および、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するステップ、を備えていることを特徴としている。
【００１４】
このアラーム管理方法によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００１５】
この発明に係るアラーム管理方法の他の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、および、（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームの統計を作成し、しかも当該統計を作成する際に、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするステップ、を備えていることを特徴としている。
【００１６】
このアラーム管理方法によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００１７】
この発明に係るアラーム管理装置の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴としている。
【００１８】
このアラーム管理装置によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００１９】
この発明に係るアラーム管理装置の他の一つは、管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴としている。
【００２０】
このアラーム管理装置によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【発明の効果】
【００２１】
この発明は、上記のとおり構成されているので、次のような効果を奏する。
【００２２】
請求項１および４に記載の発明によれば、管理対象装置が発するアラームと装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００２３】
請求項２および５に記載の発明によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置が特定の運転状態にあるときのアラームの発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００２４】
請求項３および６に記載の発明によれば、取り扱うデータ容量を小さくすることができ、またアラームの表示も簡素になるという更なる効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。管理対象装置１０に、信号伝送路１８を介して、アラーム管理装置２０が接続されている。
【００２６】
管理対象装置１０は、この例では、当該管理対象装置１０を構成する各種機器（図示省略）を制御する幾つかのサブコントローラ１３〜１６、これらのサブコントローラ１３〜１６の統括制御を行うメインコントローラ１２、および、これらのコントローラ１２〜１６間を結ぶループ状の信号伝送路１８を備えており、これらでネットワークを構成している。
【００２７】
管理対象装置１０が、イオンビーム照射装置の一種であるイオン注入装置の場合を例にとると、各サブコントローラ１３〜１６は、例えば次のようなものである。
【００２８】
サブコントローラ１３は、注入対象のウェーハの機械的走査、イオンビームの走査、ドーズ量の管理等の、ウェーハに対するイオン注入動作を制御する注入コントローラである。
【００２９】
サブコントローラ１４は、イオンビームを発生させてそれをウェーハまで輸送するための各種機器用の各種電源の制御を行うビームコントローラである。
【００３０】
サブコントローラ１５は、ウェーハの搬送の制御を行うエンドステーションコントローラである。
【００３１】
サブコントローラ１６は、上記電源以外の各種機器の制御や真空排気の制御を行うシステムコントローラである。
【００３２】
この管理対象装置１０が発する各アラームは、当該アラームの内容を直接表すテキスト形式で管理しても良いけれども、この例では、各アラームを識別する識別情報であるアラームＩＤで管理するようにしている。そのようにする方が、取り扱うデータ容量を小さくすることができるので好ましい。また、アラームの表示も簡素になる。従って、この例では、管理対象装置１０内および管理対象装置１０からアラーム管理装置２０へは、アラームＩＤが伝送される。アラームＩＤとそれが表すアラーム内容とは一意に結び付いている。両者の関係を把握しやすくするために、アラームＩＤとそれが表すテキスト形式のアラーム内容とを結び付けるリストを例えばメインコントローラ１２内に格納しておき、それを必要に応じて読み出して使うようにしても良い。
【００３３】
メインコントローラ１２は、この例では、上記機能に加えて、自分自身またはサブコントローラ１３〜１６がアラームを発すると、当該アラームのアラームＩＤおよび発生日時から成るアラームデータを、アラーム管理装置２０を構成するデータ収集装置２２に送信する機能を有している。また、オペレータがアラーム原因を取り除いた上でメインコントローラ１２のアラーム解除ボタン（図示省略）を押すと、メインコントローラ１２は、アラームを解除し、当該アラームのアラームＩＤおよび解除日時から成るアラームデータをデータ収集装置２２に送信する機能も有している。即ち、管理対象装置１０が（より具体的にはこの例ではメインコントローラ１２が）発するアラームデータの中身は、アラーム発生時にはアラームＩＤとその発生日時、アラーム解除時にはアラームＩＤとその解除日時である。
【００３４】
