エアシャワ装置
【課題】清浄度を維持するために、塵埃漏れの少ないエアシャワ装置を提供する。
【解決手段】第１の側面部筐体には、送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよびエアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、エアフィルタおよびエアフィルタ２次側チャンバを通過してエアジェットノズルから送出する。
【解決手段】第１の側面部筐体には、送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよびエアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、エアフィルタおよびエアフィルタ２次側チャンバを通過してエアジェットノズルから送出する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアシャワ装置に関し、特に、半導体及び精密機械等の製造、または食品製造・加工を行なうクリーンルーム又は作業室の出入り口や通路に設置され、クリーンルーム及び作業室への塵埃の流入を防止するエアシャワ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体及び精密機械等の製造、食品製造・加工を行なうクリーンルーム又は作業室の出入り口にクリーンルーム等に塵埃や菌を持ち込まないようにエアシャワ装置が設置され、入退室者に高速のエアジェット気流を吹き付けて衣類や頭部からの塵埃、頭髪等の付着物を吹き落としてから作業をさせている。
【０００３】
このエアシャワ装置において、エアジェット気流によりシャワ室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除するために循環気流を形成させているものと、低価格化を優先し循環気流の形成がないものとが存在する。
【０００４】
循環気流を形成させているタイプのものは、例えば、図９で示すように本体ケース９０１、９０２および天井ケース９０３で構成され、本体ケース９０１には、送風装置であるエアブロワ９０４とエアを浄化（除塵）するエアフイルタ９０５が設けられている。この本体ケース９０１内は、エアブロワ９０４でエアジエットを発生し、流路ダクト（矢印で示すエアの通路）を介してエアシャワの噴出し口からエアを噴出すように構成されている。このような従来のエアシャワ装置では、本体ケース９０１内は、正圧となるため、流路ダクト等の接合部からエアの漏れ（リーク）が発生する。従って、流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを防ぐため接合部をシールすることでエアの漏れを防いでいるが、本体ケース９０１は、極めて大きい、例えば、高さＨ２００ｃｍ×幅Ｗ２０ｃｍ×奥行きＤ１００ｃｍの大きさのためシール作業長が長く、作業が大変であり、また、シールしたとしても漏れる心配があった。更に、本体ケース９０２を本体ケース９０１と同様の構成とした場合、シール作業長が２倍となり、作業も２倍になる等の問題があった。
【０００５】
また、かかるエアシャワ装置は、従来、門型に完成させた状態で出荷することが通常行われており、そのため、容積が大きくなり、現地での据付けのための発送コストが高くなるという問題点があった。上記のような問題点を解消するため、従来、エアシャワ装置を複数のケース体に分解し、すなわち、各ケース単体の分解状態で出荷することも行われていた。
【０００６】
例えば特許文献１は、３体の分離可能な３のケース（筐体）を門型に組み立て、シャワ室となる空間を形成し、その内部に設けたエアブロワからのエアを筐体に形成した流通ダクトを通してシャワ室内に噴出するエアシャワ装置において、天井ケース（筐体）の一部に流路ダクトから流体的に独立した部屋を設け、この部屋内に貫通孔を形成し、貫通孔を介して連結ボルトで連結して組み立てた構成が開示されている。
【０００７】
上記によれば、筐体を複数に分離可能で、連結部分の気密性を向上させ、現地での組立据付けを簡易可能としている。
【０００８】
また特許文献２においては、フィルタとファンを備える機械室と、これに連接されるシャワ室とを備え、前記機械室内で清浄化された清浄空気を前記シャワ室内に吹き出すようにしたエアシャワ装置であって、前記機械室のケーシングを、前記シャワ室側が開口する複数のケーシングユニットに分割し、前記フィルタと圧力室形成部材の収容部を少なくとも２分割されたケーシングユニットで構成し、これらケーシングユニットを端部の折り曲げフランジを介して連結するようにした。
【０００９】
上記によれば、塗装作業や組み付け作業に大きなスペースを要することなく、また、組み立て前の搬送や、組み立てに際して、作業性がよく、しかも軽量化を達成できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−６２４１３号公報
【特許文献２】特開２００３−２５４５７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上説明したように、従来のエアシャワ装置では、側面部筐体内が正圧となり、流路ダクト等の接合部からエアの漏れ（リーク）が発生する。従って、リークを防ぐ為に接合部をシールすることにより漏れを防いでいるが、側面部筐体は、極めて大きいためシール作業長が長く、作業が大変であり、また、シールしたとしても漏れの可能性が高いものであった。
【００１２】
そこで、本発明の第１の目的は、流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを極力少なくしたエアシャワ装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の第２の目的は、複数のケース体に分解し、出荷すると共に、組み立て容易なエアシャワ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するための本発明の第１のエアシャワ装置は、第１と第２の側面部筐体と、前記第１と第２の側面部筐体と組み合わされた天井部筐体により囲まれ、シャワ室となる空間を門型に形成し、少なくとも前記第１の側面部筐体内部に設けた送風装置からの空気を前記第１の側面部筐体に形成した開口部から前記シャワ室内に供給するエアシャワ装置において、前記第１の側面部筐体には、前記送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよび前記エアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、前記送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、前記エアフィルタおよび前記エアフィルタ２次側チャンバを通過して前記エアジェットノズルから送出する構成とした。
