【課題】配管路を真空（負圧）として安定に運転可能な実用的で信頼性のある配管システムを実現する。
【解決手段】一連の配管路１により密閉型の循環経路を構成し、その途中に組み込んだ循環ポンプ４によって流体を循環させる配管システムにおいて、循環ポンプを配管路の低所に設置してその吐出側に大気開放型の膨張タンク７を接続する。膨張タンクを昇降可能としてその設置位置を上下方向に変更可能とする。複数の管体どうしを差し込み継手によって気密裡に接続して配管路を構成する。クリーンルームを対象とする空調用の冷水循環経路に適用し、熱源機との間で熱交換を行って冷水を調整する熱交換器１５を組み込み、空調機６を低圧力損失型のファンコイルユニットとする。配管路に脱気装置２０、泡検出機構３０、空気排出機構を組み込む。 （もっと読む）

【課題】１つの空調機に接続された複数の部屋の室圧の変動を簡単な制御で抑制することができる室圧制御装置を提供する。
【解決手段】給気通路を介して空調機と接続された部屋の室圧を目標値に制御するための室圧制御装置１０であって、給気通路に設けられた第１の圧力計５１によって計測された給気通路の静圧の計測値と給気通路の静圧の目標値との第１の偏差値から２次関数特性に基づいて、常に目標値に対する偏差値によって制御量を決めることにより、空調機の風量制御量を求める空調機制御部１４と、この部屋に設けられた第２の圧力計５２によって計測されたこの部屋の室圧の計測値とこの部屋の室圧の目標値との第２の偏差値から２次関数特性に基づいて、この部屋内の空気を排気するための排気ダンパ４１の開度制御量を求める排気ダンパ制御部１６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】走行スペースの上部で空気の逃げ場がないため、棚内の物品が汚染されることを防止する。
【解決手段】搬送装置１２の走行スペースに沿って棚２２を複数設けると共に、棚２２の背面側から走行スペース側への清浄ガスの給気路と、走行スペースの下部からの第１の排気路とを設ける。さらに走行スペースの上部に第２の排気路を設ける。清浄ガスは例えばクリーンエア（清浄空気）であるが、窒素ガス等でも良い。第２の排気路は常時排気するものでも、走行スペースの上部で気圧が増す際にのみ排気するものでも良い （もっと読む）

【課題】組み立ての際に振動板にひずみが生じることを防止して、過酸化水素水の霧化の高効率化、振動板の長寿命化、品質の一定化を図ることが可能な霧化装置を提供する。
【解決手段】 過酸化水素水が貯留される貯留部と、貯留部内の過酸化水素水がキャリアガスとともに排出されるように過酸化水素水を超音波振動により霧化させる霧化部と、を有する過酸化水素水の霧化装置において、霧化部は超音波振動を伝播する伝播液を貯留する収容部を備え、貯留部は、底板を貫通して収容部と連通する開口と、底板の外面における開口の周囲に連続的に形成される溝と、溝の底面と開口寄りの内周面に接するとともに底板の外面から突出するように配置される弾性シール部材と、開口及び溝を覆う振動板と、振動板が開口を密閉するように弾性シール部材及び底板の外面に押し付けて固定する固定板と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】酸素と水分を嫌う製造プロセスを行うクリーンルームにおいて、クリーンドライエア（ＣＤＡ）を供給する供給設備の効率のよい運用を図り、不活性ガスでパージしている状態から、ＣＤＡの供給への切り替えを迅速に行なう。
【解決手段】製品の製造時には、不活性ガス供給管２１から空調機２の入口側に窒素ガスが供給され、クリーンルームＲからの還気の一部が、分岐ダクト８を通じてガス精製装置１０の回転ロータ１３の処理部１３ａに導入される。メンテナンス時には、不活性ガス供給管２１が閉鎖され、外気ダクト９が開放され、不活性ガス供給管２２、分岐ダクト８が閉鎖され、回転ロータ１３の処理部１３ａで処理された後のＣＤＡが、空調機２を経て、クリーンルームＲに供給される。 （もっと読む）

【課題】露光室内の気体から不純物を除去するフィルタの交換に伴う露光処理の停止時間を低減する。
【解決手段】露光装置は、露光部５０と、前記露光部を収容する露光室と、フィルタ１７ａ，１７ｂを収容する第１フィルタボックス１６ａと第２フィルタボックス１６ｂと、前記第１フィルタボックス及び前記第２フィルタボックスに収容されたフィルタの状態を調整する調整部１１と、前記露光室内の気体の経路切替る第１切替ユニット２１と第２切替ユニット２２とを通過して循環するように前記露光室と前記一方のフィルタボックスとを接続する第１経路と、前記第１フィルタボックス及び前記第２フィルタボックスのうち前記第１経路と接続されていない他方のフィルタボックスと前記調整部とを接続し、前記調整部による前記他方のフィルタボックスに収容されたフィルタの状態の調整を可能にする第２経路と、を備える。 （もっと読む）