アラーム管理装置２０は、この例では、データ収集装置２２、データベース装置２４およびアラーム統計装置２６を備えており、これらは相互に信号伝送路１９で接続されている。
【００３５】
データ収集装置２２は、管理対象装置１０が発する上記アラームデータを収集する。更に、管理対象装置１０の状態を表す装置データとアラームとのリンク（これについては後述する）を実現する場合は、管理対象装置１０が発する装置データも収集する。装置データは、例えば、前述したプロセスレシピ、装置運転パラメータの設定値、装置運転パラメータのモニタ値等を含むものである。データ収集装置２２は、これらのデータを収集し、それをデータベース装置２４に格納させる制御を行う。また、アラームデータを受信したことをアラーム統計装置２６に通知する機能も有している。
【００３６】
データベース装置２４は、データ収集装置２２で収集した上記アラームデータをデータベースに格納する。このデータベース装置２４に格納されるアラームデータＡＤの一つの例を図２に示す。このアラームデータＡＤは、アラームＩＤ、発生日時および解除日時から成る。重み係数については後述する。このデータベース装置２４は、上記リンクを実現する場合は、データ収集装置２２で収集した上記装置データもデータベースに格納する。
【００３７】
アラーム統計装置２６は、データベース装置２４に格納された上記アラームデータを用いて、あるいは上記アラームデータおよび上記装置データを用いて、アラーム統計を作成する。その手段等を、（Ａ）アラームごとに重みを付ける場合と、（Ｂ）アラームと装置データとをリンクさせる場合とに分けて、以下に詳述する。
【００３８】
まず、上記（Ａ）のアラームごとに重みを付ける場合について説明する。
【００３９】
この場合のアラーム統計装置２６は、図３に示す例のように、各アラームに１種類以上の重み係数をそれぞれ付与する重み係数付与手段３０と、各アラームについてこの１種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求める総合重み係数演算手段３２と、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求める重み付き件数演算手段３４と、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する統計作成手段３６とを備えている。
【００４０】
このアラーム統計装置２６は、この例では、設けるのが好ましいものとして、統計作成手段３６で作成した統計等を表示する表示手段３８、必要な入出力を行う入出力手段３９、各種データを保存する記憶手段４０ならびに後述する重み係数設定手段４２および重み係数決定手段４４を更に備えている。これらの各手段は、この例では、信号伝送路５４によって相互に接続されている。表示手段３８は、例えばディスプレイである。
【００４１】
上記１種類以上の重み係数は、各アラームの属性として取り扱われ、アラームＩＤごとにアラームデータＡＤに付与されて、アラームデータＡＤと一緒に、この例ではデータベース装置２４に保存される。重み係数が付与されたアラームデータＡＤの一例を図２に示す。なお、図２では、一例として重み係数を二つ図示しているけれども、それに限られるものではない。図８についても同様である。
【００４２】
上記重み係数は、次の二つに大きく分類することができる。
【００４３】
（１）アラームの種別ごとに一意に決まる重み係数
この例では、前述したように、アラームをアラームＩＤで管理しているので、この重み係数は、アラームＩＤごとに一意に決まる重み係数、と言うこともできる。詳細は以下に説明する。
【００４４】
（２）アラームの発生ごとに一意に決まる重み係数
ここで言う「アラームの発生ごと」というのは、アラームの発生や解除のタイミングに限定されるものではない。アラームＩＤ以外で決まる重み係数と言うこともできる。即ち、アラームＩＤが同じアラームでも、発生の度ごとに重み係数が異なる可能性がある。詳細は以下に説明する。
【００４５】
上記（１）の重み係数は、アラームの種別ごとに（即ちアラームＩＤごとに）固有の値としてユーザーが設定することができる。重み係数設定手段４２はこの設定を行うものである。この重み係数設定手段４２は、例えば、表示手段３８を構成するディスプレイの前面に設けられたタッチパネルでも良いし、キーボード等でも良い。この重み係数設定手段４２で設定された重み係数は、対応するアラームＩＤと共に、例えばテーブルとして、記憶手段４０に保存される。そして、アラーム統計装置２６は、アラーム解除時に、アラームＩＤをキーとしてこのテーブルを検索して、当該アラームの重み係数を決定して、それをデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図２である。
【００４６】
上記（１）の重み係数の使用例としては、アラーム統計から特定のアラームを排除することが挙げられる。例えば、メンテナンスや故障修理の際には、管理対象装置１０の収納容器のドアが開いたというアラームが頻繁に発生する場合がある。これらのアラームは、現場での作業時には勿論重要なものであるが、管理対象装置１０の例えば利用効率を上げるためのアラーム統計には不要なものである。そこで、これらのアラームＩＤに対して、その重み係数を０に設定し、その他のアラーム統計に必要なアラームＩＤには、目的に応じて０以外の（例えば１以上の）任意の値を設定しておくことによって、アラーム統計から不要なアラームを簡単に排除することができる。
【００４７】