【００１５】
本発明の第２のエアシャワ装置は、第１のエアシャワ装置において、更に、前記機密封じのフイルタ構造体の上部には、圧力遮蔽用仕切り板が設けられていること構成とした。
【００１６】
本発明の第３のエアシャワ装置は、第１または第２のエアシャワ装置において、前記天井部筐体にエアカーテン用のファンが設けられている構成とした。
【００１７】
本発明の第４のエアシャワ装置は、第１から第３のいずれかのエアシャワ装置において、前記天井部筐体の少なくとも三隅には、前記第１と第２の側面部筐体と嵌合する接続部を有し、前記第１と第２の側面部筐体の前記天井部筐体の前記接続部に対応する部分に前記天井部筐体と嵌合する接続部を有する構成とした。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のエアシャワ装置の一実施例の分解構成図を示す。
【図２】本発明のエアシャワ装置の側面部筐体の一実施例の分解構成図を示す。
【図３】本発明の側面部筐体の組み立て途中の一実施例を示す図である。
【図４】本発明の側面部筐体の組み立て後の一実施例を示す図である。
【図５】本発明のエアシャワ装置の正面の断面構成の一実施例を示す図である。
【図６】本発明のエアシャワ装置の正面の断面構成の他の一実施例を示す図である。
【図７】本発明のエアシャワ装置の他の一実施例を示す図である。
【図８】本発明のエアシャワ装置の更に他の一実施例示す図である。
【図９】従来のエアシャワ装置の一例の斜視図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態のエアシャワ装置について図を用いて説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は本発明のエアシャワ装置の一実施例の分解構成図を示す。図１に示すように、本実施例のエアシャワ装置は、第1の側面部筐体１０２と、第２の側面部筐体１０３と、天井部筐体１０１と、人がエアシャワ装置に入室するための入り口扉１０４と、人がエアシャワ装置から退室するための出口扉１０５とを取り付け可能な構成である。なお、入り口扉と、出口扉とは、必須の構成ではなく、入り口扉と、出口扉が存在しない簡潔なドアなしタイプのエアシャワ装置も存在する。
【００２１】
本実施例のエアシャワ装置は、側面部筐体１０２と、側面部筐体１０３と、天井部筐体１０１とで門型に形成し、さらに入り口扉１０４と、人がエアシャワ装置から退室するための出口扉１０５とを設け、エアシャワ室内を形成する。
【００２２】
図５は、図１に示すエアシャワ装置の正面の断面構成の概略図を示す。なお、入り口扉１０４は、省略してある。図５において、第1の側面部筐体１０２と、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３は、その筺体内部にエア（空気）が流路する流路ダクトが形成され、これにより、上記複数筐体１０２、１０１、１０３が門形に組み立てられて据付た状態で、図中に矢印で示すようなエアの流れを生じる。
また、第1の側面部筐体１０２内には、例えば、送風装置であるファンモータ１８やエアを浄化（除塵）するエアフィルタ１２等が設けられており、かかる構成によりエアは、加圧され、上記エアシャワ装置の筐体内に送風されると共に、第1の側面部筐体１０２、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３にそれぞれ設けられた複数の開口部からシャワ室内に向けてエアが噴出されることとなる。
また、第1の側面部筐体１０２内には、圧力遮蔽用仕切板１５、エアフィルタ一次側チャンバ１１、エアフィルタ１２およびエアフィルタ二次側チャンバ１３が設けられている。なお、５０１は、エアシャワ装置内を照明する照明装置、５０２は、例えば、エアシャワ装置内を除湿する除湿機あるいはクーラー装置である。なお、図５では、第２の側面部筐体１０３は、流路ダクトが形成され、ファンモータ１８からのエアが矢印で示すように流れる場合のエアシャワ装置が示されている。しかしながら第1の側面部筐体１０２と同様に、送風装置であるファンモータやエアフィルタを設けた構成とすることもできることは言うまでもない。
【００２３】
次に、本発明の特徴である第1の側面部筐体１０２の構成について図２を用いて更に詳しく説明する。図２は、本実施例の第１の側面部筐体１０２の分解した構成の一実施例を示す。図２では、第1の側面部筐体１０２の構成を示しているが、第２の側面部筐体１０３の構成も同様の構成とすることができる。
【００２４】
さて、図２を用いて、第1の側面部筐体１０２の組み立てと、構造について詳細に説明する。図２に示すように、本実施例の第1の側面部筐体１０２は、空気を清浄化するエアフィルタ１２と、エアフィルタ１２を支持するエアフイルタ１次側チャンバ１１と、エアフイルタ２次側チャンバ１３と、エアジェットノズル２０４を多数個分散して形成されたエアジェットパネル１４と、圧力遮蔽用仕切り板１５（後述する）が順次組み立てられた、所謂、機密封じのフイルタ構造体を構成している。そして、この機密封じのフイルタ構造体は、第1の側面部筐体１０２の空間２０１に収納される。また、第1の側面部筐体１０２の空間２０３には、防塵部材１６と、配電盤１７１が設けられた配電パネル１７が収納される。更に、第1の側面部筐体１０２の空間２０２には、送風装置であるファンモータ１８と、空気を吸引する吸気孔１９とが取り付けられる構成である。
次に、先に説明した機密封じのフイルタ構造体の組み立て手順について、更に、詳細に図２と図５を用いて説明する。まず、フイルタ一次側チャンバ１１にエアフィルタ１２を密着させる。このフイルタ一次側チャンバ１１は、エアフィルタ１２を取付ける部分以外は、密封容器を構成している。従って、ファンモータ１８からの加圧エアは、全てエアフィルタ１２に送られる。
続いて、フイルタ二次側チャンバ１３がエアフィルタ１２を囲むようにエアフィルタ１２に被せ、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３とを、例えば、ネジ止め等で機密封止する。このフイルタ二次側チャンバ１３は、フイルタ一次側チャンバ１１からの加圧エアが全てエアフィルタ１２を通過するように密封容器を構成している。