【課題】吸込気流の整流化によるファン効率を高めと吸込騒音を低減したファンフィルターユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】チャンバー５上部に吸込口１を有し、ファンユニット４をチャンバー５に有し、ファンユニット４の下流側にフィルター６を設け、吸込口の吸込板８の上部に、吸込み側に突出した吸込補助ダクト９を取り付ける構成としたことにより、吸込気流を制限することができ、ファン２の抵抗成分を減少させファン効率が上昇させるとともに、気流の衝突による騒音も減少させることができるファンフィルターユニットが得られる。 （もっと読む）

【課題】室内空間の減容化において、減容体の表面にダストの付着又は堆積を削減できる室内空間の減容化装置を提供する。
【解決手段】減容体２０１又は三角型減容体２１０を備え、減容体２０１又は三角型減容体２１０の表面粗さＲａが１μｍ未満で、内部の圧力を室内圧力より、１０ｈＰａ以上高い減容体をクリーンルーム内に装着する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームに適した温度制御システムで、複雑な機構を設置する必要がなく、運転時に余分なエネルギを使う必要のない省コスト、省エネルギの給気温度制御システムを提供する。
【解決手段】クリーンルームに向けて空気を循環させる循環ファンにその回転数を制御するインバータを付設する。給気温度センサとインバータとの間に第１の温度コントローラを接続し、レターン空気温度センサと冷水制御弁との間に第２の温度コントローラを接続する。給気温度センサからの信号を受けて第１の温度コントローラがインバータの回転数を制御することにより循環ファンの風量を調節し、レターン空気温度センサからの信号を受けて第２の温度コントローラが冷水制御弁の開度を制御することにより冷水供給量を調節し、クリーンルーム内の空気の温度をほぼ一定に制御する。 （もっと読む）

【課題】 電子機器や精密機器等を製造する工程において使用されるクリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 清浄作業空間から排気を取入れて、処理空気とし、その粒子状汚染物質及び分子状汚染物質の除去と調温調湿を行って高純度調温調湿空気に調製して、清浄作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を加湿冷却加温装置に取入れて、これを屋内又は屋外から取入れた空気を再生空気として用いる回分式温度スイング吸着装置に通じ、粒子状汚染物質及び分子状汚染物質の除去と調温調湿を実施する。
（もっと読む）

【課題】 クリーンルーム等からの排気を取入れて分子状汚染物質と粒子状汚染物質を除去する清浄化を行って当該クリーンルーム等に長期に亘り連続して循環供給を可能とする方法を提供する。
【解決手段】 クリーン作業空間の排気を取入れて、処理空気とし、その清浄化と調温調湿を行って、前記クリーン作業空間に循環供給するにあたり、処理空気を加湿冷却装置に取入れて、次いで、回分式温度スイング吸着装置に通じた後、さらに、調温調湿装置に導入して、調温調湿と分子状汚染物質及び粒子状汚染物質の除去を実施すると共に、当該回分式温度スイング吸着装置の再生空気は、再生空気冷却加熱部を流下させた後、再生モードにある吸着材ユニットに通じることを特徴とする超高純度空気の調製方法を提供する。
（もっと読む）

【課題】 従来の空気調和室では、室内に可燃性ガスが発生した場合、大量の可燃性ガスが漏れ出すまでは、可燃性ガスが漏れ出ていることを発見しにくく、発見が遅れがちになってしまっていた。
【解決手段】 空調設備１１により一定の温度に空調され、室内に可燃性ガスが発生する可能性がある空気調和室１であって、前記空調設備１１からの前記空気調和室１内への空気の吹き出し口１ｅを、該空気調和室１の下部に配置するとともに、前記空気調和室１内から前記空調設備１１への空気の吸い込み口１ｄを該空気調和室１の上部に配置し、前記空気調和室１の天井面１ａに、該天井面１ａの一部を高所側に突出させて形成したガス貯留空間１ｂを設け、前記ガス貯留空間１ｂにガス検知センサ１２を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造からなり、かつ高度なシール性を実現できるシール機構を備えたフィルタユニットを提供すること。
【解決手段】軸受け部材３３とリング受け部３４との間に設けたＶリング３５が、前記軸受け部材３３とリング受け部３４とに接し、かつ風量調整用ダンパー羽根の開閉角度を調整できるダンパー軸の操作軸３７周囲に密着して取り付けられた簡単な構造からなり、かつ高度なシール性を実現できるシール機構を提供することができる。
（もっと読む）

【課題】対象室の扉が開いたときに通路等の基準室と他の部屋の室圧に対する影響を最小限に抑える。
【解決手段】室圧制御装置は、部屋毎に設置された室圧調整用ダンパ７−３，７−９，８−３，８−９と、扉の開閉を検出する扉センサ３−３と、基準室である通路ＨＷとクリーンルームＲ−３との間の扉１−３を開く操作が開始されたことを示す扉開信号が扉センサ３−３から出力されたときに、クリーンルームＲ−３の室圧調整用ダンパ８−３を制御して、クリーンルームＲ−３の室圧を扉開時の所定値に減圧するコントローラ１０と、クリーンルームＲ−３の室圧が扉開時の所定値に達した後に、扉１−３を駆動して開く扉駆動機構４−３とを備える。 （もっと読む）