上記（２）の重み係数は、アラームの発生ごとにユーザーが設定することができる。この設定も、この例では上記重み係数設定手段４２によって行う。即ち、重み係数設定手段４２は、この例では、上記（１）の重み係数を設定する手段と、上記（２）の重み係数を設定する手段とを兼ねている。上記（２）の重み係数の設定は、例えば、アラームの発生後にそのアラームが解除されるときに行う。より具体的には、例えば、当該アラームが解除されるときに、表示手段３８に表示される制御画面のダイアログに従って設定（入力）することができる。アラーム統計装置２６は、このようにして設定された重み係数を、アラームＩＤをキーとして、データベース装置２４内のアラームデータＡＤに付与する。そのようにしたデータの一例が前述した図２である。
【００４８】
但し、アラーム解除時にいつもアラーム統計装置２６の所に人がいて重み係数を入力することができるとは限らないので、アラーム統計装置２６に、後でまとめて重み係数を入力する機能を持たせておいても良い。その方法としては、例えば、（ａ）表示手段３８に表示される制御画面に従って、アラームＩＤとアラーム解除日時とを指定して、必要な重み係数を重み係数設定手段４２から入力する方法と、（ｂ）アラーム統計装置２６から入出力手段３９によってアラーム解除リストをファイルの形式で出力させ、このファイルに必要な重み係数を付加してアラーム統計装置２６に入出力手段３９によって読み込ませることによって入力する方法、とがある。（ｂ）の場合は、重み係数を付加したファイルを読み込ませる入出力手段３９が、重み係数設定手段であると言うことができる。
【００４９】
この（ａ）または（ｂ）の機能を使用する場合の例としては、当該アラームに伴って発生する作業工数や作業費用等を使ってアラームの重み係数を決めてそれを入力する場合が挙げられる。例えば、オペレータがこれらの作業工数や作業費用等の値を集計して重み係数を求めておき、それをアラーム解除時に入力しても良い。また、オペレータが集計したこれらの値を管理者に報告し、管理者が週単位、月単位等のある程度まとまった単位で重み係数を入力しても良い。
【００５０】
上記（２）の重み係数の中には、アラーム統計装置２６が予め設定された所定の規則に基づいて自動的に決定することができるものも存在する。重み係数決定手段４４はこの決定を行うものである。この重み係数決定手段４４は、アラーム解除時に所定の規則に基づいて自動で重み係数を決定し、重み係数付与手段３０はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付加する。これによって、人手を介さずに重み係数を決定することができるので、省力化を図ることができる。
【００５１】
この機能を利用する例としては、当該アラームに伴う管理対象装置１０の停止時間に対応する時間を重み係数として採用する例が挙げられる。アラーム解除時、重み係数決定手段４４は当該アラームの発生時刻をデータベース装置２４からアラームＩＤをキーとして検索し、アラーム解除の現在時刻からアラーム発生時刻を引き算することによって、対象としているアラームが発生してから解除されるまでの時間を求めることができる。重み係数決定手段４４は、この時間に応じた重み係数を決定し、重み係数付与手段３０はこれを重み係数の一つとしてデータベース装置２４内のアラームデータＡＤに付加する。これによって、管理対象装置１０の利用効率に対する影響度をアラーム統計に加味することができる。
【００５２】
アラーム統計装置２６は、統計作成手段３６においてアラーム統計を作成する際に、上述した１種類以上の重み係数についてそれぞれ有効／無効を切り換えることができる機能を有しているのが好ましい。この例では、この機能を重み係数付与手段３０に持たせている。総合重み係数演算手段３２は、重み係数付与手段３０で有効とされた重み係数を互いに掛け合わせて、各アラームについて一つの総合重み係数を求める。重み付き件数演算手段３４は、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数を求める。例えば、総合重み係数が２．５とすると、重み付き件数は１×２．５＝２．５［件］となる。統計作成手段３６は、各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成する。
【００５３】
この重み付きのアラーム発生件数の統計の様式は、例えば、発生件数の多い順にアラームを並べた、いわゆるワーストリストでも良いし、百分率グラフやパレート図等の解析用図表の形にして視覚化しても良い。その場合、各アラームを表す方法としては、アラームＩＤを用いるのが簡素で好ましいけれども、それに対応する内容のテキストを用いても良い。
【００５４】
このアラーム管理装置２０は、上記アラーム統計装置２６を用いて、管理対象装置１０が発する各アラームに１種類以上の重み係数をそれぞれ付し、各アラームについてこの１種類以上の重み係数を互いに掛け合わせて総合重み係数をそれぞれ求め、各アラーム１件についてその件数を表す１にこの総合重み係数を乗じて重み付き件数をそれぞれ求め、かつ各アラームについてこの重み付き件数をそれぞれ積算して、重み付きのアラーム発生件数の統計を作成するというアラーム管理方法を実施することができる。
【００５５】
上記アラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、従来のようなアラーム発生件数の単純な積算ではなく、重み係数を採用したことによって、価値判断を含んだアラーム統計を作成することができる。即ち、管理対象装置１０が発する各アラームに、目的に応じた重み係数をそれぞれ付すことができるので、上記重み付きアラーム発生件数の統計によって、目的に応じて各アラームの影響度を評価することができる。
【００５６】
次に、上記（Ｂ）のアラームと装置データとをリンクさせる場合について説明する。
【００５７】