なお、フイルタ二次側チャンバ１３の前面上部５０３（図５に示す。）は、開放され、エアフィルタ１２で浄化されたエアは、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３に矢印のように供給される。図３は、第1の側面部筐体１０２の空間２０１にフイルタ一次側チャンバ１１、エアフィルタ１２およびフイルタ二次側チャンバ１３を取付けた状態を示す図である。
次に、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３の上部に圧力遮蔽用仕切板１５を密着して取り付け、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３との接続部分からのエアが流路ダクトに漏れないようにしている。更に、ジェットパネル１４を上記フイルタ構造体に取り付け、第1の側面部筐体１０２の空間２０１に上記フイルタ構造体の装着を完了する。図４は、第１の側面部筐体１０２の完成図を示す。
このように構成すると、フイルタ一次側チャンバ１１には、ファンモータ１８からエアが開口部２０５を介してフイルタ一次側チャンバ１１内に供給される。フイルタ一次側チャンバ１１に供給されたエアは、全てエアフィルタ１２で浄化され、フイルタ二次側チャンバ１３に供給される。結果としてフイルタ二次側チャンバ１３に供給されるエアは、図５の矢印で示すように第1の側面部筐体１０２、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３の流路ダクトを経由してシャワ室に供給される。一方、シャワ室で汚れた空気は、吸気孔１９を介してファンモータ１８に戻り、このエアは、再度、上記フイルタ構造体に送られる。この動作が繰り返される。
これによってフイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２およびフイルタ二次側チャンバ１３内を正圧とし、流路ダクト内の大半を負圧とすることができるので、従来のエアシャワ装置のようにエアシャワ装置の筐体の大部分をシールする必要がなく、エアシャワ装置の組み立ての作業性が飛躍的に向上する。
【００２５】
ファンモータ１８は、第1の側面部筐体１０２内部にエアジェット気流を形成する。形成されたエアジェット気流は、エアジェットノズル２０４によりシャワ室に吹き出される。シャワ室の汚れたエアは、吸気孔１９から吸い込まれ、ファンモータ１８によりエアジェット気流を生成し、エアフィルタ１２で清浄化して塵埃を捕集したクリーンな空気とする。
【００２６】
エアジェットノズル２０４から噴出すエアは、約１３Ｈｚから１５Ｈｚの振動でクリーンルーム内へと吹き出される。エアジェットノズルから吹き出される空気は、フラットなエアよりも強弱の振動を起こし吹き出された空気の方がクリーンルーム内の清浄化を促進する。
【００２７】
防塵部材１６は、側面部筐体１０２の天井部に位置し、機密封じのフイルタ構造体からのエアジェット気流を運ぶ流通ダクトを形成すると共に、エアジェット気流が筐体外へと漏れないようにされている。配電盤１７１が設けられた配電パネル１７は、ビス止め等によって取り付け、取り外し自在に設けられている。このように、吸気孔１９によって空気を取り込み、エアジェットノズルによって空気がエアシャワ室外へ流れ出し、クリーンルーム内への塵埃流入を防止する。
【００２８】
なお、本実施例では、給気口は室内側給気口のみを設けたが、室外側吸込み口を設け、バイオ関係の実験室のように、クリーンルーム内から外部への菌等の漏洩を防止する目的の場合、出口側扉１０５の開放時に、室外側吸込み口を開放し、ファンモータ１８を動作させ、クリーンルーム内の空気を浄化するような構成としてもよい。
このように構成すれば、エアシャワ室内からクリーンルーム内へ気流が流れ出したとしても、エアジェット気流はエアフィルタ１２により塵埃を捕集したクリーンな空気であり、クリーンルーム内に流れ出しても、クリーンルームの清浄度は維持できる。
【００２９】
次に、上述した機密封じのフイルタ構造体を第1の側面部筐体１０２内に形成することによって従来のように流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを防ぐための接合部のシール作業を低減できる理由を詳細に説明する。まず、フイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ１３の上部に圧力遮蔽用仕切り板１５を設けたことで、ファンモータ１８により加圧されエアフィルタ１２を通過していない空気、所謂、浄化されない空気がフイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３の繋ぎ目部分から漏れることを防止できる。また、エアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ１３を設けることによって、この空間が密閉状態となり、ファンモータ１８により加圧された空気が確実にエアフィルタ１２を通り、清浄空気となる。これによって、空気が清浄化されずに残った塵埃が継ぎ目等から外へと漏れる可能性を大幅に防止することができる。また、従来においては、この部分には、シール作業によって、空気が清浄化されずに残った塵埃が外へと漏れることを防いでいたので、その作業時間と労力を費やしていたが本実施例によれば、作業時間を大幅に減らすことが可能となる。
【実施例２】
【００３０】
次に、本発明の他の一実施例を図６を用いて説明する。図６は、本発明のエアシャワ装置の第２の実施例を示す。図６は、天井筐体１０１の内部にエアカーテン用のファン２０を有するエアシャワ装置である。なお、図５と同様の構成部分については、同じ符号が付されており、説明を省略する。
【００３１】
本実施例では、第１の実施例と比較して、圧力遮蔽用仕切板１５は有しないが、図５に示すエアフィルタ２次側チャンバ１３とは、異なったエアフィルタ２次側チャンバ６０１を有している構造である。即ち、このような構成のエアシャワ装置は、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３、フイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ６０１により機密構造となり、結果として、エアフィルタ１２で浄化されない空気が側面部筐体１０２に漏れてしまうのを防止することができる。また、シール作業は、大変作業時間と手間がかかるが、本実施例によれば、簡単な構成で、外への塵埃の漏れを防止することが可能となる。
【００３２】