【課題】扉の開閉に伴って発生する対象室間の逆流現象を防止することのできる室圧制御方法及びシステムを提供する。
【解決手段】室圧制御システム１０は、扉３０Ｘを介して連通する対象室１２Ａ、１２Ｂと、排気風量を調節するダンパ２４Ａ、２４Ｂと、圧力を測定する差圧センサ２８Ａ、２８Ｂと、扉３０Ｘの開閉動作を検知する開閉センサ３４Ｘと、ダンパ２４Ａ、２４Ｂの開度を制御する制御装置３６とを備える。制御装置３６は、開閉センサ３４Ｘによって扉３０Ｘの閉状態を検知している間は、差圧センサ２８Ａ、２８Ｂの測定値に応じてダンパ２４Ａ、２４Ｂの開度を変動させる制御を行い、扉３０Ｘを開く動作を検知した際はダンパ２４Ａ、２４Ｂを開度Ａ、Ｂで固定し、扉３０Ｘを閉じる動作を検知した際に開度の固定を解除する。 （もっと読む）

【課題】扉の開閉に伴って発生する圧力変動を抑制できる室圧制御方法及びシステムを提供する。
【解決手段】室圧制御システム１０は、扉３０Ｘを有する対象室１２Ａと、排気風量を調節するダンパ２４Ａと、圧力センサ２８Ａと、扉３０Ｘの開閉動作を検知する開閉センサ３４Ｘと、扉３０Ｘの開閉動作の加速度を測定する加速度センサ３６Ｘと、圧力センサ２８Ａ、開閉センサ３４Ｘ、加速度センサ３６Ｘに基づいてダンパ２４Ａの開度を制御する制御装置２６Ａと、を備える。制御装置２６Ａは、扉３０Ｘが閉じていることを検知している間、圧力の測定値に応じてダンパ２４Ａの開度を調節するフィードバック制御を行い、扉３０Ｘを開く動作を検知した際、加速度に応じてダンパ２４Ａをフィードフォワード制御に切り替える。 （もっと読む）

【課題】 弱酸性ないし弱アルカリ性の電解水を効率よく生成させることができる電解水の製造装置に好適な応用発明を提供する。
【解決手段】 電解水の製造装置１０は、陽極電極２２が設けられた陽極室２０と、陰極電極３２が設けられた陰極室３０と、陽極室２０と陰極室３０との間に設けられ、電解質水溶液を収容する中間室４０と、陽極室２０と中間室４０とを隔てる陰イオン交換膜２４と、陰極室３０と中間室４０とを隔てる陽イオン交換膜３４とを含む。陽極室２０と陰極室３０とは隔壁５０に設けられた連通孔５２により連通している。このような電解水の製造装置１０は、浄水器等の徐菌が必要な装置に好ましく適用される。 （もっと読む）

【課題】開閉手段の開閉移動動作時に塵埃などの微粒子が発塵した場合でも、その微粒子が開口部からクリンルーム内へ侵入するのを抑制する。
【解決手段】開口部を開閉するように動作する開閉手段、開口部の周縁部に設けられた出入口から開閉手段を出入り移動させることによって開口部の開閉動作を制御する開閉制御手段、及び出入口から出入りする開閉手段の両側端部を案内するガイド手段などのような塵埃などの微粒子を発生する可能性のあるものを収納手段内に収納し、その収納手段内のエアを排気手段で排気することによって、開口部からクリンルーム内へ塵埃などの微粒子が侵入するのを抑制したものである。 （もっと読む）

【課題】高性能な空気清浄作用を備えながらも広い作業空間を持つことができ、ユニット型とすることで容易に設置が可能なクリーンルームを提供する。
【解決手段】機械室ユニット２、前室ユニット６、クリーンルームユニット１０で構成し、機械室ユニットには空調機５、定風量装置５ａを設置し、空調機はクリーンルームユニットに設置した２機のＨＥＰＡフィルタユニット１２と送風ダクト１３を介して連結し、定風量装置はクリーンルームユニットに設置した還気チャンバ１５と還気ダクト１４を介して連結させることで浄化空気を循環させ、クリーンルーム内の空気は常に清浄された状態を保ち、前室ユニットには前室７及びエアシャワー９を配置したユニット型クリーンルーム１の構成とした。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームシステムにおいて、ドライコイルを収納するダクトを不要としスペース効率の向上を図る。天井部材上の給気流路における空気混合率を高め給気温度を安定化させる。
【解決手段】クリーンルーム室の床面にファン付きドライコイルを配置して還気空気を誘引させ、ファン付きドライコイルの上部に設けた空気吹き出しノズルから天井面に向けてクリーンルーム内の還気空気を噴流にして吹き出させる。この噴流を天井部材に設けた開口部分から給気流路へと還流させる。これによりクリーンルーム内で清浄空気を再循環させながら利用する。 （もっと読む）