この場合のアラーム統計装置２６は、図４に示す例のように、管理対象装置１０が発するアラームと当該管理対象装置１０の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段４６と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段４８と、このトレンドグラフ作成手段４８で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段３８とを備えている。トレンドグラフとは、横軸が時間、縦軸がある値であり、このある値の時間的な動向・推移を表したグラフである。表示手段３８の例は前述のとおりである。
【００５８】
このアラーム統計装置２６は、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した入出力手段３９および記憶手段４０を更に備えている。信号伝送路５４による接続は前述のとおりである。
【００５９】
このようなアラーム統計装置２６を備えるアラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームと当該管理対象装置１０の状態を表す装置データとを、アラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせておき、管理対象装置１０から取得される装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成し、かつ前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するというアラーム管理方法を実施することができる。
【００６０】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、管理対象装置１０が発するアラームと前記装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせているので、アラームの発生と所定の装置データとの関係を知ることができる。即ち、そのアラームは所定の装置データがどういう値のときに発生しているのかということを、上記トレンドグラフを併用して容易に知ることができる。その結果、アラーム発生の原因究明が容易になる。
【００６１】
例えば、「注入イオン質量数異常（例えばアラームＩＤ＝３０２５）」というアラームが発生したとする。リンク手段４６で、このアラームＩＤにリンクさせるデータとして、「注入イオン質量数設定値」という装置データを指定する。また、通常は、リンクさせる時間も指定する。トレンドグラフ作成手段４８は、例えばトレンドグラフ作成の指示を受けて、データベース装置２４にアクセスして、指定された期間内の当該装置データ（注入イオン質量数設定値）を検索して、当該装置データのトレンドグラフを作成する。その一例を図５に示す。
【００６２】
表示手段３８は、このトレンドグラフ作成手段４８で作成した図５のようなトレンドグラフを表示する。また、前記リンクに基づいて、このトレンドグラフ上に、予め指定した（例えばアラームＩＤ＝３０２５および３０２６の）アラームが発生した日時を、アイコン６４等の手段で表示する。換言すれば、当該アラームが発生した日時の所に、当該アラーム発生を表すアイコン６４等を表示する。図５は、アラームＩＤ＝３０２５のアイコン６４が表示されている状態の例を示す。なお、図５の例では、その横軸を時刻としているので、日付表示部６０に日付を表示するようにしている。この横軸と日付表示部６０とによって、アラームが発生した日時を表示することができる。但し、横軸を日時にしても良い。アイコン６４と共にそのアラームＩＤを表示しても良いけれども、その代わりに、この例のように、アイコン６４とアラームＩＤとの対応を表示する凡例表示部６２を設けておく方が好ましい。そのようにすれば、アイコン６４の周りの表示が簡素になり見やすくなる。
【００６３】
この図５の例では、注入イオン質量数設定値が４０のときに、アラームＩＤ＝３０２５のアラームがよく発生する、という傾向を容易に知ることができるので、これをアラーム発生の原因究明の一助とすることができる。
【００６４】
他のリンク機能として、アラームデータのフィルタリング機能を採用しても良い。この場合のアラーム統計装置２６は、図６に示す例のように、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段５０と、このフィルタリング手段５０によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段５２とを備えている。フィルタリング手段５０には、上記所定の装置データの指定、および、上記指定した値または値の範囲を設定することができる。
【００６５】
このアラーム統計装置２６も、この例では、設けるのが好ましいものとして、前述した表示手段３８、入出力手段３９および記憶手段４０を更に備えている。信号伝送路５４による接続は前述のとおりである。
【００６６】
このようなアラーム統計装置２６を備えるアラーム管理装置２０は、管理対象装置１０が発するアラームの統計を作成する際に、管理対象装置１０から取得されるものであって当該装置１０の状態を表す装置データの内の所定の装置データが、予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするというアラーム管理方法を実施することができる。
【００６７】
このアラーム管理方法およびそれを実施するアラーム管理装置２０によれば、上記のようにして作成された統計によって、管理対象装置１０が特定の運転状態にあるときのアラーム発生状況を知ることができるので、アラームの原因究明が容易になる。また、上記のようにして作成された統計は、特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等にも有用である。