このような構成により、天井にエアカーテン用のファンを有するエアシャワ装置の機種と、エアカーテン用のファンを有しない機種は同一の第１の側面部筐体１０２または第２の側面部筐体１０３を使用することが出来、側面部筐体内を正圧にしない為のフィルタ２次側チャンバの形状を若干変更することによって、図５に示す構成のエアシャワ装置か、図６に示す構成のエアシャワ装置とすることができる。よって、側面部筐体の共用化を図ることが可能となるので、エアシャワ装置の低コスト化が図れる。
【実施例３】
【００３３】
図７は本発明の第３の実施例を示す。図７は、天井筐体１０１及び側面部筐体１０２および側面部筐体１０３との接続部を示している。天井筐体１０１の四隅には、それぞれ嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４（以下、接続部ともいう。）を有する補強部材７０２−１、７０２−２、７０２−３、７０２−４を有している。一方、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３には、凸形状の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４（以下、接続部ともいう。）
天井筐体１０１と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３とを組み立て時においては、天井筐体１０１の嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４がそれぞれ嵌合し、天井筐体１０１、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３が組み立てられ、エアシャワ装置が形成される。
【００３４】
通常、組立時及び据付時は、天井筐体１０１を側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の上に載せる必要があるが、２つの側面部筐体に天井筐体を載せるためには、天井筐体１０１、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の位置合わせや、整合性を取るのが難しく、時間の掛かる作業であった。しかしながら、本実施例のように、嵌合穴と凸形状の突起部を有することにより、天井筐体を載せた際に凸形状の突起部と嵌合穴がはまり、位置決めすることが出来る。これにより、組立及び据付作業時間を短縮でき、天井筐体のずれを防ぐことが可能となる。
【実施例４】
【００３５】
図８は本発明の第４の実施例を示す。図８は、天井筐体１０１及び側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の接続部を示している。天井筐体１０１の三隅には、それぞれ嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３を有する補強部材７０２−１、７０２−２、７０２−３を有している。しかし、図７に示す実施例と異なる点は、補強部材７０２−４には、嵌合穴を有していない。
【００３６】
このように構成すると、天井筐体１０１と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３とを組み立て時においては、天井筐体１０１の嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３がそれぞれ嵌合し、エアシャワ装置が形成される。
【００３７】
図８は、図７と比較して、突起部と嵌合穴の組合せが一箇所だけ有していない。これにより、天井筐体を側面部筐体に載せる際に、天井筐体の向きを間違えることがなくなり、据付作業が容易となり、作業性を向上することが可能となる。
【００３８】
なお、上記第３と第４の実施例では、天井筐体１０１に嵌合穴を設け、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３に突起部を設ける構成について説明したが、天井筐体１０１に突起部を設け、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３に嵌合穴を設けるようにすることもできる。
【００３９】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載されたエアシャワ装置の実施例に限定されるものではなく、他のエアシャワ装置にも容易に適用することが出来ることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００４０】
側面部筐体…１０２、側面部筐体…１０３、天井部筐体…１０１、入り口扉１０４…出口扉…１０５、エアフィルタ…１２、１次側チャンバ…１１、２次側チャンバ…１３、６０１、エアジェットパネル…１４、圧力遮蔽用仕切り板…１５、防塵部材…１６、配電盤…１７１、配電パネル…１７、ファンモータ…１８、吸気孔…１９、エアジェットノズル…２０４、照明装置…５０１、クーラー装置…５０２、嵌合穴…７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４、補強部材…７０２−１、７０２−２、７０２−３、７０２−４、凸形状の突起部…７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エアシャワ装置に関し、特に、半導体及び精密機械等の製造、または食品製造・加工を行なうクリーンルーム又は作業室の出入り口や通路に設置され、クリーンルーム及び作業室への塵埃の流入を防止するエアシャワ装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体及び精密機械等の製造、食品製造・加工を行なうクリーンルーム又は作業室の出入り口にクリーンルーム等に塵埃や菌を持ち込まないようにエアシャワ装置が設置され、入退室者に高速のエアジェット気流を吹き付けて衣類や頭部からの塵埃、頭髪等の付着物を吹き落としてから作業をさせている。
【０００３】
このエアシャワ装置において、エアジェット気流によりシャワ室内に舞い上がった塵埃を速やかに排除するために循環気流を形成させているものと、低価格化を優先し循環気流の形成がないものとが存在する。
【０００４】
循環気流を形成させているタイプのものは、例えば、図９で示すように本体ケース９０１、９０２および天井ケース９０３で構成され、本体ケース９０１には、送風装置であるエアブロワ９０４とエアを浄化（除塵）するエアフイルタ９０５が設けられている。この本体ケース９０１内は、エアブロワ９０４でエアジエットを発生し、流路ダクト（矢印で示すエアの通路）を介してエアシャワの噴出し口からエアを噴出すように構成されている。このような従来のエアシャワ装置では、本体ケース９０１内は、正圧となるため、流路ダクト等の接合部からエアの漏れ（リーク）が発生する。従って、流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを防ぐため接合部をシールすることでエアの漏れを防いでいるが、本体ケース９０１は、極めて大きい、例えば、高さＨ２００ｃｍ×幅Ｗ２０ｃｍ×奥行きＤ１００ｃｍの大きさのためシール作業長が長く、作業が大変であり、また、シールしたとしても漏れる心配があった。更に、本体ケース９０２を本体ケース９０１と同様の構成とした場合、シール作業長が２倍となり、作業も２倍になる等の問題があった。