【００６８】
例えば、フィルタリング手段５０に、「注入イオン質量数設定値」という装置データの、特定の値（例えば１１）をフィルタとして指定する。これによって、注入イオン質量数が１１のときに発生したアラームだけを使ったアラーム統計を作成することができる。それによって、注入イオン質量数が１１という特定の状況でのアラーム発生状況を知ることができ、これは当該特定の状況下でのアラームについてのみ優先的に対策を講じたいとき等に有用である。
【００６９】
ところで、図１は、１台の管理対象装置１０が発するアラームを１台のアラーム管理装置２０で管理する場合の例であるが、複数台の管理対象装置１０が発するアラームを１台のアラーム管理装置２０で管理することもできる。その場合の例を図７に示す。
【００７０】
図７の例は、５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅを管理の対象とするものである。各管理対象装置１０ａ〜１０ｅの構成は、それぞれ、例えば図１に示した管理対象装置１０と同様のものである。アラーム管理装置２０内には、この例では、各管理対象装置１０ａ〜１０ｅからのデータをそれぞれ収集する５台のデータ収集装置２２ａ〜２２ｅを設けている。各データ収集装置２２ａ〜２２ｅの機能は、それぞれ、図１に示したデータ収集装置２２と同様のものである。データベース装置２４およびアラーム統計装置２６は、それぞれ１台で共用することができる。
【００７１】
この場合は、各アラームが５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅの内のどの管理対象装置から発せられたものであるかを識別することができれば、後は、管理対象装置が１台の場合と同様にアラームを管理することができる。そのためには、図８に示す例のように、前述したアラームデータＡＤに、管理対象装置を識別する識別情報である装置ＩＤを付加すれば良い。アラームＩＤは、５台の管理対象装置１０ａ〜１０ｅで皆同じものを使えば良い。このようにすれば、装置ＩＤとアラームＩＤとによってアラームを特定することができるので、図３、図４および図６に示したアラーム統計装置２６をほぼそのまま使用することができると共に、前述した各アラーム管理方法を実施することができる。
【００７２】
また、現在は管理対象装置は例えば図１に示す例のように１台しかないけれども、将来複数台に増やす可能性がある場合も、図８に示すようなデータを扱うことができるようにしておいて、装置ＩＤには一つの値（例えば１）を入れておいても良い。そのようにすれば、将来、管理対象装置を増やす場合にも容易に対応することができる。
【００７３】
なお、上記各実施例のアラーム管理装置２０は、コンピュータを用いて実現しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の一例を示すブロック図である。
【図２】アラームデータに重み係数を付与したデータの一例を示す概念図である。
【図３】アラーム統計装置の構成の一例を示すブロック図である。
【図４】アラーム統計装置の構成の他の例を示すブロック図である。
【図５】トレンドグラフの一例を示す図である。
【図６】アラーム統計装置の構成の更に他の例を示すブロック図である。
【図７】この発明に係るアラーム管理方法を実施するアラーム管理装置およびその管理対象装置の他の例を示すブロック図である。
【図８】アラームデータに重み係数を付与したデータの他の例を示す概念図である。
【符号の説明】
【００７５】
１０ 管理対象装置
２０ アラーム管理装置
２２ データ収集装置
２４ データベース装置
２６ アラーム統計装置
３０ 重み係数付与手段
３２ 総合重み係数演算手段
３４ 重み付き件数演算手段
３６ 統計作成手段
３８ 表示手段
４２ 重み係数設定手段
４４ 重み係数決定手段
４６ リンク手段
４８ トレンドグラフ作成手段
５０ フィルタリング手段
５２ 統計作成手段
【特許請求の範囲】
【請求項１】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、
（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、
（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるステップ、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成して表示するステップ、および、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するステップ、を備えていることを特徴とするアラーム管理方法。
【請求項２】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、
（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、および、
（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームの統計を作成し、しかも当該統計を作成する際に、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするステップ、を備えていることを特徴とするアラーム管理方法。
【請求項３】
前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームＩＤによって管理する請求項１または２記載のアラーム管理方法。
【請求項４】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、
前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、
かつ前記アラーム統計装置は、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
【請求項５】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、
前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、
かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
【請求項６】
前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームＩＤによって管理する請求項４または５記載のアラーム管理装置。
【請求項１】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、
（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、
（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるステップ、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成して表示するステップ、および、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示するステップ、を備えていることを特徴とするアラーム管理方法。
【請求項２】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理方法において、
（Ａ）データ収集装置が、前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集し、かつ当該収集したデータをデータベース装置に格納するステップ、および、
（Ｂ）アラーム統計装置が、前記データベース装置に格納されたデータを用いて、前記管理対象装置が発するアラームの統計を作成し、しかも当該統計を作成する際に、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを統計の対象とするステップ、を備えていることを特徴とするアラーム管理方法。
【請求項３】
前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームＩＤによって管理する請求項１または２記載のアラーム管理方法。
【請求項４】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、
前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、
かつ前記アラーム統計装置は、前記管理対象装置が発するアラームと前記管理対象装置の状態を表す装置データとをアラームの発生日時をキーとして互いにリンクさせるリンク手段と、前記装置データの内の所定の装置データのトレンドグラフを作成するトレンドグラフ作成手段と、このトレンドグラフ作成手段で作成したトレンドグラフを表示すると共に、前記リンクに基づいて当該トレンドグラフ上に、予め指定したアラームが発生した日時を表示する表示手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
【請求項５】
管理対象装置が発するアラームを管理するアラーム管理装置において、
前記管理対象装置が発するアラームデータおよび当該管理対象装置の状態を表す装置データを収集するデータ収集装置と、このデータ収集装置で収集したデータを格納するデータベース装置と、このデータベース装置に格納されたデータを用いてアラーム統計を作成するアラーム統計装置とを備えており、
かつ前記アラーム統計装置は、前記装置データの内の所定の装置データが予め指定した値または値の範囲をとっていたときに発生したアラームだけを抽出して統計の対象とするフィルタリング手段と、このフィルタリング手段によって抽出されたアラームの統計を作成する統計作成手段とを備えていることを特徴とするアラーム管理装置。
【請求項６】
前記各アラームを、当該アラームを識別するアラームＩＤによって管理する請求項４または５記載のアラーム管理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００８−２６３２３７（Ｐ２００８−２６３２３７Ａ）
【公開日】平成２０年１０月３０日（２００８．１０．３０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１８９３８５（Ｐ２００８−１８９３８５）
【出願日】平成２０年７月２３日（２００８．７．２３）
【分割の表示】特願２００２−３４７５５９（Ｐ２００２−３４７５５９）の分割
【原出願日】平成１４年１１月２９日（２００２．１１．２９）
【出願人】（３０２０５４８６６）日新イオン機器株式会社 (161)
【公開日】平成２０年１０月３０日（２００８．１０．３０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年７月２３日（２００８．７．２３）
【分割の表示】特願２００２−３４７５５９（Ｐ２００２−３４７５５９）の分割
【原出願日】平成１４年１１月２９日（２００２．１１．２９）
【出願人】（３０２０５４８６６）日新イオン機器株式会社 (161)
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