【０００５】
また、かかるエアシャワ装置は、従来、門型に完成させた状態で出荷することが通常行われており、そのため、容積が大きくなり、現地での据付けのための発送コストが高くなるという問題点があった。上記のような問題点を解消するため、従来、エアシャワ装置を複数のケース体に分解し、すなわち、各ケース単体の分解状態で出荷することも行われていた。
【０００６】
例えば特許文献１は、３体の分離可能な３のケース（筐体）を門型に組み立て、シャワ室となる空間を形成し、その内部に設けたエアブロワからのエアを筐体に形成した流通ダクトを通してシャワ室内に噴出するエアシャワ装置において、天井ケース（筐体）の一部に流路ダクトから流体的に独立した部屋を設け、この部屋内に貫通孔を形成し、貫通孔を介して連結ボルトで連結して組み立てた構成が開示されている。
【０００７】
上記によれば、筐体を複数に分離可能で、連結部分の気密性を向上させ、現地での組立据付けを簡易可能としている。
【０００８】
また特許文献２においては、フィルタとファンを備える機械室と、これに連接されるシャワ室とを備え、前記機械室内で清浄化された清浄空気を前記シャワ室内に吹き出すようにしたエアシャワ装置であって、前記機械室のケーシングを、前記シャワ室側が開口する複数のケーシングユニットに分割し、前記フィルタと圧力室形成部材の収容部を少なくとも２分割されたケーシングユニットで構成し、これらケーシングユニットを端部の折り曲げフランジを介して連結するようにした。
【０００９】
上記によれば、塗装作業や組み付け作業に大きなスペースを要することなく、また、組み立て前の搬送や、組み立てに際して、作業性がよく、しかも軽量化を達成できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−６２４１３号公報
【特許文献２】特開２００３−２５４５７２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
以上説明したように、従来のエアシャワ装置では、側面部筐体内が正圧となり、流路ダクト等の接合部からエアの漏れ（リーク）が発生する。従って、リークを防ぐ為に接合部をシールすることにより漏れを防いでいるが、側面部筐体は、極めて大きいためシール作業長が長く、作業が大変であり、また、シールしたとしても漏れの可能性が高いものであった。
【００１２】
そこで、本発明の第１の目的は、流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを極力少なくしたエアシャワ装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の第２の目的は、複数のケース体に分解し、出荷すると共に、組み立て容易なエアシャワ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するための本発明の第１のエアシャワ装置は、第１と第２の側面部筐体と、前記第１と第２の側面部筐体と組み合わされた天井部筐体により囲まれ、シャワ室となる空間を門型に形成し、少なくとも前記第１の側面部筐体内部に設けた送風装置からの空気を前記第１の側面部筐体に形成した開口部から前記シャワ室内に供給するエアシャワ装置において、前記第１の側面部筐体には、前記送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよび前記エアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、前記送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、前記エアフィルタおよび前記エアフィルタ２次側チャンバを通過して前記エアジェットノズルから送出する構成とした。
【００１５】
本発明の第２のエアシャワ装置は、第１のエアシャワ装置において、更に、前記機密封じのフイルタ構造体の上部には、圧力遮蔽用仕切り板が設けられていること構成とした。
【００１６】
本発明の第３のエアシャワ装置は、第１または第２のエアシャワ装置において、前記天井部筐体にエアカーテン用のファンが設けられている構成とした。
【００１７】
本発明の第４のエアシャワ装置は、第１から第３のいずれかのエアシャワ装置において、前記天井部筐体の少なくとも三隅には、前記第１と第２の側面部筐体と嵌合する接続部を有し、前記第１と第２の側面部筐体の前記天井部筐体の前記接続部に対応する部分に前記天井部筐体と嵌合する接続部を有する構成とした。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明のエアシャワ装置の一実施例の分解構成図を示す。
【図２】本発明のエアシャワ装置の側面部筐体の一実施例の分解構成図を示す。
【図３】本発明の側面部筐体の組み立て途中の一実施例を示す図である。
【図４】本発明の側面部筐体の組み立て後の一実施例を示す図である。
【図５】本発明のエアシャワ装置の正面の断面構成の一実施例を示す図である。
【図６】本発明のエアシャワ装置の正面の断面構成の他の一実施例を示す図である。
【図７】本発明のエアシャワ装置の他の一実施例を示す図である。
【図８】本発明のエアシャワ装置の更に他の一実施例示す図である。
【図９】従来のエアシャワ装置の一例の斜視図を示す。
【発明を実施するための形態】
【００１９】
以下、本発明の一実施形態のエアシャワ装置について図を用いて説明する。
【実施例１】
【００２０】
図１は本発明のエアシャワ装置の一実施例の分解構成図を示す。図１に示すように、本実施例のエアシャワ装置は、第1の側面部筐体１０２と、第２の側面部筐体１０３と、天井部筐体１０１と、人がエアシャワ装置に入室するための入り口扉１０４と、人がエアシャワ装置から退室するための出口扉１０５とを取り付け可能な構成である。なお、入り口扉と、出口扉とは、必須の構成ではなく、入り口扉と、出口扉が存在しない簡潔なドアなしタイプのエアシャワ装置も存在する。
【００２１】
本実施例のエアシャワ装置は、側面部筐体１０２と、側面部筐体１０３と、天井部筐体１０１とで門型に形成し、さらに入り口扉１０４と、人がエアシャワ装置から退室するための出口扉１０５とを設け、エアシャワ室内を形成する。
【００２２】
図５は、図１に示すエアシャワ装置の正面の断面構成の概略図を示す。なお、入り口扉１０４は、省略してある。図５において、第1の側面部筐体１０２と、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３は、その筺体内部にエア（空気）が流路する流路ダクトが形成され、これにより、上記複数筐体１０２、１０１、１０３が門形に組み立てられて据付た状態で、図中に矢印で示すようなエアの流れを生じる。
また、第1の側面部筐体１０２内には、例えば、送風装置であるファンモータ１８やエアを浄化（除塵）するエアフィルタ１２等が設けられており、かかる構成によりエアは、加圧され、上記エアシャワ装置の筐体内に送風されると共に、第1の側面部筐体１０２、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３にそれぞれ設けられた複数の開口部からシャワ室内に向けてエアが噴出されることとなる。
また、第1の側面部筐体１０２内には、圧力遮蔽用仕切板１５、エアフィルタ一次側チャンバ１１、エアフィルタ１２およびエアフィルタ二次側チャンバ１３が設けられている。なお、５０１は、エアシャワ装置内を照明する照明装置、５０２は、例えば、エアシャワ装置内を除湿する除湿機あるいはクーラー装置である。なお、図５では、第２の側面部筐体１０３は、流路ダクトが形成され、ファンモータ１８からのエアが矢印で示すように流れる場合のエアシャワ装置が示されている。しかしながら第1の側面部筐体１０２と同様に、送風装置であるファンモータやエアフィルタを設けた構成とすることもできることは言うまでもない。
【００２３】
次に、本発明の特徴である第1の側面部筐体１０２の構成について図２を用いて更に詳しく説明する。図２は、本実施例の第１の側面部筐体１０２の分解した構成の一実施例を示す。図２では、第1の側面部筐体１０２の構成を示しているが、第２の側面部筐体１０３の構成も同様の構成とすることができる。
【００２４】
さて、図２を用いて、第1の側面部筐体１０２の組み立てと、構造について詳細に説明する。図２に示すように、本実施例の第1の側面部筐体１０２は、空気を清浄化するエアフィルタ１２と、エアフィルタ１２を支持するエアフイルタ１次側チャンバ１１と、エアフイルタ２次側チャンバ１３と、エアジェットノズル２０４を多数個分散して形成されたエアジェットパネル１４と、圧力遮蔽用仕切り板１５（後述する）が順次組み立てられた、所謂、機密封じのフイルタ構造体を構成している。そして、この機密封じのフイルタ構造体は、第1の側面部筐体１０２の空間２０１に収納される。また、第1の側面部筐体１０２の空間２０３には、防塵部材１６と、配電盤１７１が設けられた配電パネル１７が収納される。更に、第1の側面部筐体１０２の空間２０２には、送風装置であるファンモータ１８と、空気を吸引する吸気孔１９とが取り付けられる構成である。
次に、先に説明した機密封じのフイルタ構造体の組み立て手順について、更に、詳細に図２と図５を用いて説明する。まず、フイルタ一次側チャンバ１１にエアフィルタ１２を密着させる。このフイルタ一次側チャンバ１１は、エアフィルタ１２を取付ける部分以外は、密封容器を構成している。従って、ファンモータ１８からの加圧エアは、全てエアフィルタ１２に送られる。
続いて、フイルタ二次側チャンバ１３がエアフィルタ１２を囲むようにエアフィルタ１２に被せ、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３とを、例えば、ネジ止め等で機密封止する。このフイルタ二次側チャンバ１３は、フイルタ一次側チャンバ１１からの加圧エアが全てエアフィルタ１２を通過するように密封容器を構成している。
なお、フイルタ二次側チャンバ１３の前面上部５０３（図５に示す。）は、開放され、エアフィルタ１２で浄化されたエアは、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３に矢印のように供給される。図３は、第1の側面部筐体１０２の空間２０１にフイルタ一次側チャンバ１１、エアフィルタ１２およびフイルタ二次側チャンバ１３を取付けた状態を示す図である。
次に、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３の上部に圧力遮蔽用仕切板１５を密着して取り付け、フイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３との接続部分からのエアが流路ダクトに漏れないようにしている。更に、ジェットパネル１４を上記フイルタ構造体に取り付け、第1の側面部筐体１０２の空間２０１に上記フイルタ構造体の装着を完了する。図４は、第１の側面部筐体１０２の完成図を示す。
このように構成すると、フイルタ一次側チャンバ１１には、ファンモータ１８からエアが開口部２０５を介してフイルタ一次側チャンバ１１内に供給される。フイルタ一次側チャンバ１１に供給されたエアは、全てエアフィルタ１２で浄化され、フイルタ二次側チャンバ１３に供給される。結果としてフイルタ二次側チャンバ１３に供給されるエアは、図５の矢印で示すように第1の側面部筐体１０２、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３の流路ダクトを経由してシャワ室に供給される。一方、シャワ室で汚れた空気は、吸気孔１９を介してファンモータ１８に戻り、このエアは、再度、上記フイルタ構造体に送られる。この動作が繰り返される。
これによってフイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２およびフイルタ二次側チャンバ１３内を正圧とし、流路ダクト内の大半を負圧とすることができるので、従来のエアシャワ装置のようにエアシャワ装置の筐体の大部分をシールする必要がなく、エアシャワ装置の組み立ての作業性が飛躍的に向上する。
【００２５】
ファンモータ１８は、第1の側面部筐体１０２内部にエアジェット気流を形成する。形成されたエアジェット気流は、エアジェットノズル２０４によりシャワ室に吹き出される。シャワ室の汚れたエアは、吸気孔１９から吸い込まれ、ファンモータ１８によりエアジェット気流を生成し、エアフィルタ１２で清浄化して塵埃を捕集したクリーンな空気とする。
【００２６】
エアジェットノズル２０４から噴出すエアは、約１３Ｈｚから１５Ｈｚの振動でクリーンルーム内へと吹き出される。エアジェットノズルから吹き出される空気は、フラットなエアよりも強弱の振動を起こし吹き出された空気の方がクリーンルーム内の清浄化を促進する。
【００２７】
防塵部材１６は、側面部筐体１０２の天井部に位置し、機密封じのフイルタ構造体からのエアジェット気流を運ぶ流通ダクトを形成すると共に、エアジェット気流が筐体外へと漏れないようにされている。配電盤１７１が設けられた配電パネル１７は、ビス止め等によって取り付け、取り外し自在に設けられている。このように、吸気孔１９によって空気を取り込み、エアジェットノズルによって空気がエアシャワ室外へ流れ出し、クリーンルーム内への塵埃流入を防止する。
【００２８】
なお、本実施例では、給気口は室内側給気口のみを設けたが、室外側吸込み口を設け、バイオ関係の実験室のように、クリーンルーム内から外部への菌等の漏洩を防止する目的の場合、出口側扉１０５の開放時に、室外側吸込み口を開放し、ファンモータ１８を動作させ、クリーンルーム内の空気を浄化するような構成としてもよい。
このように構成すれば、エアシャワ室内からクリーンルーム内へ気流が流れ出したとしても、エアジェット気流はエアフィルタ１２により塵埃を捕集したクリーンな空気であり、クリーンルーム内に流れ出しても、クリーンルームの清浄度は維持できる。
【００２９】
次に、上述した機密封じのフイルタ構造体を第1の側面部筐体１０２内に形成することによって従来のように流路ダクト等の接合部からのエアの漏れを防ぐための接合部のシール作業を低減できる理由を詳細に説明する。まず、フイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ１３の上部に圧力遮蔽用仕切り板１５を設けたことで、ファンモータ１８により加圧されエアフィルタ１２を通過していない空気、所謂、浄化されない空気がフイルタ一次側チャンバ１１とフイルタ二次側チャンバ１３の繋ぎ目部分から漏れることを防止できる。また、エアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ１３を設けることによって、この空間が密閉状態となり、ファンモータ１８により加圧された空気が確実にエアフィルタ１２を通り、清浄空気となる。これによって、空気が清浄化されずに残った塵埃が継ぎ目等から外へと漏れる可能性を大幅に防止することができる。また、従来においては、この部分には、シール作業によって、空気が清浄化されずに残った塵埃が外へと漏れることを防いでいたので、その作業時間と労力を費やしていたが本実施例によれば、作業時間を大幅に減らすことが可能となる。
【実施例２】
【００３０】
次に、本発明の他の一実施例を図６を用いて説明する。図６は、本発明のエアシャワ装置の第２の実施例を示す。図６は、天井筐体１０１の内部にエアカーテン用のファン２０を有するエアシャワ装置である。なお、図５と同様の構成部分については、同じ符号が付されており、説明を省略する。
【００３１】
本実施例では、第１の実施例と比較して、圧力遮蔽用仕切板１５は有しないが、図５に示すエアフィルタ２次側チャンバ１３とは、異なったエアフィルタ２次側チャンバ６０１を有している構造である。即ち、このような構成のエアシャワ装置は、天井部筐体１０１および第２の側面部筐体１０３、フイルタ一次側チャンバ１１とエアフィルタ１２を囲むフイルタ二次側チャンバ６０１により機密構造となり、結果として、エアフィルタ１２で浄化されない空気が側面部筐体１０２に漏れてしまうのを防止することができる。また、シール作業は、大変作業時間と手間がかかるが、本実施例によれば、簡単な構成で、外への塵埃の漏れを防止することが可能となる。
【００３２】
このような構成により、天井にエアカーテン用のファンを有するエアシャワ装置の機種と、エアカーテン用のファンを有しない機種は同一の第１の側面部筐体１０２または第２の側面部筐体１０３を使用することが出来、側面部筐体内を正圧にしない為のフィルタ２次側チャンバの形状を若干変更することによって、図５に示す構成のエアシャワ装置か、図６に示す構成のエアシャワ装置とすることができる。よって、側面部筐体の共用化を図ることが可能となるので、エアシャワ装置の低コスト化が図れる。
【実施例３】
【００３３】
図７は本発明の第３の実施例を示す。図７は、天井筐体１０１及び側面部筐体１０２および側面部筐体１０３との接続部を示している。天井筐体１０１の四隅には、それぞれ嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４（以下、接続部ともいう。）を有する補強部材７０２−１、７０２−２、７０２−３、７０２−４を有している。一方、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３には、凸形状の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４（以下、接続部ともいう。）
天井筐体１０１と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３とを組み立て時においては、天井筐体１０１の嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４がそれぞれ嵌合し、天井筐体１０１、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３が組み立てられ、エアシャワ装置が形成される。
【００３４】
通常、組立時及び据付時は、天井筐体１０１を側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の上に載せる必要があるが、２つの側面部筐体に天井筐体を載せるためには、天井筐体１０１、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の位置合わせや、整合性を取るのが難しく、時間の掛かる作業であった。しかしながら、本実施例のように、嵌合穴と凸形状の突起部を有することにより、天井筐体を載せた際に凸形状の突起部と嵌合穴がはまり、位置決めすることが出来る。これにより、組立及び据付作業時間を短縮でき、天井筐体のずれを防ぐことが可能となる。
【実施例４】
【００３５】
図８は本発明の第４の実施例を示す。図８は、天井筐体１０１及び側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の接続部を示している。天井筐体１０１の三隅には、それぞれ嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３を有する補強部材７０２−１、７０２−２、７０２−３を有している。しかし、図７に示す実施例と異なる点は、補強部材７０２−４には、嵌合穴を有していない。
【００３６】
このように構成すると、天井筐体１０１と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３とを組み立て時においては、天井筐体１０１の嵌合穴７０１−１、７０１−２、７０１−３と側面部筐体１０２および側面部筐体１０３の突起部７０３−１、７０３−２、７０３−３がそれぞれ嵌合し、エアシャワ装置が形成される。
【００３７】
図８は、図７と比較して、突起部と嵌合穴の組合せが一箇所だけ有していない。これにより、天井筐体を側面部筐体に載せる際に、天井筐体の向きを間違えることがなくなり、据付作業が容易となり、作業性を向上することが可能となる。
【００３８】
なお、上記第３と第４の実施例では、天井筐体１０１に嵌合穴を設け、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３に突起部を設ける構成について説明したが、天井筐体１０１に突起部を設け、側面部筐体１０２および側面部筐体１０３に嵌合穴を設けるようにすることもできる。
【００３９】
以上、本発明について詳細に説明したが、本発明は、ここに記載されたエアシャワ装置の実施例に限定されるものではなく、他のエアシャワ装置にも容易に適用することが出来ることはいうまでもない。
【符号の説明】
【００４０】
側面部筐体…１０２、側面部筐体…１０３、天井部筐体…１０１、入り口扉１０４…出口扉…１０５、エアフィルタ…１２、１次側チャンバ…１１、２次側チャンバ…１３、６０１、エアジェットパネル…１４、圧力遮蔽用仕切り板…１５、防塵部材…１６、配電盤…１７１、配電パネル…１７、ファンモータ…１８、吸気孔…１９、エアジェットノズル…２０４、照明装置…５０１、クーラー装置…５０２、嵌合穴…７０１−１、７０１−２、７０１−３、７０１−４、補強部材…７０２−１、７０２−２、７０２−３、７０２−４、凸形状の突起部…７０３−１、７０３−２、７０３−３、７０３−４。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１と第２の側面部筐体と、前記第１と第２の側面部筐体と組み合わされた天井部筐体により囲まれ、シャワ室となる空間を門型に形成し、少なくとも前記第１の側面部筐体内部に設けた送風装置からの空気を前記第１の側面部筐体に形成した開口部から前記シャワ室内に供給するエアシャワ装置において、
前記第１の側面部筐体には、前記送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよび前記エアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、前記送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、前記エアフィルタおよび前記エアフィルタ２次側チャンバを通過して前記エアジェットノズルから送出することを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアシャワ装置において、更に、前記機密封じのフイルタ構造体の上部には、圧力遮蔽用仕切り板が設けられていることを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエアシャワ装置において、
前記天井部筐体にエアカーテン用のファンが設けられていることを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のエアシャワ装置において、
前記天井部筐体の少なくとも三隅には、前記第１と第２の側面部筐体と嵌合する接続部を有し、前記第１と第２の側面部筐体の前記天井部筐体の前記接続部に対応する部分に前記天井部筐体と嵌合する接続部を有することを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項１】
第１と第２の側面部筐体と、前記第１と第２の側面部筐体と組み合わされた天井部筐体により囲まれ、シャワ室となる空間を門型に形成し、少なくとも前記第１の側面部筐体内部に設けた送風装置からの空気を前記第１の側面部筐体に形成した開口部から前記シャワ室内に供給するエアシャワ装置において、
前記第１の側面部筐体には、前記送風装置からの空気を浄化するためのエアフィルタと、該エアフィルタを支持するエアフィルタ１次側チャンバおよび前記エアフィルタを囲むように設けられたエアフィルタ２次側チャンバとで構成された機密封じのフイルタ構造体と、該機密封じのフイルタ構造体の前記エアフィルタ２次側チャンバにエアジェットノズルを多数個分散して形成されたジェットパネルとを有し、前記送風装置からの加圧空気を前記エアフィルタ１次側チャンバと、前記エアフィルタおよび前記エアフィルタ２次側チャンバを通過して前記エアジェットノズルから送出することを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のエアシャワ装置において、更に、前記機密封じのフイルタ構造体の上部には、圧力遮蔽用仕切り板が設けられていることを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のエアシャワ装置において、
前記天井部筐体にエアカーテン用のファンが設けられていることを特徴とするエアシャワ装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のエアシャワ装置において、
前記天井部筐体の少なくとも三隅には、前記第１と第２の側面部筐体と嵌合する接続部を有し、前記第１と第２の側面部筐体の前記天井部筐体の前記接続部に対応する部分に前記天井部筐体と嵌合する接続部を有することを特徴とするエアシャワ装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１０−２７６２１３（Ｐ２０１０−２７６２１３Ａ）
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１２６２３１（Ｐ２００９−１２６２３１）
【出願日】平成２１年５月２６日（２００９．５．２６）
【出願人】（５０２１２９９３３）株式会社日立産機システム (1,140)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１２月９日（２０１０．１２．９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年５月２６日（２００９．５．２６）
【出願人】（５０２１２９９３３）株式会社日立産機システム (1,140)
【Ｆターム（参考）】
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